Nínú agbègbè àwọn ètò opitika tó péye—láti àwọn ohun èlò lithography sí àwọn ẹ̀rọ interferometers laser—ìpéye ìtòlẹ́sẹẹsẹ ló ń pinnu iṣẹ́ ètò náà. Yíyan ohun èlò substrate fún àwọn pẹpẹ ìtòlẹ́sẹẹsẹ opitika kì í ṣe àṣàyàn wíwà nìkan ṣùgbọ́n ìpinnu ìmọ̀ ẹ̀rọ pàtàkì tó ní ipa lórí ìpéye ìwọ̀n, ìdúróṣinṣin ooru, àti ìgbẹ́kẹ̀lé ìgbà pípẹ́. Ìwádìí yìí ṣe àyẹ̀wò àwọn pàtó pàtàkì márùn-ún tó jẹ́ kí àwọn ohun èlò gilasi tó péye jẹ́ àṣàyàn tí a fẹ́ràn fún àwọn ètò ìtòlẹ́sẹẹsẹ opitika, tí a fi ìwádìí iye àti àwọn ìṣe tó dára jùlọ ní ilé iṣẹ́ ṣe àtìlẹ́yìn.
Ifihan: Ipa Pataki ti Awọn Ohun elo Substrate ninu Itoju Optical
Àwọn ètò ìṣètò opitika nílò àwọn ohun èlò tí ó ń mú ìdúróṣinṣin onípele tí ó tayọ nígbàtí ó ń pèsè àwọn ohun-ìní opitika tí ó ga jùlọ. Yálà a ń ṣe àtúnṣe àwọn èròjà photonic ní àwọn àyíká iṣẹ́ aládàáṣe tàbí a ń ṣe àtúnṣe àwọn ojú ibi ìtọ́kasí interferometric nínú àwọn yàrá ìwádìí metrology, ohun èlò substrate náà gbọ́dọ̀ ní ìwà tí ó dúró ṣinṣin lábẹ́ onírúurú ẹrù ooru, ìdààmú ẹ̀rọ, àti àwọn ipò àyíká.
Ipenija Pataki:
Ronú nípa àpẹẹrẹ ìṣètò opitika tó wọ́pọ̀: ṣíṣe àtúnṣe àwọn okùn opitika nínú ètò ìṣètò photonics nílò ìṣètò tó péye láàrín ±50 nm. Pẹ̀lú ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru (CTE) ti 7.2 × 10⁻⁶ /K (tí a sábà máa ń lò nínú aluminiomu), ìyípadà ìwọ̀n otútù ti 1°C lásán lórí substrate 100 mm máa ń fa àwọn ìyípadà oníwọ̀n ti 720 nm—ó ju ìlọ́po 14 lọ tí a nílò láti fara da ìṣètò tó yẹ. Ìṣirò tó rọrùn yìí fi hàn ìdí tí yíyan ohun èlò kì í ṣe èrò lẹ́yìn ṣùgbọ́n ó jẹ́ ìlànà ìpìlẹ̀.
Àpèjúwe 1: Ìgbéjáde Optical àti Ìṣiṣẹ́ Spectral
Ìwọ̀n: Gbígbéjáde tí ó ju 92% lọ ní gbogbo ìwọ̀n ìgbì tí a sọ pàtó (nígbà gbogbo 400-2500 nm) pẹ̀lú ìfọ́jú ojú Ra ≤ 0.5 nm.
Idi ti o fi ṣe pataki fun Awọn Eto Itoju:
Gbigbe oju-ọna taara ni ipa lori ipin ifihan-si-ariwo (SNR) ti awọn eto tito lẹsẹẹsẹ. Ninu awọn ilana tito lẹsẹẹsẹ ti nṣiṣe lọwọ, awọn mita agbara opitika tabi awọn oluwoye fọto n wọn gbigbe nipasẹ eto naa lati mu ipo paati dara si. Gbigbe ilẹ ti o ga julọ mu deede wiwọn pọ si ati dinku akoko tito lẹsẹẹsẹ.
Ipa Iye:
Fún àwọn ètò ìṣètò optical tí ó ń lo ìṣètò through-transmission (níbi tí àwọn ìlà ìṣètò ti ń kọjá láàárín substrate), gbogbo ìdàgbàsókè 1% nínú ìṣètò le dín àkókò ìṣètò threading kù ní 3-5%. Ní àwọn àyíká ìṣẹ̀dá aládàáṣe níbi tí a ti ń wọn ìṣètò throughput ní àwọn apá fún ìṣẹ́jú kan, èyí túmọ̀ sí àwọn èrè productive pàtàkì.
Afiwe Ohun elo:
| Ohun èlò | Gbigbe ti a le ri (400-700 nm) | Gbigbe nitosi IR (700-2500 nm) | Agbara Ríru Dada |
|---|---|---|---|
| N-BK7 | >95% | >95% | Ra ≤ 0.5 nm |
| Silika ti a fi papọ | >95% | >95% | Ra ≤ 0.3 nm |
| Borofloat®33 | ~92% | ~90% | Ra ≤ 1.0 nm |
| AF 32® eco | ~93% | >93% | Ra < 1.0 nm RMS |
| Zeduror® | Kò sí (àìsí àṣírí tí a lè rí) | Kò sí | Ra ≤ 0.5 nm |
Didara Dada ati Itanka:
Ìrísí ojú ilẹ̀ ní ìbáṣepọ̀ tààrà pẹ̀lú ìrísí ...
Ohun elo Agbaye Gidi:
Nínú àwọn ètò ìṣètò photonics ìpele wafer, lílo àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ silica tí a fi sí ara wọn pẹ̀lú Ra ≤ 0.3 nm finishing ojú ilẹ̀ mú kí ìṣètò náà dára ju 20 nm lọ, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún àwọn ẹ̀rọ silicon photonic tí wọ́n ní ìwọ̀n ìlà tí ó wà ní ìsàlẹ̀ 10 μm.
Àpèjúwe 2: Ìtẹ́jú ojú ilẹ̀ àti Ìdúróṣinṣin Oníwọ̀n
Pàtàkì: Pípẹ́ ojú ≤ λ/20 ní 632.8 nm (tó tó 32 nm PV) pẹ̀lú ìṣọ̀kan nínípọn ±0.01 mm tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ.
Idi ti o fi ṣe pataki fun Awọn Eto Itoju:
Pípẹ́ ojú ilẹ̀ ni ìlànà pàtàkì jùlọ fún àwọn ohun èlò ìṣàtúnṣe, pàápàá jùlọ fún àwọn ètò ìṣàtúnṣe ojú àti àwọn ohun èlò interferometric. Àwọn ìyàtọ̀ láti inú fífẹ̀lẹ̀ mú àwọn àṣìṣe iwájú ìgbì omi wá tí ó ní ipa taara lórí ìṣedéédé àti ìṣedéédé ìwọ̀n.
