Nínú èdè ìmọ̀ ẹ̀rọ ẹ̀rọ, “frictionless” jẹ́ èrò tó péye — ohun kan tó fara hàn nínú àwọn gbólóhùn ìṣòro ìwé ṣùgbọ́n tí a kò lè ṣe àṣeyọrí rẹ̀ ní kíkún ní ayé ti ara. Síbẹ̀ ní àwọn ìpele ìdúróṣinṣin tí ó ń gbé àwọn wafers silicon nínú àwọn ẹ̀rọ lithography, àwọn ẹ̀rọ laser tí ń kọ tààrà, àwọn ohun èlò ìwakọ̀ PCB oníyàrá gíga, àti àwọn ìpele àyẹ̀wò nanometer, àwọn èròjà ìṣípo náà súnmọ́ ètò yìí lọ́nà tó yanilẹ́nu. Wọ́n ń ṣe bẹ́ẹ̀ nípasẹ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ tí a ń pè ní air bearing, àti ojú tí fíìmù tín-tín ti àwọn ìrìn afẹ́fẹ́ náà ti fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ granite tí ó péye nígbà gbogbo.
Lílóye ìmọ̀ ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ — fisiksi rẹ̀, àwọn ohun tí ó nílò, àti àwọn ààlà rẹ̀ — kò ṣeé yà sọ́tọ̀ láti lóye ìdí tí granite fi jẹ́ ohun èlò tí a yàn fún àwọn ojú ìtọ́sọ́nà afẹ́fẹ́. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ méjèèjì jẹ́ àpapọ̀: àwọn beari afẹ́fẹ́ ń jẹ́ kí lílo àwọn ànímọ́ ojú ilẹ̀ granite tí ó péye, àti granite ń jẹ́ kí àwọn beari afẹ́fẹ́ lè ní ìdúróṣinṣin àti ìdúróṣinṣin tí ó mú kí wọ́n yẹ fún lílò ní àkọ́kọ́.
Ìmọ̀ nípa iṣẹ́ afẹ́fẹ́
Béárì ìró tí a mọ̀ dáadáa — béárì ìró tàbí béárì ìró — ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ẹrù tí ń gbéra láti inú ìfọwọ́kan Hertzian: àwọn bọ́ọ̀lù tàbí àwọn rólù náà ń tẹ̀ sí àwọn ọ̀nà ìje, wọ́n ń yí padà díẹ̀ lábẹ́ ẹrù, wọ́n sì ń gbé agbára jáde láti inú agbègbè ìfọwọ́kan kékeré ṣùgbọ́n tí kò ní òdo. Ìfọwọ́kan yìí ń fa ìfọ́, ó ń fa ìbàjẹ́, ó sì ń ṣẹ̀dá ipa ọ̀nà ẹ̀rọ kan tí a lè gbà láti inú béárì sí ibi tí a gbé e kalẹ̀.
Afẹ́fẹ́ onípele kan rọ́pò ìfọwọ́kan líle yìí pẹ̀lú fíìmù tín-ín-rín ti gáàsì tí a tẹ̀—afẹ́fẹ́ tí ó mọ́ tí ó sì gbẹ tí a sábà máa ń tẹ̀, bó tilẹ̀ jẹ́ pé a máa ń lo nitrogen nínú àwọn ohun èlò tí omi inú afẹ́fẹ́ bá wà. A máa ń ya ohun tí ń gbéra (“slider” tàbí “carriage”) kúrò nínú ojú ìtọ́sọ́nà nípa àlàfo tí ó sábà máa ń jẹ́ 5–15 micrometers ní ìwọ̀n. A máa ń fi afẹ́fẹ́ tí a tẹ̀ sínú omi nípasẹ̀ àwọn ihò kékeré tàbí àwọn ilẹ̀ tí ó ní ihò nínú ojú ìfàsẹ́yìn náà, ó máa ń ṣàn sínú àlàfo yìí, lẹ́yìn náà ó máa ń jáde ní etí ibi tí a ń gbé e sí.
