Ṣé ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ granite yóò fẹ̀ sí i nítorí ooru nígbà tí a bá ń ṣe àyẹ̀wò wafer?

Nínú ìjápọ̀ pàtàkì ti iṣẹ́ ṣíṣe ërún - wíwo wafer, ìpéye ohun èlò náà ló ń pinnu dídára ërún náà. Gẹ́gẹ́ bí apá pàtàkì nínú ohun èlò náà, ìṣòro ìfàsẹ́yìn ooru ti ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ granite ti fa àfiyèsí púpọ̀.

Iye ìfàsẹ́yìn ooru ti granite sábà máa ń wà láàárín 4 àti 8×10⁻⁶/℃, èyí tí ó kéré sí i ju ti àwọn irin àti mábùlì lọ. Èyí túmọ̀ sí wípé nígbà tí ìgbóná bá yípadà, ìwọ̀n rẹ̀ kò yípadà díẹ̀. Síbẹ̀síbẹ̀, ó yẹ kí a kíyèsí pé ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré kò túmọ̀ sí pé kò sí ìfàsẹ́yìn ooru. Lábẹ́ àwọn ìyípadà otutu tí ó le koko, ìfàsẹ́yìn kékeré pàápàá lè ní ipa lórí ìṣedéédé nanoscale ti wíwo wafer.

Nígbà tí a bá ń ṣe àyẹ̀wò wafer, ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìdí ló wà fún ìfàsẹ́yìn ooru. Ìyípadà iwọn otutu nínú iṣẹ́ náà, ooru tí àwọn ohun èlò tí a fi ń ṣiṣẹ́ ń mú wá, àti ìwọ̀n otutu tí ó ga lójúkan tí a fi ń ṣe iṣẹ́ lésà mú wá yóò fa kí ìpìlẹ̀ granite náà “fẹ̀ sí i kí ó sì dìdí nítorí ìyípadà iwọn otutu”. Nígbà tí ìpìlẹ̀ náà bá ti gba ìfàsẹ́yìn ooru, títọ́ ọ̀nà ìtọ́sọ́nà àti fífẹ̀ pẹpẹ náà lè yípadà, èyí tí yóò yọrí sí ipa ọ̀nà ìṣípo tí kò péye ti tábìlì wafer. Àwọn ohun èlò opitika tí ó ń tì í lẹ́yìn náà yóò yípadà, èyí tí yóò mú kí ìtànṣán ìwòran “yàtọ̀”. Ṣíṣiṣẹ́ láìdáwọ́dúró fún ìgbà pípẹ́ yóò tún kó àwọn àṣìṣe jọ, èyí tí yóò mú kí ìpéye náà burú sí i, tí yóò sì burú sí i.

Ṣùgbọ́n má ṣe dààmú. Àwọn ènìyàn ti ní àwọn ojútùú tẹ́lẹ̀. Ní ti àwọn ohun èlò, a ó yan àwọn iṣan granite pẹ̀lú ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré sí i, a ó sì fi wọ́n sí ìtọ́jú ọjọ́ ogbó. Ní ti ìṣàkóso ìwọ̀n otutu, a ó darí ìwọ̀n otutu ibi iṣẹ́ náà ní 23±0.5℃ tàbí kí ó tilẹ̀ lọ sílẹ̀, a ó sì ṣe ẹ̀rọ ìtújáde ooru tí ń ṣiṣẹ́ fún ìpìlẹ̀ náà. Ní ti àpẹẹrẹ ìṣètò, a gba àwọn ètò tí ó ní ìwọ̀n mẹ́rìndínlọ́gbọ̀n àti àwọn ìtìlẹ́yìn tí ó rọrùn, a sì ń ṣe àbójútó àkókò gidi nípasẹ̀ àwọn sensọ iwọn otutu. Àwọn àṣìṣe tí ìyípadà ooru fà ni a ń ṣe nípasẹ̀ àwọn algoridimu.

Àwọn ohun èlò tó ga jùlọ bíi àwọn ẹ̀rọ ìwádìí ASML, nípasẹ̀ àwọn ọ̀nà wọ̀nyí, máa ń pa agbára ìfàsẹ́yìn ooru ti ìpìlẹ̀ granite mọ́ láàrín ìwọ̀n kékeré, èyí tó ń jẹ́ kí ìṣàyẹ̀wò wafer dé ìpele nanometer. Nítorí náà, níwọ̀n ìgbà tí a bá ti ṣàkóso rẹ̀ dáadáa, ìpìlẹ̀ granite ṣì jẹ́ àṣàyàn tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn ohun èlò ìwádìí wafer.