Awọn ibeere Fisiksi ti Flatness:
Fún ẹ̀rọ interferometer laser pẹ̀lú lésà HeNe 632.8 nm, ìdúró ojú ilẹ̀ ti λ/4 (158 nm) máa ń fa àṣìṣe ìgbì ìgbì ìdajì kan (ìyàtọ̀ ojú ilẹ̀ ní ìlọ́po méjì) ní àkókò tí ó bá déédé. Èyí lè fa àṣìṣe ìwọ̀n tí ó ju 100 nm lọ—tí kò ṣeé gbà fún àwọn ohun èlò metrology pípé.
Ìpínsísọrí nípa Ìlò:
| Ìpele Ìfẹ̀rẹ̀ | Kíláàsì Ìbéèrè | Àwọn Àpò Lílò Tó Wọ́pọ̀ |
|---|---|---|
| ≥1λ | Ipele iṣowo | Ìmọ́lẹ̀ gbogbogbòò, ìtòlẹ́sẹẹsẹ tí kò ṣe pàtàkì |
| λ/4 | Ipele iṣẹ | Awọn lesa agbara alabọde kekere, awọn eto aworan |
| ≤λ/10 | Ipele deedee | Awọn lesa agbara giga, awọn eto metrology |
| ≤λ/20 | Pípéye-gíga púpọ̀ | Interferometry, lithography, apejọ photonics |
Awọn Ipenija Iṣelọpọ:
Àṣeyọrí λ/20 flatness lórí àwọn substrates ńláńlá (200 mm+) ń gbé àwọn ìpèníjà ìṣelọ́pọ́ pàtàkì wá. Ìbáṣepọ̀ láàárín ìwọ̀n substrates àti flatness tí ó ṣeé ṣe tẹ̀lé òfin onígun mẹ́rin kan: fún dídára ìṣiṣẹ́ kan náà, àṣìṣe flatness ń wọ̀n ní ìwọ̀n onígun mẹ́rin ti iwọn ila opin. Ìwọ̀n substrates méjì láti 100 mm sí 200 mm lè mú kí ìyàtọ̀ flatness pọ̀ sí i nípa ìwọ̀n 4.
Ọ̀ràn Àgbáyé Gíga:
Olùpèsè ohun èlò lithography kan kọ́kọ́ lo àwọn ohun èlò gilasi borosilicate pẹ̀lú flatness λ/4 fún àwọn ìpele ìṣàtúnṣe ibojú. Nígbà tí wọ́n ń yípadà sí lithography immersion 193 nm pẹ̀lú àwọn ohun tí a nílò ìṣàtúnṣe lábẹ́ 30 nm, wọ́n ṣe àtúnṣe sí àwọn ohun èlò silica tí a dàpọ̀ pẹ̀lú flatness λ/20. Àbájáde rẹ̀: ìṣàtúnṣe déédé dara síi láti ±80 nm sí ±25 nm, àti ìwọ̀n àbùkù dínkù ní 67%.
Iduroṣinṣin Lori Akoko:
Kì í ṣe pé a gbọ́dọ̀ kọ́kọ́ rí i pé ojú ilẹ̀ náà tẹ́jú nìkan ni, a gbọ́dọ̀ tún máa ṣe é títí gbogbo ìgbà tí ohun èlò náà bá wà. Àwọn ohun èlò dígí náà máa ń dúró ṣinṣin fún ìgbà pípẹ́ pẹ̀lú ìyàtọ̀ tó rọ̀ díẹ̀, èyí tó sábà máa ń dín ju λ/100 lọ lọ́dún lábẹ́ àwọn ilé ìwòsàn déédéé. Ní ìyàtọ̀ sí èyí, àwọn ohun èlò onírin lè máa dín ìdààmú kù, kí wọ́n sì máa yọ́, èyí tó lè fa ìbàjẹ́ ní oṣù díẹ̀.
Àpèjúwe 3: Ìṣọ̀kan Ìfàsẹ́yìn Òtútù (CTE) àti Ìdúróṣinṣin Òtútù
Àwọn ìpele: CTE láti ibi tí ó fẹ́rẹ̀ẹ́ tó òdo (±0.05 × 10⁻⁶/K) fún àwọn ìpele tí ó péye sí 3.2 × 10⁻⁶/K fún àwọn ìpele tí ó bá ohun èlò mu pẹ̀lú silikoni.
Idi ti o fi ṣe pataki fun Awọn Eto Itoju:
Ìfẹ̀sí ooru dúró fún orísun tó tóbi jùlọ fún àìdúróṣinṣin oníwọ̀n nínú àwọn ètò ìbáṣepọ̀ opitika. Àwọn ohun èlò ìsàlẹ̀ ilẹ̀ gbọ́dọ̀ fi ìyípadà oníwọ̀n tó kéré jùlọ hàn lábẹ́ àwọn ìyípadà iwọ̀n otutu tí a bá rí nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́, bí a ṣe ń yípo àyíká, tàbí bí a ṣe ń ṣe é.
Ìpèníjà Ìfẹ̀sí-Gbona:
Fún ìṣàtúnṣe ìsopọ̀ 200 mm:
| CTE (×10⁻⁶/K) | Ìyípadà Ìwọ̀n fún °C | Ìyípadà Ìwọ̀n fún Ìyípadà 5°C |
|---|---|---|
| 23 (Alumínọ́mù) | 4.6 μm | 23 μm |
| 7.2 (Irin) | 1.44 μm | 7.2 μm |
| 3.2 (AF 32® eco) | 0.64 μm | 3.2 μm |
| 0.05 (ULE®) | 0.01 μm | 0.05 μm |
| 0.007 (Zerodur®) | 0.0014 μm | 0.007 μm |
Àwọn Kíláàsì Ohun Èlò nípa CTE:
Gilasi Ifaagun Kekere Pupọ (ULE®, Zeduror®):
- CTE: 0 ± 0.05 × 10⁻⁶/K (ULE) tabi 0 ± 0.007 × 10⁻⁶/K (Zerodur)
- Àwọn Ohun Èlò: Interferometry tó péye gan-an, àwọn telescopes ààyè, àwọn dígí ìtọ́kasí lithography
- Iṣowo-pipa: Iye owo ti o ga julọ, gbigbe oju-ọna ti o ni opin ni awọn iwoye ti a le rii
- Àpẹẹrẹ: Ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ digi Hubble Space Telescope tó jẹ́ àkọ́bẹ̀rẹ̀ lo gilasi ULE pẹ̀lú CTE < 0.01 × 10⁻⁶/K
Gilasi Ibamu Silikoni (AF 32® eco):
- CTE: 3.2 × 10⁻⁶/K (ó bá silicon 3.4 × 10⁻⁶/K mu dáadáa)
- Awọn ohun elo: apoti MEMS, isopọpọ silicon photonics, idanwo semiconductor
- Anfani: Din wahala ooru ku ninu awọn apejọ ti a so mọra
- Iṣẹ́: Ó ń mú kí àìbáramu CTE wà ní ìsàlẹ̀ 5% pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ silicon.