Pínpín ìfúnpá nínú àlàfo náà — tí ó ga jù nítòsí àwọn ihò ìpèsè, tí ó wà ní ìsàlẹ̀ nítòsí ọ̀nà àbájáde — ń mú agbára ìgbéga àwọ̀n kan jáde tí ó ń gbé ẹrù náà ró (nínú àwọn ìṣètò ìdúró) tàbí ẹrù tí a lò. Bí àlàfo náà bá ń dínkù (fún àpẹẹrẹ, tí kẹ̀kẹ́ náà bá tẹ̀ díẹ̀ lábẹ́ ẹrù), ìdènà ìṣàn náà ń pọ̀ sí i, ìfúnpá náà ń pọ̀ sí i, agbára ìmúpadàbọ̀sípò náà sì ń pọ̀ sí i — ó ń ṣẹ̀dá ètò ìdúróṣinṣin ara rẹ̀. Ní ọ̀nà mìíràn, tí àlàfo náà bá ń pọ̀ sí i, ìfúnpá náà ń dínkù, béárì náà sì ń dínkù.
Àbájáde pàtàkì ti àtìlẹ́yìn ẹrù tí kò ní ìfọwọ́kàn yìí ni píparẹ́ ìfọ́mọ́ra aláìdúró àti ìfọ́mọ́ra pátápátá. Ipele ìgbámú afẹ́fẹ́ tí a ṣe dáradára ní ìfọ́mọ́ra aláìdúró tí kò ṣeé wọ̀n dáadáa — ní pàtàkì òdo nínú ìpinnu ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ètò ìwọ̀n agbára. A ṣàpèjúwe ohun ìní yìí gẹ́gẹ́ bí àìsí “ìfàmọ́ra” — ìṣẹ̀lẹ̀ ìfàmọ́ra stick-slip níbi tí ìfọ́mọ́ra aláìdúró (tí ó ga ju ìfọ́mọ́ra kinetic) gbọ́dọ̀ borí láti bẹ̀rẹ̀ ìṣípò, tí ó ń fa ìfọ́mọ́ra tí ó ń da ipò tí ó tẹ̀lé e rú.
Kílódé tí ìṣíṣẹ́ tí kò ní stiction ṣe pàtàkì fún ipò tí ó péye
Nínú ìpele ìdúró bọ́ọ̀lù tàbí ìpele ìdúró tí a ń lò fún ìyípadà pẹ̀lú àwọn bearings element tí ń yípo, ìdúró jẹ́ ìdíwọ́ pàtàkì lórí ìtúnṣe ipò. Nígbà tí ètò ìṣàkóso ipò bá pàṣẹ fún ìṣípò kékeré, ẹ̀rọ ìwakọ̀ gbọ́dọ̀ kọ́kọ́ borí ìfọ́kànsí àìdúró kí kẹ̀kẹ́ náà tó gbéra rárá. Èyí túmọ̀ sí pé ipò tí a pàṣẹ àti ipò gidi kò jọra ní àwọn ìwọ̀n kékeré — ìpele náà “ń dì” lẹ́yìn náà “yó,” ó sì borí ipò tí a pàṣẹ kí ó tó di pé ó dúró.
Ìpa yìí fi ààlà tó kéré sí i lórí ìwọ̀n ìgbésẹ̀ àti ìwọ̀n ìdúró. Nínú àwọn ètò servo, ìdúró máa ń fa ààlà yíyípo — ipò kan níbi tí ìyípo ìṣàkóso ipò máa ń wá kiri ní àyíká ipò tí a pàṣẹ, tí kò lè dúró dé iye tí ó dúró ṣinṣin nítorí pé ìṣísẹ̀ àtúnṣe èyíkéyìí nílò kí ó borí ìdúró, èyí tí ó máa ń rán ìpele náà kọjá ibi tí a fẹ́ dé.
