Kí ló dé tí àwọn ohun èlò seramiki Silikoni Carbide ṣe pàtàkì fún ẹ̀rọ Next-Gen?

Àwọn ohun èlò amọ̀ Silicon Carbide (SiC), pẹ̀lú ìdúróṣinṣin gíga wọn àti ìwọ̀n fífẹ́, ni àṣàyàn àkọ́kọ́ fún àwọn ohun èlò ìṣípo gíga bíi àwọn ìpele reticle lithography.

Fẹlẹ pẹlu Idahun Igbohunsafẹfẹ Giga

Nínú àwọn ètò ìṣípo tí ó nílò àwọn ìyípo ìbẹ̀rẹ̀ kíákíá, dídín ìwọ̀n kù ṣe pàtàkì.Àwọn ohun èlò seramikiwọ́n ní ìwọ̀n tó jọ aluminiomu ṣùgbọ́n wọ́n ní ìdúróṣinṣin tó ga ju irin lọ, èyí tó dín agbára ìṣiṣẹ́ ẹ̀rọ kù gan-an, tó sì ń mú kí ìdáhùn ẹ̀rọ náà pọ̀ sí i.

Àìlera àti Ìdènà Òtútù Gíga

Àwọn ohun èlò seramiki ní agbára ìrísí ojú ilẹ̀ tó yanilẹ́nu, wọ́n sì ń dín ìbàjẹ́ kù kódà ní àyíká tí kò ní epo. Fún àwọn irin tí ó péye tàbí òrùka èdìdì, Silicon Carbide ń ṣe àtúnṣe Geometry rẹ̀ lábẹ́ ooru líle tàbí ipò ìbàjẹ́ láìsí ìrọ̀rùn.

Igbesi aye deedee ati iduroṣinṣin

Láìdàbí àwọn irin, àwọn ohun èlò amọ̀ kì í ṣe oxidize. Àwọn ànímọ́ ara wọn dúró ṣinṣin ní gbogbo ìgbà tí ẹ̀rọ náà bá wà láàyè. ZHHIMG so Pípé Machining pọ̀ mọ́ ìsopọ̀ irin seramiki láti fi àwọn ẹ̀yà ara tí ó le koko àti tí ó le koko fún lílo ilé iṣẹ́ hàn.

Ìfiwéra Ànímọ́ Ohun Èlò

Ohun èlò Líle Pàtàkì (E/ρ) Líle Mohs Ewu Oxidation
Silikoni Kabọidi (SiC) ~110 9.5 Kò sí
Granite (Àdánidá) ~30 6 – 7 Kò sí
Irin ti ko njepata ~26 5 – 6 Gíga

giranaiti fun metrology

Awọn ibeere ti a beere nigbagbogbo: Awọn paati seramiki

  1. Kí ló dé tí seramiki fi ṣòro láti fi ẹ̀rọ ṣe é? Líle líle rẹ̀ nílò àwọn irinṣẹ́ pàtàkì tí a fi òkúta ṣe àti fífì kékeré.

  2. Ṣé seramiki SiC le fọ́ jù? Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó le fọ́, a lè dín èyí kù nípa lílo àwọn àwòrán irin aládàpọ̀ tí a ṣe àtúnṣe sí.

  3. Ṣé o lè ṣe àwọn ẹ̀yà ara tí ó ní ògiri tín-ín-rín? Bẹ́ẹ̀ni, ó dára fún àwọn ìtì igi tín-ín-rín tàbí àwọn sliders tí ó ní ihò.

  4. Kí ni ààlà ooru? Ó ní àwọn agbára ìṣiṣẹ́ tó dára jùlọ ní ìwọ̀n otútù tó ju 1000°C lọ.

  5. Igba melo ni akoko asiwaju naa yoo pẹ to? Nitori sisintering ati hard-machining, o maa n gba ọsẹ mẹjọ si mejila.

  6. Báwo lo ṣe lè rí i dájú pé o dáa? Gbogbo apá ni a máa ṣe àyẹ̀wò rẹ̀ dáadáa nípasẹ̀ CMM àti laser interferometry.


Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-29-2026