Gilasi Opitiki Boṣewa (N-BK7, Borofloat®33):
- CTE: 7.1-8.2 × 10⁻⁶/K
- Awọn ohun elo: Itoju opitika gbogbogbo, awọn ibeere deedee deede
- Anfani: Gbigbe opitika ti o tayọ, idiyele kekere
- Ààlà: Nbeere iṣakoso iwọn otutu ti nṣiṣe lọwọ fun awọn ohun elo deedee giga
Agbara Gbigbona:
Yàtọ̀ sí ìwọ̀n CTE, ìdènà ìgbóná ṣe pàtàkì fún yíyípo ooru kíákíá. Àwọn gilaasi silica àti borosilicate tí a fi sí ara wọn (pẹ̀lú Borofloat®33) ń fi ìdènà ìgbóná tó dára hàn, wọ́n sì ń fara da ìyàtọ̀ otutu tó ju 100°C lọ láìsí ìfọ́. Ohun ìní yìí ṣe pàtàkì fún àwọn ètò ìtòlẹ́sẹẹsẹ tí ó lè yí padà sí àyíká kíákíá tàbí ìgbóná láti inú àwọn léṣà alágbára gíga.
Ohun elo Agbaye Gidi:
Ètò ìṣètò photonics fún ìsopọ̀ opitika okùn ń ṣiṣẹ́ ní àyíká iṣẹ́ 24/7 pẹ̀lú àwọn ìyàtọ̀ iwọ̀n otutu tó dé ±5°C. Lílo àwọn ohun èlò aluminiomu (CTE = 23 × 10⁻⁶/K) yọrí sí àwọn ìyàtọ̀ iṣiṣẹ́ ìsopọ̀ ti ±15% nítorí àwọn ìyípadà ìpele. Yíyípadà sí àwọn ohun èlò AF 32® eco (CTE = 3.2 × 10⁻⁶/K) dín ìyàtọ̀ iṣiṣẹ́ ìsopọ̀ kù sí èyí tí ó kéré sí ±2%, èyí sì mú kí ìṣẹ́jáde ọjà sunwọ̀n sí i gidigidi.
Àwọn Ìrònú Ìwọ̀n Òtútù:
Pẹ̀lú àwọn ohun èlò CTE tí kò pọ̀ tó, àwọn ìyípadà ìgbóná lórí substrate náà lè fa ìyípadà agbègbè. Fún ìfaradà λ/20 lórí substrate 200 mm, àwọn ìyípadà ìgbóná gbọ́dọ̀ wà ní ìsàlẹ̀ 0.05°C/mm fún àwọn ohun èlò tí ó ní CTE ≈ 3 × 10⁻⁶/K. Èyí nílò yíyan ohun èlò àti àpẹẹrẹ ìṣàkóso ooru tí ó tọ́.
Àpèjúwe 4: Àwọn Ohun-ìní Mẹ́kínẹ́ẹ̀kì àti Ìdámú Gbígbóná
Àwọn Pílámẹ́tà: Mọ́dúlù Young 67-91 GPa, ìforígbárí inú Q⁻¹ > 10⁻⁴, àti àìsí ìforígbárí ìdààmú inú.
Idi ti o fi ṣe pataki fun Awọn Eto Itoju:
Ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ ní ìdúróṣinṣin oníwọ̀n lábẹ́ ẹrù, àwọn ànímọ́ ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀, àti ìdènà sí ìfàsẹ́yìn tí wahala fà—gbogbo wọn ṣe pàtàkì fún mímú kí ó péye ní àyíká tí ó ń yí padà.
Modulu Rirọ ati Lile:
Módùlù lílágbára gíga túmọ̀ sí ìdènà tó ga sí ìyípadà lábẹ́ ẹrù. Fún ìtànṣán gígùn L, ìfúnpọ̀ t, àti lílágbára E tí a ti gbé kalẹ̀, ìyípadà lábẹ́ ìwọ̀n ẹrù pẹ̀lú L³/(Et³). Ìbáṣepọ̀ onígun mẹ́rin yìí pẹ̀lú ìfúnpọ̀ àti ìbáṣepọ̀ tààrà pẹ̀lú gígùn fihàn ìdí tí líle fi ṣe pàtàkì fún àwọn ohun èlò ńlá.
| Ohun èlò | Modulu Young (GPa) | Líle koko pàtó (E/ρ, 10⁶ m) |
|---|---|---|
| Silika ti a fi papọ | 72 | 32.6 |
| N-BK7 | 82 | 34.0 |
| AF 32® eco | 74.8 | 30.8 |
| Aluminiomu 6061 | 69 | 25.5 |
| Irin (440C) | 200 | 25.1 |
Àkíyèsí: Bó tilẹ̀ jẹ́ pé irin ní agbára gíga jùlọ, agbára pàtó rẹ̀ (ìpíndọ́gba líle-sí-ìwúwo) jọ ti aluminiomu. Àwọn ohun èlò dígí ní agbára pàtó kan tí a lè fi wé àwọn irin pẹ̀lú àwọn àǹfààní afikún: àwọn ànímọ́ tí kò ní agbára àti àìsí àdánù ìṣàn omi eddy.
Ìdènà àti Ìdènà Ọkàn:
Ìfọ́mọ́ra inú (Q⁻¹) ló ń pinnu agbára ohun èlò láti tú agbára ìfọ́mọ́ra jáde. Gíláàsì sábà máa ń fi Q⁻¹ ≈ 10⁻⁴ sí 10⁻⁵ hàn, èyí tó ń pèsè ìfọ́mọ́ra ìfọ́mọ́ra ìfọ́mọ́ra tó dára jù ju àwọn ohun èlò bíi aluminiomu (Q⁻¹ ≈ 10⁻³) lọ, àmọ́ ó kéré sí àwọn polima. Ìwà ìfọ́mọ́ra àárín yìí ń ran lọ́wọ́ láti dín ìfọ́mọ́ra ìfọ́mọ́ra ìfọ́mọ́ra ìfọ́mọ́ra kù láìsí pé ó ní ìfọ́mọ́ra ...