Àwọn béárì afẹ́fẹ́ máa ń mú ìdènà kúrò pátápátá. Kẹ̀kẹ́ náà máa ń léfòó lórí fíìmù afẹ́fẹ́ tó ń lọ lọ́wọ́, agbára kékeré èyíkéyìí tí a bá lò ní ìtọ́sọ́nà ìṣípo náà sì máa ń mú ìṣípo tó yẹ wá. Èyí túmọ̀ sí pé:
- A le ṣe àṣeyọrí ipò ipele nanometer nípa lílo àwọn ẹ̀rọ ìwakọ̀ tó yẹ (àwọn mọ́tò onílà, àwọn actuators piezoelectric, tàbí àwọn actuators ohùn-coil) láìsí ààlà tó kéré jùlọ lórí ìwọ̀n ìgbésẹ̀ tí òfin gbé kalẹ̀.
- Àkókò ìdúró ti dínkù gidigidi nítorí pé ìṣiṣẹ́ ìṣàkóso kò dojúkọ ìdúró lórí ìgbésẹ̀ kọ̀ọ̀kan
- Àtúnṣe ni a lopin nipataki nipasẹ ipinnu koodu ati awọn ipa ooru dipo nipasẹ iyipada ikọlu
Fún àwòrán onípele semiconductor, níbi tí ìpele wafer gbọ́dọ̀ gbéra sí ipò kú kọ̀ọ̀kan pẹ̀lú àtúnṣe sub-nanometer ní àwọn ìgbésẹ̀ ọgọ́rọ̀ọ̀rún ìgbésẹ̀ fún ìṣẹ́jú-àáyá kan, àwọn ànímọ́ wọ̀nyí ṣe pàtàkì. Kò sí ìmọ̀ ẹ̀rọ bearing mìíràn tó ń pèsè iṣẹ́ tó jọra lọ́wọ́lọ́wọ́ ní ìwọ̀n tí a nílò.
Ìtọ́sọ́nà Granite: Ṣíṣe iṣẹ́ afẹ́fẹ́
Béérì afẹ́fẹ́ kan dára bí ojú tí ó ń gùn. Ààlà fíìmù afẹ́fẹ́ ti 5–15 μm kì í ṣe àfaradà lórí bí ojú ìtọ́sọ́nà ṣe rí gan-an — ó jẹ́ gbogbo ìṣiṣẹ́ pẹ̀lú gbogbo orísun ìyàtọ̀. Ojú ìtọ́sọ́nà fúnra rẹ̀ gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tí ó mọ́lẹ̀ tí ó sì tẹ́jú ju àlàfo yìí lọ kí béérì afẹ́fẹ́ náà lè ṣiṣẹ́ dáadáa.
Àwọn ohun tí a nílò láti parí ojú ilẹ̀ (tí ó rọ̀)
Àìlera ojú ìtọ́sọ́nà gbọ́dọ̀ jẹ́ ìpín díẹ̀ nínú àlàfo afẹ́fẹ́.oju itọsọnaPẹ̀lú àìlágbára Ra ti 0.4 μm (ilẹ̀ tí a fi ẹ̀rọ ṣe dáadáa) yóò gbé àwọn ìyàtọ̀ gíga agbègbè kalẹ̀ tí ó jọ ìpín pàtàkì ti àlàfo afẹ́fẹ́, èyí tí yóò ṣẹ̀dá àwọn ìyípadà ìfúnpá tí ó yípadà tààrà sí ìdúró ariwo lórí kẹ̀kẹ́ náà.
Àwọn ojú ọ̀nà ìtọ́sọ́nà granite tí a ṣe déédéé fún lílo afẹ́fẹ́ ni a fi wọ̀n sí àwọn ìwọ̀n Ra ti 0.02–0.1 μm (20–100 nm) — tí ó bá àwọn ìparí dídára dígí mu. Láti ṣe àṣeyọrí àwọn ìwọ̀n àìlera wọ̀nyí lórí granite nílò àwọn ọ̀nà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ pàtàkì, àwọn ìfọwọ́sowọ́pọ̀ dídára, àti àwọn oníṣẹ́ tí wọ́n ní ìmọ̀ tí wọ́n lóye bí a ṣe ń yọ ohun èlò kúrò àti bí a ṣe ń ṣe iṣẹ́ kékeré nínú granite nígbà tí a bá ń fi pẹ̀lẹ́pẹ̀lẹ́ lulẹ̀.
