Báwo ni Àwọn Ohun Èlò Ilé-iṣẹ́ Ṣe Ń Pàtàkì Ìpéye Jẹ́mátììkì Nínú Ìṣiṣẹ́ Kékeré

Ṣíṣe àwọn ohun èlò ìṣètò tí ó péye jùlọ nílò ju ẹ̀rọ CNC tí ó ti ní ìlọsíwájú lọ. Láìsí ìyàsọ́tọ̀ tí ó lágbára láti inú ìjì líle ilẹ̀ àti ìjìnlẹ̀ ilé iṣẹ́, ṣíṣe àṣeyọrí àwọn ìfaradà onípele-kekere kò ṣeé ṣe. Gbogbo ọkọ̀ tí ń kọjá, kírénì tí ó wà nítòsí, àti compressor ìṣàkóso afẹ́fẹ́ máa ń mú àwọn ìgbì omi onípele-méjì tí ó lè ba ìdènà àti ìṣàtúnṣe àwọn ìpìlẹ̀ granite, àwọn bearings afẹ́fẹ́, àti àwọn èròjà seramiki jẹ́.

Láti dín èyí kù, àwọn ilé iṣẹ́ gbọ́dọ̀ wo ilẹ̀ ìṣẹ̀dá gẹ́gẹ́ bí apá kan nínú ètò metrology.

Ìmọ̀ nípa Ìpìlẹ̀ Ìdádúró

Àwọn ilẹ̀ kọnkíríìtì ilé iṣẹ́ tó wọ́pọ̀ sábà máa ń nípọn 150 mm sí 300 mm. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó tó fún àwọn ètò ìṣiṣẹ́ àti ìṣọ̀kan tó wúwo, wọn kò tó fún iṣẹ́-ṣíṣe ipele nanometer. Lábẹ́ àwọn ẹrù tó ń yí padà, ilẹ̀ tó wọ́pọ̀ ń ṣiṣẹ́ bí diaphragm, èyí tó ń gbé ìgbọ̀nsẹ̀ ilẹ̀ tó wọ́pọ̀ sínú àwọn iṣẹ́ náà.

 

Láti mú ìfàṣe yìí kúrò nínú àṣìṣe náà, àwọn àyíká ìṣẹ̀dá tó ti ní ìlọsíwájú ṣe ìlànà ètò ìṣiṣẹ́ tó ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọ̀nà:

1. Ìpìlẹ̀ Àwọn Ọmọ-ogun Tó Nípọn Jùlọ: Dída kọnkírítì tí a ti fi agbára kún sí ìwọ̀n jíjìn tó kéré jù 1000 mm ń fúnni ní ìdènà inertial ńlá. Ìwọ̀n yìí ń mú kí àwọn ìgbì ìgbì ìgbì kékeré (1 – 10 Hz) dẹ̀ kí wọ́n tó dé ẹ̀rọ náà.

2. Àwọn Ìlà Ìyàsọ́tọ̀ Àyíká: Gígé àwọn ihò ìyasọtọ̀ tí a yà sọ́tọ̀ ní àyíká àwọn agbègbè ìṣẹ̀dá—pẹ̀lú àwọn ìwọ̀n pàtó bíi 500 mm fífẹ̀ àti jíjìn 2000 mm—n mú kí agbègbè ìṣẹ̀dá tí ó péye kúrò ní ìyókù ibi ìtọ́jú náà. Àwọn ihò wọ̀nyí kún fún àwọn ohun èlò elastomeric pàtàkì tí ń gba agbára láti dín ìgbì omi ìjì kù.

3. Ìparọ́rọ́ àti Ìdákẹ́rọ́: Àwọn crane òkè àti àwọn ohun èlò ìgbóná ara jẹ́ orísun pàtàkì fún ariwo ìgbohùn-ayérayé kékeré àti ìgbóná ara. Lílo àwọn ètò ìrìn àjò òkè tí a ṣe àdáni tí ó ní ìdákẹ́rọ́, tí ó ń ṣiṣẹ́ lórí ìdákẹ́rọ́ ń dènà àwọn ìgbì ìfúnpá acoustic láti ba àwọn ìpele ẹ̀rọ itanna àti àwọn interferometers lésà jẹ́ nígbà tí a bá ń wọn nǹkan.

Ìmúṣọ̀kan Àyíká: Ìwọ̀n otútù àti Ọriniinitutu

Ilọsiwaju ooru ni o ṣe alabapin ti o tobi julọ si aṣiṣe geometric nigiranaiti kongeàti iṣẹ́ amọ̀. Ìyípadà iwọ̀n otútù tí ó wà ní ìwọ̀n 0.5 ℃ nìkan lè fa kí ibùsùn granite 5000 mm yí padà ju bí a ṣe lè gbà á lọ.

Láti ṣe àṣeyọrí déédé, àyíká ìṣiṣẹ́ àti àkójọpọ̀ gbọ́dọ̀ tẹ̀lé àwọn ìlànà tí ó yẹ:

• Ààbò Àyíká Gbogbogbò: Ìṣẹ̀dá gbọ́dọ̀ wáyé láàrín àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ tó tóbi tí a ti dì mọ́ (fún àpẹẹrẹ, 10,000㎡) níbi tí a ti ti ìgbóná ní 20℃ ± 0.2℃ àti pé a ti ń ṣàkóso ọ̀rinrin tó pọ̀.

• Ìṣàkóso Ìyára Afẹ́fẹ́: A gbọ́dọ̀ ṣe àwọn ètò afẹ́fẹ́ Laminar láti yẹra fún àwọn afẹ́fẹ́ tààrà, tí ó ní ìyára gíga lórí àwọn ilẹ̀ granite, èyí tí yóò dènà àwọn ìyípadà ooru tí a lè ṣe ní agbègbè.

• Àwòrán Ìmọ́tótó Semiconductor: Ìpàdé ìkẹyìn ti àwọn ohun èlò granite multi-axis, àwọn ìpele motor linear, àti àwọn ohun èlò afẹ́fẹ́ ultra-precision nílò àwọn àyíká pàtàkì, tí kò ní eruku tí ó ń fara wé ohun èlò semiconductor ti olùlò ìkẹyìn. Èyí ń rí i dájú pé kò sí ìbàjẹ́ pàtákì tí ó lè dí àwọn àlàfo tí ó wà nínú afẹ́fẹ́ lọ́wọ́, èyí tí ó sábà máa ń wọn láàrín 5μm àti 15μm.

Àkótán

Iṣẹ́-ṣíṣe tí ó péye jùlọ kò lè wà ní àyíká ilé-iṣẹ́ tí ó wà déédéé. Ìdúróṣinṣin ilẹ̀ ilé-iṣẹ́, ìyàsọ́tọ̀ ìpìlẹ̀, àti ìṣàkóso pátápátá ti thermodynamics cleanroom jẹ́ ìpìlẹ̀ agbára metrology. Ìdókòwò nínú àwọn ìpìlẹ̀ inertial ńlá àti ìyàsọ́tọ̀ àyíká ni ọ̀nà kan ṣoṣo tí a fihàn láti rí i dájú pé iṣẹ́-ṣíṣe sub-micron dúró ṣinṣin, ó ṣeé tún ṣe, ó sì ṣeé tọ́pasẹ̀.