Ìlànà Ìyàsọ́tọ̀ Gbígbọ̀n:
Fún àwọn ìpìlẹ̀ ìṣètò opitika, ohun èlò ìṣàlẹ̀ náà gbọ́dọ̀ ṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn ètò ìyasọtọ̀:
- Ìyàsọ́tọ̀ Ìgbohùn-ayé Kéré: Àwọn onísọtọ̀ afẹ́fẹ́ pẹ̀lú àwọn ìgbohùn-ayé 1-3 Hz ló ń pèsè rẹ̀
- Ìdádúró àárín-Frequency: Ìfọ́mọ́ra inú àti ìṣètò ìṣètò ti dẹ́kun
- Ṣíṣàlẹ̀ Ìgbohùn-gíga: A ṣe àṣeyọrí nípasẹ̀ ìfikún ibi-pupọ àti àìbáramu impedance
Ìṣòro Ìdààmú:
Gíláàsì jẹ́ ohun èlò tí kò ní àwọ̀, nítorí náà kò gbọdọ̀ fi àwọ̀ ara hàn. Síbẹ̀síbẹ̀, ìdààmú tí a ń fà nípasẹ̀ ìṣiṣẹ́ lè fa ìdààmú ìgbà díẹ̀ tí ó ní ipa lórí àwọn ètò ìdààmú ìmọ́lẹ̀ tí ó ní àwọ̀ ara. Fún àwọn ìlò ìdààmú pípé tí ó ní àwọn ìdààmú onípele, ìdààmú tí ó kù gbọ́dọ̀ wà ní ìsàlẹ̀ 5 nm/cm (tí a wọ̀n ní 632.8 nm).
Ìlànà Ìtura Wahala:
Dídínà tó yẹ mú kí àwọn ìdààmú inú kúrò:
- Iwọn otutu annealing deede: 0.8 × Tg (iwọn otutu iyipada gilasi)
- Àkókò fífún un: Wákàtí 4-8 fún ìfúnpọ̀ 25 mm (ìwọ̀n pẹ̀lú ìfúnpọ̀ onígun mẹ́rin)
- Iwọn itutu: 1-5°C/wakati jakejado aaye wahala
Ọ̀ràn Àgbáyé Gíga:
Ètò ìṣàyẹ̀wò semiconductor kan ní ìrírí àìtọ́jọ́pọ̀ pẹ̀lú ìwọ̀n 0.5 μm ní ìwọ̀n 150 Hz. Ìwádìí fi hàn pé àwọn ohun èlò tí ó ní aluminiomu ń mì tìtì nítorí iṣẹ́ ẹ̀rọ. Rírọ́pò aluminiomu pẹ̀lú gilasi borofloat®33 (tí ó jọ CTE sí silicon ṣùgbọ́n líle pàtó tí ó ga jù) dín ìwọ̀n ìgbọ̀nsẹ̀ kù ní ìwọ̀n 70% ó sì mú àwọn àṣìṣe àìtọ́jọ́pọ̀ kúrò.
Agbara Fifuye ati Iyipada:
Fún àwọn ìpele ìtòlẹ́sẹẹsẹ tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ohun èlò ìtasánsán tó lágbára, a gbọ́dọ̀ ṣírò ìyípadà lábẹ́ ẹrù. Ohun èlò ìtasánsán sílíkà tí a fi sílíkà ṣe ní ìwọ̀n 300 mm, tí ó nípọn 25 mm, ó ń yí i padà sí ìwọ̀n tí kò tó 0.2 μm lábẹ́ ẹrù tí a fi sí àárín gbùngbùn 10 kg—kò ṣeé ṣe fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun èlò ìtòlẹ́sẹẹsẹ optíkì tí ó nílò ìtòlẹ́sẹẹsẹ ipò ní ìwọ̀n 10-100 nm.
Àpèjúwe 5: Ìdúróṣinṣin Kẹ́míkà àti Ìdènà Àyíká
Àwọn Pílámẹ́tà: Ìdènà Hídrólítìkì Káàdì 1 (fún ISO 719), ìdènà ásíìdì Káàdì A3, àti ìdènà ojú ọjọ́ tí ó ju ọdún 10 lọ láìsí ìbàjẹ́.
Idi ti o fi ṣe pataki fun Awọn Eto Itoju:
Ìdúróṣinṣin kẹ́míkà ń mú kí ìdúróṣinṣin onípele pípẹ́ àti iṣẹ́ ojú ní onírúurú àyíká—láti àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ pẹ̀lú àwọn ohun ìwẹ̀nùmọ́ oníjàgídíjàgan sí àwọn ibi iṣẹ́ pẹ̀lú ìfarahàn sí àwọn ohun olómi, ọriniinitutu, àti ìyípo iwọ̀n otútù.
Ìpínsísọ̀rí Ìdènà Kẹ́míkà:
A ṣe ìpín àwọn ohun èlò gilasi nípa agbára wọn sí àwọn àyíká kẹ́míkà tó yàtọ̀ síra:
| Irú Agbára Àtakò | Ọ̀nà Ìdánwò | Ìpínsísọ̀rí | Ìlà |
|---|---|---|---|
| Haidrolitik | ISO 719 | Kilasi 1 | <10 μg Na₂O deede fun giramu kan |
| Àsídì | ISO 1776 | Kilasi A1-A4 | Pípàdánù ìwúwo ojú ilẹ̀ lẹ́yìn ìfìhàn acid |
| Alkali | ISO 695 | Kilasi 1-2 | Pípàdánù ìwọ̀n ojú ilẹ̀ lẹ́yìn ìfihàn alkali |
| Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ojú ọjọ́ | Ifihan ita gbangba | O tayọ | Kò sí ìbàjẹ́ tí a lè wọ̀n lẹ́yìn ọdún mẹ́wàá |
Ibamu mimọ:
Àwọn ètò ìṣètò ojú ìrísí nílò ìwẹ̀nùmọ́ nígbàkúgbà láti lè mú kí iṣẹ́ rẹ̀ sunwọ̀n síi. Àwọn ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ tí a sábà máa ń lò ni:
- Ọtí Isopropyl (IPA)
- Acetone
- Omi ti a ti yọ kuro ninu ion
- Àwọn ojútùú ìwẹ̀nùmọ́ opitika pàtàkì
Àwọn gilaasi silica àti borosilicate tí a fi sí ara wọn máa ń tako gbogbo àwọn ohun ìfọmọ́ tí a sábà máa ń lò. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn gilaasi ojú kan (pàápàá àwọn gilaasi flint tí ó ní ìwọ̀n lead gíga) lè jẹ́ èyí tí àwọn ohun èlò ìfọmọ́ lè dín kù, èyí sì lè dín àwọn àṣàyàn ìfọmọ́ kù.
Ọriniinitutu ati fifamọra omi:
Fífà omi sínú ojú gíláàsì lè ní ipa lórí iṣẹ́ ojú àti ìdúróṣinṣin ìwọ̀n. Ní ìwọ̀n ọriniinitutu 50%, silica tí a yọ́ pọ̀ máa ń gba ohun tí kò ju 1 nínú àwọn molecule omi, èyí sì máa ń fa ìyípadà ìwọ̀n tí kò ṣe pàtàkì àti pípadánù ìṣípopadà ojú. Síbẹ̀síbẹ̀, ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ pẹ̀lú ọriniinitutu lè yọrí sí ìṣẹ̀dá àwọn ibi omi, èyí sì máa ń ba dídára ojú ilẹ̀ jẹ́.