Líle granite náà ṣe pàtàkì níbí yìí: òkúta líle tó le koko jù (bíi granite dúdú tó ní ìwọ̀n tó tó ≈ 3,100 kg/m³) ni a lè fi rọ́ sí i ju granite tàbí marble aláwọ̀ ewé lọ, nítorí pé ìrísí kristali rẹ̀ tó dára jù, tó sì so mọ́ ara rẹ̀ dáadáa kò ní fa àwọn ègé ọkà tó ń fa ojú ilẹ̀ nígbà tí a bá ń fi nǹkan gún régé. Èyí jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ìdí pàtàkì tó fi jẹ́ pé yíyan ohun èlò ṣe pàtàkì fún àwọn ojú ọ̀nà afẹ́fẹ́, kì í ṣe fún àwọn ojú ọ̀nà tó tẹ́jú régé àwo ojú ilẹ̀ nìkan.
Awọn ibeere ti o fẹẹrẹ ati titọ
Yàtọ̀ sí bí ojú ilẹ̀ ṣe rí, àwọn ojú ilẹ̀ afẹ́fẹ́ gbọ́dọ̀ ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ohun tí ó yẹ kí ó tẹ́jú. Gbígbé ìpele afẹ́fẹ́ kan “ń ka” ojú ilẹ̀ afẹ́fẹ́ náà — ìtọ́sọ́nà rẹ̀ ní gbogbo ojú ibi tí ó wà ní ìrìn àjò náà ni a pinnu nípa ìrísí agbègbè ojú ilẹ̀ atọ́nà náà. Èyíkéyìí ìyàtọ̀ láti ibi tí ó tẹ́jú (ní ìtọ́sọ́nà Z) tàbí ìtọ́sọ́nà (ní ìtọ́sọ́nà tí ó dúró ṣinṣin sí ìṣípo, láàárín ìpele XY) ojú ilẹ̀ atọ́nà náà ni a ń tún ṣe gẹ́gẹ́ bí àṣìṣe ìṣípo tí ó báramu ti ọkọ̀ náà.
Èyí ni ohun tó ń ṣẹlẹ̀ tí a mọ̀ sí àṣìṣe Abbe (tàbí àṣìṣe síne): tí ojú ìtọ́sọ́nà bá ní àṣìṣe slope ti θ radians, tí ojú ìtọ́sọ́nà náà sì wà ní ìjìnnà L sí ojú ìtọ́sọ́nà, àṣìṣe ipò ẹ̀gbẹ́ tí ó yọrí sí ni L × sin(θ) ≈ L × θ fún àwọn igun kéékèèké. Fún kẹ̀kẹ́ tí a ti ya àmì ìdámọ̀ ìwọ̀n àti apá tí a ń wọ̀n sọ́tọ̀ pẹ̀lú 100mm ní ìtọ́sọ́nà inaro, àṣìṣe slope dada ìtọ́sọ́nà ti 1 arcsecond mú àṣìṣe ipò tí ó tó 0.48 μm wá.
Láti dín ipa yìí kù, ó yẹ kí a lo àwọn ojú ìtọ́sọ́nà pẹ̀lú àṣìṣe títọ́ ní ìwọ̀n arcsecond tàbí ní ìsàlẹ̀ rẹ̀, lórí gbogbo gígùn ìrìnàjò ti ìpele náà. Fún ìpele ìrìnàjò 500mm, èyí bá àwọn ìyàtọ̀ gíga ti àwọn micrometer díẹ̀ tàbí kí ó dín sí i lórí gbogbo gígùn ìtọ́sọ́nà granite náà. Láti ṣe àṣeyọrí àti láti fìdí ìpele títọ́ yìí múlẹ̀ nílò àwọn ọ̀nà títọ́ títọ́, wíwọ̀n pẹ̀lú ìpele ẹ̀rọ itanna àti àwọn interferometers lésà, àti àwọn ọ̀nà títọ́ tí ó jọra sí àwọn tí a lò fún títọ́ àwo ojú ilẹ̀.
