Ni ọna asopọ bọtini ti iṣelọpọ chirún - ọlọjẹ wafer, išedede ti ohun elo pinnu didara ti ërún. Gẹgẹbi paati pataki ti ohun elo, iṣoro imugboroja igbona ti ipilẹ ẹrọ granite ti fa ifojusi pupọ.
Olusọdipúpọ ti igbona igbona ti giranaiti jẹ igbagbogbo laarin 4 ati 8 × 10⁻⁶/℃, eyiti o kere pupọ ju ti awọn irin ati okuta didan lọ. Eyi tumọ si pe nigbati iwọn otutu ba yipada, iwọn rẹ yipada ni iwọn diẹ. Sibẹsibẹ, o yẹ ki o ṣe akiyesi pe imugboroja igbona kekere ko tumọ si pe ko si igbona igbona. Labẹ awọn iwọn otutu iwọn otutu, paapaa imugboroja diẹ le ni ipa lori išedede nanoscale ti wíwo wafer.
Lakoko ilana ọlọjẹ wafer, awọn idi pupọ wa fun iṣẹlẹ ti imugboroosi gbona. Awọn iyipada iwọn otutu ninu idanileko naa, ooru ti ipilẹṣẹ nipasẹ iṣẹ ti awọn paati ohun elo, ati iwọn otutu giga lẹsẹkẹsẹ ti a mu nipasẹ sisẹ laser yoo fa gbogbo ipilẹ granite lati “faagun ati adehun nitori awọn iyipada iwọn otutu”. Ni kete ti ipilẹ ba gba imugboroja igbona, taara ti iṣinipopada itọsọna ati fifẹ ti pẹpẹ le yapa, ti o yorisi itọpa gbigbe ti ko pe ti tabili wafer. Awọn paati opiti ti n ṣe atilẹyin yoo tun yipada, nfa tan ina ọlọjẹ lati “yapa”. Ṣiṣẹ nigbagbogbo fun igba pipẹ yoo tun ṣajọpọ awọn aṣiṣe, ṣiṣe deede buru ati buru.
Ṣugbọn maṣe yọ ara rẹ lẹnu. Awọn eniyan ti ni awọn idahun tẹlẹ. Ni awọn ofin ti awọn ohun elo, awọn iṣọn granite pẹlu olusọdipúpọ kekere ti imugboroja igbona yoo jẹ yiyan ati tẹriba si itọju ti ogbo. Ni awọn ofin ti iṣakoso iwọn otutu, iwọn otutu onifioroweoro jẹ iṣakoso ni deede ni 23 ± 0.5 ℃ tabi paapaa kekere, ati pe ẹrọ itusilẹ ooru ti nṣiṣe lọwọ yoo tun jẹ apẹrẹ fun ipilẹ. Ni awọn ofin ti apẹrẹ igbekalẹ, awọn ẹya alakan ati awọn atilẹyin to rọ ni a gba, ati ibojuwo akoko gidi ni a ṣe nipasẹ awọn sensọ iwọn otutu. Awọn aṣiṣe ti o ṣẹlẹ nipasẹ abuku gbigbona jẹ atunṣe ni agbara nipasẹ awọn algoridimu.
Awọn ohun elo ti o ga julọ gẹgẹbi awọn ẹrọ lithography ASML, nipasẹ awọn ọna wọnyi, tọju ipa imugboroja igbona ti ipilẹ granite laarin iwọn kekere ti o kere pupọ, ti o mu ki o jẹ deede wiwafa wafer lati de ipele nanometer. Nitorinaa, niwọn igba ti o ti ṣakoso daradara, ipilẹ granite jẹ yiyan igbẹkẹle fun ohun elo ọlọjẹ wafer.
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-12-2025