Ibamu siga ati afẹfẹ:
Fún àwọn ètò ìṣètò tí ń ṣiṣẹ́ nínú ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ (bíi àwọn ètò optical tí ó wà ní ààyè tàbí ìdánwò yàrá afẹ́fẹ́), ìtújáde gaasi jẹ́ ohun pàtàkì. Gíláàsì ní ìwọ̀n ìtújáde gaasi tí ó kéré gan-an:
- Silica tí a fi sípọ̀: < 10⁻¹⁰ Torr·L/s·cm²
- Borosilicate: < 10⁻⁹ Torr·L/s·cm²
- Aluminiomu: 10⁻⁸ – 10⁻⁷ Torr·L/s·cm²
Èyí mú kí àwọn ohun èlò dígí jẹ́ àṣàyàn tí a fẹ́ràn jùlọ fún àwọn ètò ìṣètò tí ó bá afẹ́fẹ́ mu.
Agbára Ìtọjú Ìtàn:
Fún àwọn ohun èlò tó ní í ṣe pẹ̀lú ìtànṣán ionizing (àwọn ètò ààyè, àwọn ohun èlò ìpakúpa, àwọn ohun èlò X-ray), òkùnkùn tí ìtànṣán ń fà lè ba ìtànṣán jẹ́. Àwọn gíláàsì líle tí ìtànṣán ń mú wá wà, ṣùgbọ́n àwọn gíláàsì tí a fi ìdàpọ̀ mọ́ra pàápàá ń fi ìdènà tó dára hàn:
- Silica ti a fi sinu ara: Ko si pipadanu gbigbe ti a le wiwọn to iwọn lilo apapọ 10 krad
- N-BK7: Pípàdánù ìṣíṣẹ́ <1% ní 400 nm lẹ́yìn krad 1
Iduroṣinṣin Igba pipẹ:
Àkópọ̀ ipa ti àwọn ohun tó ń fa kẹ́míkà àti àyíká ló ń pinnu ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́. Fún àwọn ohun tó wà nínú ìtòlẹ́sẹẹsẹ tó péye:
- Silica ti a fi sinu ara: Iduroṣinṣin iwọn < 1 nm fun ọdun kan labẹ awọn ipo yàrá deede
- Zedurour®: Iduroṣinṣin iwọn < 0.1 nm fun ọdun kan (nitori iduroṣinṣin ipele kristali)
- Aluminium: Iyipo onisẹpo 10-100 nm fun ọdun kan nitori isinmi wahala ati gigun kẹkẹ ooru
Ohun elo Agbaye Gidi:
Ilé-iṣẹ́ oògùn kan ń lo àwọn ètò ìṣàtúnṣe ojú fún àyẹ̀wò aládàáṣe ní àyíká yàrá mímọ́ pẹ̀lú ìwẹ̀nùmọ́ ojoojúmọ́ tí ó dá lórí IPA. Ní àkọ́kọ́, wọ́n ń lo àwọn èròjà ojú ṣíṣu, wọ́n ní ìrírí ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ tí ó nílò ìyípadà ní gbogbo oṣù mẹ́fà. Nígbà tí wọ́n yípadà sí àwọn ohun èlò gilasi borofloat®33, wọ́n mú kí ìgbésí ayé àwọn èròjà náà pọ̀ sí ju ọdún márùn-ún lọ, èyí tí ó dín iye owó ìtọ́jú kù ní 80% àti yíyọ àkókò ìsinmi tí a kò gbèrò nítorí ìbàjẹ́ ojú kúrò.
Ìlànà Yíyan Ohun Èlò: Àwọn Ìlànà Tó Bá Àwọn Ohun Èlò Mu
Da lori awọn alaye pataki marun, awọn ohun elo tito opitika le wa ni tito lẹtọ ati baamu pẹlu awọn ohun elo gilasi ti o yẹ:
Ìtẹ̀léra Pípé Gíga Jùlọ (≤10 nm ìṣedéédé)
Awọn ibeere:
- Pípẹ́: ≤ λ/20
- CTE: Nǹkan bí òdo (≤0.05 × 10⁻⁶/K)
- Gbigbe: >95%
- Ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀: Ìfọ́mọ́ inú tó ga-Q
Àwọn Ohun Èlò Tí A Ṣe Àmọ̀ràn:
- ULE® (Kóòdù Corning 7972): Fún àwọn ohun èlò tó nílò ìfiranṣẹ́ NIR/àwòrán tí a lè rí
- Zeduror®: Fún àwọn ohun èlò tí a kò nílò láti fi ránṣẹ́ síta
- Silica ti a fi sinu ara (giga giga): Fun awọn ohun elo pẹlu awọn ibeere iduroṣinṣin gbona alabọde
Àwọn Ohun Èlò Tó Wọ́pọ̀:
- Awọn ipele tito Lithography
- Ìlànà Ìlànà Interferometric
- Àwọn ètò ìpìlẹ̀ ojú tí ó dá lórí ààyè
- Apejọ awọn fọtoniki konge
Ìtẹ̀léra Pípéye Gíga (ìpéye 10-100 nm)
Awọn ibeere:
- Pípẹ́: λ/10 sí λ/20
- CTE: 0.5-5 × 10⁻⁶/K
- Gbigbe: >92%
- Idaabobo kemikali to dara
Àwọn Ohun Èlò Tí A Ṣe Àmọ̀ràn:
- Silica Fused: Iṣẹ ṣiṣe gbogbogbo ti o tayọ
- Borofloat®33: Agbara resistance ooru to dara, CTE ti o wa ni iwọnwọn
- AF 32® eco: CTE tó bá silicon mu fún ìṣọ̀kan MEMS
Àwọn Ohun Èlò Tó Wọ́pọ̀:
- Ìtòlẹ́sẹẹsẹ ẹ̀rọ laser
- Àkójọpọ̀ okùn opitiki
- Àyẹ̀wò Semiconductor
- Awọn eto opitika iwadii
Ìtẹ̀léra Àpapọ̀ (ìpéye 100-1000 nm)
Awọn ibeere:
- Pípẹ́: λ/4 sí λ/10
- CTE: 3-10 × 10⁻⁶/K
- Gbigbe: >90%
- Iye owo to munadoko
Àwọn Ohun Èlò Tí A Ṣe Àmọ̀ràn:
- N-BK7: Gilasi opitika boṣewa, gbigbejade ti o dara julọ
- Borofloat®33: Iṣẹ́ ooru tó dára, owó rẹ̀ kéré ju ti silica tí a yọ́ pọ̀ lọ
- Gilasi Soda-lime: Owó rẹ̀ pọ̀ fún àwọn ohun èlò tí kìí ṣe pàtàkì
Àwọn Ohun Èlò Tó Wọ́pọ̀:
- Àwọn ohun èlò ìwádìí ẹ̀kọ́
- Àwọn ètò ìṣètò ilé-iṣẹ́
- Awọn ọja opitika onibara
- Ohun elo yàrá gbogbogbo
Àwọn Ohun Tí A Fi Ń Ṣe Ẹ̀rọ: Ṣíṣe Àṣeyọrí Àwọn Ohun Márùn-ún Pàtàkì
Yàtọ̀ sí yíyan ohun èlò, àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ ń pinnu bóyá a ṣe àṣeyọrí àwọn ìlànà ìwádìí ní ìṣe.