Porosity ati Afẹfẹ Ti o le Lo
Ohun kan tí ó jẹ́ ti granite tí ó ṣe pàtàkì gidigidi fún lílo afẹ́fẹ́ ṣùgbọ́n tí a kì í sábà sọ̀rọ̀ nípa rẹ̀ nínú ìwé gbogbogbò ni porosity. Tí ojú ìtọ́sọ́nà granite bá ní àwọn ihò tí ó ṣí sílẹ̀ — àwọn òfo kékeré tí ó so inú òkúta náà mọ́ ojú ilẹ̀ — afẹ́fẹ́ tí ó ní ìfúnpọ̀ nínú àlàfo bearing lè jò sínú òkúta dípò kí ó ṣàn lọ dé ibi tí a ti ń gbé bearing jáde. Èyí ń fa ìpínkiri titẹ tí kò dọ́gba, ó ń mú kí afẹ́fẹ́ máa lò pọ̀ sí i, àti ní àwọn ọ̀ràn tí ó le koko, ó lè fa kí bearing náà wó lulẹ̀ ní agbègbè náà.
Granite dúdú tó ní ìwọ̀n gíga, pẹ̀lú ihò tó kéré gan-an tó wá láti inú ìṣètò kirisita rẹ̀ tó ní ìwọ̀n gíga, kò ní ìṣòro yìí tó àwọn granite grey tó ní ìwọ̀n kékeré. Ìwọ̀n tó tó 3,100 kg/m³ — ní ìfiwéra pẹ̀lú granite grey tó wọ́pọ̀ ní 2,600–2,700 kg/m³ — ṣàfihàn ìpín òfo tó kéré jù nínú ohun èlò náà. Fún àwọn ojú ọ̀nà ìtọ́sọ́nà afẹ́fẹ́, ìyàtọ̀ yìí nínú ihò náà ní ipa lórí iṣẹ́ àti ìdúróṣinṣin bearings.
Nínú àwọn ìlò pàtàkì, a lè lo àwọn ìtọ́jú ojú ilẹ̀ afikún (ìfúnni ní ìfàmọ́ra pẹ̀lú epoxy, tàbí àwọn ìlànà ìfọ́mọ́ra pàtàkì tí ó ń pa àwọn ihò ojú ilẹ̀) . Síbẹ̀síbẹ̀, bíbẹ̀rẹ̀ pẹ̀lú ohun èlò ihò tí kò ní ihò púpọ̀ ń dín àìní fún irú ìtọ́jú bẹ́ẹ̀ kù àti ewu àwọn ìṣòro iṣẹ́ tí ó ní í ṣe pẹ̀lú ihò ojú.
Àwọn Àkójọpọ̀ Afẹ́fẹ́ Granite: Àwọn Ìrònú Apẹẹrẹ
Ipele gbigbe afẹfẹ pipe lori granite kan pẹlu ọpọlọpọ awọn ero imọ-ẹrọ ti o ju oju itọsọna naa lọ:
Apẹrẹ Ṣíṣe Àgbékalẹ̀ Ṣáájú
A gbọ́dọ̀ gbé àwọn bearings afẹ́fẹ́ sílẹ̀ tẹ́lẹ̀ — èyí túmọ̀ sí wípé agbára àtúnṣe gbọ́dọ̀ tako ìtẹ̀sí láti gbé kẹ̀kẹ́ náà kúrò lórí ojú ìtọ́sọ́nà. Láìsí ìdìpọ̀ ṣáájú, kẹ̀kẹ́ náà yóò kàn léfòó kúrò lórí ojú náà lábẹ́ ìdàrúdàpọ̀ òkè. A lè ṣe ìdìpọ̀ ṣáájú nípasẹ̀ ọ̀kan lára ọ̀nà mẹ́ta:
Àwọn béárì afẹ́fẹ́ tí ó lòdì sí ara wọn máa ń lo ojú afẹ́fẹ́ kejì ní apá kejì ti ọ̀nà ìtọ́sọ́nà tàbí ojú ilẹ̀ títẹ́jú, èyí tí ó ń ṣẹ̀dá agbára ìfúnpá tí ó lòdì sí ara wọn tí ó sì ń dí ọkọ̀ náà lọ́wọ́ láti mọ ọ̀nà ìtọ́sọ́nà náà nígbà tí ó ń ṣe àtúnṣe ìyàtọ̀ fíìmù afẹ́fẹ́ ní ẹ̀gbẹ́ méjèèjì. Èyí ni ìṣètò tí ó wọ́pọ̀ jùlọ fún àwọn ìpele ìlà tí ó péye.
Àwọn beari tí a ti fi fáìmù sílẹ̀ tẹ́lẹ̀ ń lo agbègbè afẹ́fẹ́ àárín láàrín ojú ìbọn náà, tí agbègbè afẹ́fẹ́ tí a fi páìmù ṣe yíká. Agbára àwọ̀n ni ìyàtọ̀ láàrín agbára gbígbé agbègbè afẹ́fẹ́ náà àti ìfàmọ́ra agbègbè afẹ́fẹ́ náà, èyí tí ó ń yọrí sí ìbọn tí a ti fi páìmù sílẹ̀ sí ojú ìtọ́sọ́nà.
Agbára ìfàmọ́ra tí ó wà nínú kẹ̀kẹ́ náà ń lo agbára tí ó fani mọ́ra láàárín àwọn mágnẹ́ẹ̀tì tí ó wà nínú kẹ̀kẹ́ náà àti irin ìtọ́sọ́nà ferromagnetic láti fa kẹ̀kẹ́ náà sí ojú ilẹ̀. Ọ̀nà yìí nílò kí irin ìtọ́sọ́nà granite náà ní àwọn èròjà irin tàbí irin, èyí tí ó ń dí ìrísí náà lọ́wọ́ ṣùgbọ́n ó lè mú àwọn ohun èlò ìbísí tí ó kéré jọjọ jáde.
Ipese Afẹfẹ ati Ajọ
Àwọn ìpele ìgbálẹ̀ afẹ́fẹ́ nílò ìpèsè afẹ́fẹ́ mímọ́ tónítóní, gbígbẹ, tí kò ní pàǹtíkì nígbà gbogbo ní ìfúnpá tí a ń ṣàkóso — ní gbogbogbòò 0.4–0.6 MPa. Ìbàjẹ́ ìpèsè afẹ́fẹ́ pẹ̀lú àwọn aerosol epo, omi, tàbí àwọn pàǹtíkì líle jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ohun tí ó wọ́pọ̀ jùlọ tí ó ń fa àìṣiṣẹ́ afẹ́fẹ́. Ìbàjẹ́ epo bo àwọn ojú ibi ìgbálẹ̀, ó ń yí ìrísí wọn àti bí ó ṣe lè rọ̀; ìtújáde omi ń fa ìyípadà ìfúnpá; àwọn pàǹtíkì líle lè so àlàfo ibi ìgbálẹ̀ náà pọ̀ kí ó sì bo ojú ibi ìgbálẹ̀ àti ojú ìwé ìtọ́sọ́nà granite.
Nínú àwọn agbègbè ìṣelọ́pọ́ semiconductor, àwọn ìlànà ilé-iṣẹ́ mìíràn ni a sábà máa ń ṣàkóso dídára ìpèsè afẹ́fẹ́. Ní àwọn agbègbè ilé-iṣẹ́ míràn, a gbọ́dọ̀ ṣọ́ra láti pèsè àlẹ̀mọ́ àti gbígbẹ tó yẹ ní ibi tí afẹ́fẹ́ bá dé sí.
Awọn ipa ooru lori fiimu afẹfẹ
Ìwọ̀n ìfọ́sí afẹ́fẹ́ máa ń yípadà pẹ̀lú ìgbóná — tó nǹkan bí 2% fún ìwọ̀n Celsius ní ìgbóná yàrá. Ìyípadà ìgbóná tó ṣe pàtàkì nínú ìpèsè afẹ́fẹ́ (láti yàrá ìkọ́pọ̀ sí yàrá ìwẹ̀nùmọ́ tí a ń ṣàkóso ìgbóná, fún àpẹẹrẹ) máa ń yí agbára ìbísí àti agbára ìgbéga padà. Nínú àwọn lílo ìlò tí ó péye, ó yẹ kí a ṣe àtúnṣe ìgbóná afẹ́fẹ́ pẹ̀lú ìfúnpá.