Awọn ilana Ipari Dada
Lilọ ati didan:
Ilọsiwaju lati lilọ lile si didan ikẹhin pinnu didara dada ati fifẹ:
- Lilọ nipọn: Yọ awọn ohun elo ti o pọ julọ kuro, ṣaṣeyọri ifarada sisanra ± 0.05 mm
- Lilọ ni Didara: Ó dín ìfọ́ ojú ilẹ̀ kù sí Ra ≈ 0.1-0.5 μm
- Ṣíṣe ìmọ́tótó: Ó ń ṣe àṣeyọrí ìparí ojú ilẹ̀ Ra ≤ 0.5 nm
Ṣíṣe ìmọ́lára Pọ́ọ̀tì àti Ṣíṣe ìmọ́lára Kọ̀ǹpútà:
Ṣíṣe ìpìlẹ̀ ìpìlẹ̀ ìbílẹ̀ lè ṣe àṣeyọrí λ/20 flatness lórí àwọn ohun èlò kékeré sí àárín (tó tó 150 mm). Fún àwọn ohun èlò tó tóbi tàbí nígbà tí a bá nílò ìṣiṣẹ́ tó ga jù, ìpìlẹ̀ ìdarí kọ̀ǹpútà (CCP) tàbí ìfiniṣẹ́ magnetorheological (MRF) lè mú kí:
- Itẹlera ti o duro ṣinṣin kọja awọn ipilẹ 300-500 mm
- Aago ilana ti dinku nipasẹ 40-60%
- Agbara lati ṣe atunṣe awọn aṣiṣe igbohunsafẹfẹ aarin-aaye
Ṣíṣe àti Ṣíṣe Àtúnṣe Ooru:
Gẹ́gẹ́ bí a ti sọ tẹ́lẹ̀, ìtúpalẹ̀ tó tọ́ ṣe pàtàkì fún ìtura wahala:
- Iwọn otutu fifẹ: 0.8 × Tg (iwọn otutu iyipada gilasi)
- Akoko rirọ: wakati 4-8 (awọn iwọn pẹlu sisanra onigun mẹrin)
- Iwọn itutu: 1-5°C/wakati jakejado aaye wahala
Fún àwọn gíláàsì CTE tí kò ní agbára bíi ULE àti Zeduror, a lè nílò àfikún ìyípo ooru láti lè ní ìdúróṣinṣin oníwọ̀n. “Ìlànà ogbó” fún Zeduror níí ṣe pẹ̀lú yíyí ohun èlò náà láàárín 0°C àti 100°C fún ọ̀sẹ̀ púpọ̀ láti mú kí ìpele kristali náà dúró ṣinṣin.
Idaniloju Didara ati Ilana Iwontunwonsi
Láti rí i dájú pé a ṣe àwọn ìlànà pàtó, ó yẹ kí a lo ìlànà ìwádìí tó ní ìjìnlẹ̀:
Wiwọn Itẹlera:
- Ìbáramu: Zygo, Veeco, tàbí àwọn ẹ̀rọ ìdènà lésà tó jọra pẹ̀lú ìpéye λ/100
- Ìwọ̀n ìgbì: Lọ́pọ̀ ìgbà 632.8 nm (HeNe lesa)
- Iho: Oju ti o han gbangba yẹ ki o kọja 85% ti iwọn ila opin substrate
Ìwọ̀n Rírọrùn Dada:
- Àwòrán Onímọ̀ọ́ká Agbára Atomic (AFM): Fún ìfìdí múlẹ̀ Ra ≤ 0.5 nm
- Ìdámọ̀ràn Fọ́nrán Fúfúfú: Fún ìfọ́mọ́ra 0.5-5 nm
- Ìrísí Ìbáṣepọ̀: Fún ìrísí > 5 nm
Ìwọ̀n CTE:
- Ìwọ̀n Ìṣàn-ìwọ̀n: Fún ìwọ̀n CTE déédéé, ìpéye ±0.01 × 10⁻⁶/K
- Ìwọ̀n CTE Interferometric: Fún àwọn ohun èlò CTE tí ó kéré gan-an, ìpéye ±0.001 × 10⁻⁶/K
- Fizeau interferometry: Fún wíwọ̀n ìṣọ̀kan CTE lórí àwọn ohun èlò ńláńlá
Àwọn Ohun Tí A Fi Ń Béèrè Nípa Ìṣọ̀kan: Ṣíṣe àfikún àwọn ohun èlò dígí sí àwọn ètò ìtòlẹ́sẹẹsẹ
Láti ṣe àṣeyọrí nínú ṣíṣe àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ gilasi tí ó péye nílò àfiyèsí sí ìfìsẹ́pọ̀, ìṣàkóso ooru, àti ìṣàkóso àyíká.
Ṣíṣe àti Ṣíṣe Àtúnṣe
Àwọn Ìlànà Ìgbékalẹ̀ Kinematic:
Fún ìtòjọpọ̀ tó péye, a gbọ́dọ̀ so àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ pọ̀ mọ́ra nípa lílo àtìlẹ́yìn ojú mẹ́ta láti yẹra fún lílo wahala. Ìṣètò ìfàsẹ́yìn náà sinmi lórí bí a ṣe lò ó:
- Àwọn ohun èlò ìfọṣọ oyin: Fún àwọn ohun èlò ìfọṣọ ńlá, fẹ́ẹ́rẹ́fẹ́ tí ó nílò agbára gíga
- Ìdènà etí: Fún àwọn ohun èlò tí a lè lò fún àwọn ẹ̀gbẹ́ méjèèjì
- Àwọn ìsopọ̀ tí a so pọ̀: Nípa lílo àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra tàbí àwọn epoxy tí kò ní èéfín púpọ̀
Ìyípadà tí ó fa wahala:
Pẹ̀lú ìsopọ̀ kinematic, àwọn agbára ìdènà lè fa ìyípadà ojú ilẹ̀. Fún ìfaradà λ/20 lórí substrate silica tí a fi sílíkì 200 mm, agbára ìdènà tó pọ̀ jùlọ kò gbọdọ̀ ju 10 N tí a pín káàkiri àwọn agbègbè tí ó ju 100 mm² lọ láti dènà ìyípadà tí ó ju ìpele ìdúró lọ.