Ààlà ìbílẹ̀ fúnra rẹ̀ ń mú ooru kékeré ṣùgbọ́n tí kò ní òdo jáde nípasẹ̀ ìgé irun afẹ́fẹ́ tí ó gbóná janjan. Fún àwọn ìpele iyàrá gíga, orísun ooru yìí gbọ́dọ̀ wà nínú àwòrán ooru ti ètò náà láti yẹra fún àwọn ìyípadà iwọ̀n otútù tí a kò retí nínú granite tàbí ètò kẹ̀kẹ́.
Wiwọn ati Ijẹrisi Iṣẹ Ipele Afẹfẹ Bearing
Lẹ́yìn tí a bá ti kó o jọ, a gbọ́dọ̀ ṣe àfihàn ìpele afẹ́fẹ́ lórí granite láti rí i dájú pé ó bá àwọn ìlànà iṣẹ́ rẹ̀ mu. Àwọn pàrámítà pàtàkì láti wọ̀n ni:
Àtúnṣe ipò — a wọ́n nípa píparí ìpele náà sí oríṣiríṣi àwọn ipò ibi-àfojúsùn àti gbígba àwọn ipò gidi pẹ̀lú ẹ̀rọ ìyípadà ìlà gíga tàbí interferometer laser. Àtúnṣe ọ̀nà méjì (tó ń súnmọ́ láti ìhà méjèèjì) dán wò fún hysteresis.
Ìrìn àjò títọ́ — a lè wọn nípa gbígbé etí gígùn títọ́ kalẹ̀ (nígbà gbogbo, ó jẹ́ ìtọ́kasí granite títọ́) lẹ́gbẹ̀ẹ́ ipa ọ̀nà ìrìn àjò àti lílo ìwọ̀n ẹ̀rọ itanna láti wọn ìyàtọ̀ ọkọ̀ náà láti ìlà títọ́ bí ó ti ń kọjá gbogbo ìpele rẹ̀.
Àṣìṣe igun (ìpele, yípo, yaw) — wọ́n nípa lílo autocollimators tàbí àwọn ipele elekitironiki tí a gbé sórí kẹ̀kẹ́ náà, tí ó ń ṣàwárí àwọn ìyípadà igun kékeré nínú ìtọ́sọ́nà kẹ̀kẹ́ bí ó ṣe ń lọ.
Lilo afẹfẹ ati lile gbigbe — a wọn nipa lilo awọn ẹru ti a mọ si kẹkẹ naa ati wiwọn iyipada ela ti o waye (lati kika koodu naa), gbigba laaye lati ṣe iṣiro agbara gbigbe (agbara fun ẹyọ kan).
Àwọn ìwọ̀n wọ̀nyí, tí a ṣe pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí ó ní ìpinnu tó yẹ àti ìṣàtúnṣe tí a lè tọ́pasẹ̀, pèsè ìpìlẹ̀ iṣẹ́ tí a lè ṣe àtúnṣe sí àti tí a lè tún fọwọ́ sí ní gbogbo ìgbà iṣẹ́ rẹ̀.
Àwọn Ohun Èlò Níbi Tí Àwọn Ìpele Afẹ́fẹ́ Granite Ṣe Pàtàkì
Àpapọ̀ ìṣípo afẹ́fẹ́ àti àwọn ojú ìtọ́sọ́nà granite yóò hàn níbikíbi tí fisiksi ohun èlò náà bá fẹ́ kí gbogbo àwọn ànímọ́ wọn jẹ́ àpapọ̀:
Àyẹ̀wò àti ìwádìí ìwádìí wafer semiconductor — A ti jíròrò rẹ̀ dáadáa; ìlànà ìṣàfihàn tó mú kí ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ náà dé ipò tó wà lọ́wọ́lọ́wọ́.
Ìwakọ̀ PCB oníyára gíga — Àwọn ẹ̀rọ ìwakọ̀ oní-píńdì oní-píńdì tí ó gbọ́dọ̀ gbé ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìwakọ̀ sí orí pánẹ́lì PCB kan ní àkókò kan náà lo àwọn ìpìlẹ̀ granite àti àwọn ìkọlù afẹ́fẹ́ láti ṣàṣeyọrí àpapọ̀ iyàrá, ìṣedéédé, àti ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́ tí a nílò.
Àyẹ̀wò ojú àti ìṣàyẹ̀wò ojú — Àwọn ohun èlò tí wọ́n ń wọn ìrísí ojú ní ìpele kékeré-nanometer gbọ́dọ̀ ṣe àyẹ̀wò ìwádìí ìwọ̀n wọn lórí ojú ilẹ̀ pẹ̀lú ìṣípo tí ó rọrùn gan-an, tí kò sì ní ìgbọ̀n. Àwọn bearings afẹ́fẹ́ lórí ojú ilẹ̀ ìtọ́sọ́nà granite ń pèsè dídára ìṣípo tí a nílò.
Iṣẹ́ ẹ̀rọ laser onípele pípé — àwọn ètò laser Femtosecond àti picosecond tí a lò fún yíyọ àwọn ohun èlò tí ó péye — nínú àwọn ohun èlò láti ojú ìwòye sí microelectronics sí àwọn èròjà afẹ́fẹ́ — nílò àwọn ìpele ìdúró pẹ̀lú ìpele nanometer tí ó péye àti ìṣípo tí kò ní ìdènà láti ṣàṣeyọrí dídára ablation tí a nílò.
Ìṣàtúnṣe ìwọ̀n ìlà — Àwọn ètò ìṣàtúnṣe fún àwọn encoders linear condocision àti àwọn ètò interferometer laser gbọ́dọ̀ gbé ohun ìtọ́kasí kan pẹ̀lú dídára ìṣípo tó dára tó bẹ́ẹ̀ tí ìṣípo náà fúnra rẹ̀ kò fi ní dín ìpéye ìṣàtúnṣe kù. Àwọn ìpele afẹ́fẹ́ lórí àwọn ojú ọ̀nà ìtọ́sọ́nà granite tí ó péye ni àṣàyàn tí a fọwọ́ sí fún àwọn ètò ìṣàtúnṣe tí ó le jùlọ.
Ìparí: Fíìmù Afẹ́fẹ́ àti Òkúta náà
Ní ti ìmọ̀ ẹ̀rọ tó dájú jùlọ, ìmọ̀ ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ àti granite tó péye ni a ṣe fún ara wọn. Ìmọ̀ ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ tó wà nínú iṣẹ́ afẹ́fẹ́ gbé àwọn ìbéèrè tó lágbára kalẹ̀ lórí bí ojú ìtọ́sọ́nà ṣe rí, bí ó ṣe tẹ́jú tó, àti àwọn ohun èlò tó ní í ṣe pẹ̀lú rẹ̀ — ó béèrè pé kí granite tó péye, nígbà tí a bá ṣe é tí a sì ṣe é sí àwọn ìlànà tó yẹ, wà ní ipò tó dára láti pàdé. Àti pé àwọn beari afẹ́fẹ́, nípa yíyọ ìfọ́ àti ìfarakanra kúrò, ó jẹ́ kí a máa lo ìpele nanometer ti granite tó péye nígbà gbogbo láìsí ìbàjẹ́.
Àbájáde rẹ̀ ni ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdúró tí ó lè ṣe àṣeyọrí dídára ìṣípo — tí a wọ́n ní nanomita — tí ìbá ti dàbí ohun ìyanu fún àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ ìran kan tí ó ti kọjá. Pé ìmọ̀ ẹ̀rọ yìí dúró lórí ìpìlẹ̀ òkúta àtijọ́, ní ti ara àti ní ti èrò, jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ohun ìyanu tí ó dára jùlọ nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣe déédé òde òní.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹfà-26-2026