Isakoso Ooru
Iṣakoso Iwọn otutu ti n ṣiṣẹ:
Fun tito deedee, iṣakoso iwọn otutu ti nṣiṣe lọwọ nigbagbogbo jẹ pataki:
- Ìpéye ìṣàkóso: ±0.01°C fún àwọn ohun tí a nílò láti fi ṣe λ/20
- Ìṣọ̀kan: < 0.01°C/mm lórí ojú ilẹ̀
- Iduroṣinṣin: Ilọsipo iwọn otutu < 0.001°C/wakati lakoko awọn iṣẹ pataki
Ìyàsọ́tọ̀ ooru aláìlágbára:
Àwọn ọ̀nà ìyàsọ́tọ̀ aláìlọ́wọ́ máa ń dín ẹrù ooru kù:
- Àwọn ààbò ooru: Àwọn ààbò ìtànṣán onípele-pupọ pẹ̀lú àwọn àwọ̀ tí kò ní ìtújáde púpọ̀
- Ìdábòbò: Àwọn ohun èlò ìdábòbò ooru tó ga jùlọ
- Ìwọ̀n ooru: Àwọn ìyípadà iwọn otutu ooru tó pọ̀
Iṣakoso Ayika
Ibamu Yara Mimọ:
Fun awọn ohun elo semikondokito ati awọn opitika konge, awọn sobsitireti gbọdọ pade awọn ibeere yara mimọ:
- Ìṣẹ̀dá pàtákì: < 100 pàtákì/ft³/ìṣẹ́jú kan (Yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 100)
- Ìmújáde èéfín: < 1 × 10⁻⁹ Torr·L/s·cm² (fún lílo afẹ́fẹ́)
- Ìmọ́tótó: Ó gbọ́dọ̀ fara da ìmọ́tótó IPA tí a ń tún ṣe láìsí ìbàjẹ́
Ìṣàyẹ̀wò Àǹfààní àti Owó: Àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ dígí àti àwọn ohun mìíràn
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn ohun èlò dígí ní iṣẹ́ tó dára jù, wọ́n dúró fún ìdókòwò àkọ́kọ́ tó ga jù. Lílóye iye owó tí a fi ń ra nǹkan ṣe pàtàkì fún yíyan ohun èlò tó dá lórí ìmọ̀.
Afiwe Iye Owo Ibẹrẹ
| Ohun èlò ìpìlẹ̀ | Ìwọ̀n Ìwọ̀n 200 mm, 25 mm Nipọn (USD) | Iye owo ibatan |
|---|---|---|
| Gilasi soda-lime | Dọ́là 50-100 | 1× |
| Borofloat®33 | Dọ́là 200-400 | 3-5× |
| N-BK7 | Dọ́là 300-600 | 5-8× |
| Silika ti a fi papọ | Dọ́là 800-1,500 | 10-20× |
| AF 32® eco | Dọ́là 500-900 | 8-12× |
| Zeduror® | Dọ́là 2,000-4,000 | 30-60× |
| ULE® | Dọ́là 3,000-6,000 | 50-100× |
Ìṣàyẹ̀wò Iye Owó Ìyípo Ayé
Itọju ati Rirọpo:
- Àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ gilasi: Ọdún 5-10 ni a fi ń ṣiṣẹ́, ìtọ́jú tó kéré jù
- Àwọn ohun èlò irin: Ọdún 2-5 ni a nílò láti fi ṣe àtúnṣe sí ojú ọ̀nà nígbàkúgbà
- Àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ ṣíṣu: oṣù mẹ́fà sí méjìlá, ìyípadà déédéé
Àwọn Àǹfààní Ìṣètò Ìṣètò:
- Àwọn ohun èlò dígí: Mú kí ìṣedéédé ìtòlẹ́sẹẹsẹ 2-10× dára ju àwọn àṣàyàn mìíràn lọ
- Àwọn ohun èlò irin: A ní ààlà nípa ìdúróṣinṣin ooru àti ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀
- Àwọn ohun èlò ṣíṣu: A lè dínkù nítorí pé ó ń yọ́ kiri àti pé ó ń fa ìfàmọ́ra àyíká.
Ilọsiwaju si iṣẹ-ṣiṣe:
- Gbigbe opitika ti o ga julọ: Awọn iyipo tito lẹsẹsẹ yiyara 3-5%
- Iduroṣinṣin ooru to dara julọ: Idinku iwulo fun iwọntunwọnsi iwọn otutu
- Itọju kekere: Akoko isinmi ti o dinku fun atunṣeto
Àpẹẹrẹ Ìṣirò ROI:
Ètò ìṣètò ìṣẹ̀dá photonics ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ìṣètò 1,000 fún ọjọ́ kan pẹ̀lú àkókò ìṣètò 60 ìṣẹ́jú-àáyá. Lílo àwọn ohun èlò ìdàpọ̀ silica tí a fi agbára gíga ṣe (àfi N-BK7) dín àkókò ìṣètò kù ní 4% sí 57.6 ìṣẹ́jú-àáyá, èyí tí ó ń mú kí ìṣètò ojoojúmọ́ pọ̀ sí 1,043 ìṣètò—ìlọ́po 4.3% ti iṣẹ́ ṣíṣe tó $200,000 lọ́dọọdún ní $50 fún ìṣètò kọ̀ọ̀kan.
Àwọn Ìṣẹ̀lẹ̀ Ọjọ́ iwájú: Àwọn Ìmọ̀-ẹ̀rọ Gíláàsì Tó Ń Kún fún Ìtòlẹ́sẹẹsẹ Ojú
Agbègbè àwọn ohun èlò dígí tí ó péye ń tẹ̀síwájú láti yípadà, nítorí pé àwọn ìbéèrè fún ìṣedéédé, ìdúróṣinṣin, àti agbára ìṣọ̀kan ń pọ̀ sí i.
Àwọn Ohun Èlò Gíláàsì Tí A Ṣe Ẹ̀rọ
Àwọn Gíláàsì CTE tí a ṣe àdáni:
Iṣẹ́ ẹ̀rọ tó ti ní ìlọsíwájú mú kí ìṣàkóso CTE péye nípa ṣíṣe àtúnṣe àkójọpọ̀ gilasi:
- A ṣe àtúnṣe ULE®: A le sọ iwọn otutu CTE ti ko ni iyipo si ±5°C
- Àwọn Gíláàsì CTE Onípele-ìpele: Ìpele CTE tí a ṣe àgbékalẹ̀ láti ojú dé inú
- Ìyàtọ̀ CTE Agbègbè: Àwọn ìwọ̀n CTE tó yàtọ̀ síra ní àwọn agbègbè tó yàtọ̀ síra ti substrate kan náà
Ìṣọ̀kan Gíláàsì Fọ́tóníkì:
Àwọn àkójọpọ̀ gilasi tuntun mú kí ìṣọ̀kan taara ti àwọn iṣẹ́ opitika ṣeé ṣe:
- Ìṣọ̀kan ìtọ́sọ́nà ìwave: Kíkọ taara ti àwọn ìtọ́sọ́nà ìwave nínú ohun èlò dígí
- Àwọn gilaasi tí a ti fi doped ṣe: Àwọn gilaasi tí a ti fi doped ṣe Erbium tàbí àwọn gilaasi tí a ti fi doped ṣe fún àwọn iṣẹ́ àṣekára
- Àwọn dígí tí kìí ṣe línẹ́ẹ̀tì: Ìṣọ̀kan gíga tí kìí ṣe línẹ́ẹ̀tì fún ìyípadà ìgbóhùnsáfẹ́fẹ́
Àwọn Ọ̀nà Ìṣẹ̀dá Tó Tẹ̀síwájú
Iṣelọpọ Gilasi Afikun:
Ìtẹ̀wé 3D ti gilasi gba ọ laaye lati:
- Awọn jiometirika eka ko ṣeeṣe pẹlu dida ibile
- Awọn ikanni itutu ti a ṣepọ fun iṣakoso ooru
- Dín ìdọ̀tí ohun èlò kù fún àwọn àpẹẹrẹ àdáni
Ṣíṣẹ̀dá Pípé:
Awọn ọna tuntun ti o n ṣe agbekalẹ mu iduroṣinṣin pọ si:
- Ṣíṣe gilasi tó péye: Ìpéye kékeré lórí àwọn ojú ojú opitika
- Sísúnmọ́ pẹ̀lú àwọn mandrels: Ṣe àṣeyọrí ìtẹ̀sí tí a ṣàkóso pẹ̀lú ìparí ojú ilẹ̀ Ra < 0.5 nm
Àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ gilasi ọlọ́gbọ́n
Àwọn Sensọ Tí A Fi Sínú:
Awọn ipilẹ ojo iwaju le ni:
- Awọn sensọ iwọn otutu: Abojuto iwọn otutu ti a pin kaakiri
- Àwọn ìwọ̀n ìfúnpá: Ìwọ̀n ìfúnpá/ìyípadà ní àkókò gidi
- Àwọn sensọ ipo: Ìlànà ìṣiròpọ̀ fún ìṣàtúnṣe ara-ẹni
Isanpada Ti Nṣiṣẹ:
Àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ ọlọ́gbọ́n lè mú kí:
- Ìṣiṣẹ́ gbígbóná: Àwọn ohun èlò ìgbóná tí a ṣepọ fún ìṣàkóso ìwọ̀n otutu tí ń ṣiṣẹ́
- Ìṣiṣẹ́ Piezoelectric: Àtúnṣe ipò ìwọ̀n Nanometer
- Àwọn ohun èlò ìṣàtúnṣe: Àtúnṣe àwòrán ojú ní àkókò gidi
Ipari: Awọn Anfani Ilana ti Awọn Ohun elo Gilasi Ti o tọ
Àwọn ìlànà pàtàkì márùn-ún—ìgbéjáde ojú, fífẹ̀ ojú, ìfẹ̀sí ooru, àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ, àti ìdúróṣinṣin kẹ́míkà—papọ̀ ṣàlàyé ìdí tí àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ gilasi tí ó péye jẹ́ ohun èlò tí a yàn fún àwọn ètò ìṣètò ojú. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìdókòwò àkọ́kọ́ lè ga ju àwọn àṣàyàn mìíràn lọ, iye owó gbogbo tí a ní, ní gbígbé àwọn àǹfààní iṣẹ́, ìdínkù ìtọ́jú, àti ìṣiṣẹ́ tí ó dára síi, mú kí àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ gilasi jẹ́ àṣàyàn tí ó dára jùlọ fún ìgbà pípẹ́.
Ètò Ìpinnu
Nígbà tí o bá ń yan àwọn ohun èlò ìṣàlẹ̀ fún àwọn ètò ìṣètò opitika, ronú nípa:
- Ìpéye Ìtòlẹ́sẹẹsẹ Tí A Nílò: Ó ń pinnu ìrọ̀rùn àti àwọn ohun tí a nílò fún CTE
- Ibiti Igbi: Awọn itọsọna fun alaye gbigbe opitika
- Awọn Ipo Ayika: Ni ipa lori awọn iwulo iduroṣinṣin kemikali ati CTE
- Iwọn Iṣelọpọ: Ni ipa lori itupalẹ iye owo-anfaani
- Awọn Ohun elo Ilana: Le paṣẹ fun awọn ohun elo kan pato fun iwe-ẹri
Anfani ZHHIMG
Ní ZHHIMG, a lóye pé gbogbo ètò ìṣètò optical ni a pinnu nípa rẹ̀—láti àwọn ohun èlò tí a fi ṣe àkójọpọ̀ títí dé àwọn ohun èlò tí a fi ṣe àkójọpọ̀. Ìmọ̀ wa nípa:
Yiyan ati Gbigba Awọn Ohun elo:
- Wiwọle si awọn ohun elo gilasi didara lati ọdọ awọn aṣelọpọ asiwaju
- Awọn alaye ohun elo aṣa fun awọn ohun elo alailẹgbẹ
- Iṣakoso pq ipese fun didara deedee
Iṣelọpọ to peye:
- Àwọn ohun èlò ìlọ àti ìfọmọ́ra tuntun
- Ìmọ́lẹ̀ tí a ń darí nípasẹ̀ kọ̀ǹpútà fún λ/20 tí ó tẹ́jú
- Iṣẹ́-ẹ̀rọ inu ilé fún ìjẹ́rìísí ìpele-ẹ̀rọ
Imọ-ẹrọ Aṣa:
- Apẹrẹ sobusitireti fun awọn ohun elo kan pato
- Awọn solusan fifi sori ẹrọ ati fifi sori ẹrọ
- Ìṣọ̀kan ìṣàkóso ooru
Didara ìdánilójú:
- Ayẹwo kikun ati iwe-ẹri
- Ìwé àkọsílẹ̀ nípa ìtọ́pasẹ̀
- Ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà ilé-iṣẹ́ (ISO, ASTM, MIL-SPEC)
Ṣe alábáṣiṣẹpọ̀ pẹ̀lú ZHHIMG láti lo òye wa nínú àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ gilasi tó péye fún àwọn ètò ìṣàtúnṣe opitika rẹ. Yálà o nílò àwọn ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ tó wà ní ìpele tàbí àwọn ọ̀nà ìṣàtúnṣe tó ṣe pàtàkì fún àwọn ohun èlò tó le koko, ẹgbẹ́ wa ti ṣetán láti ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn àìní iṣẹ́ ṣíṣe rẹ tó péye.
Kan si ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa loni lati jiroro awọn ibeere substrate tito lẹtọ rẹ ati ṣawari bi yiyan ohun elo ti o tọ ṣe le mu iṣẹ ṣiṣe eto rẹ ati iṣelọpọ pọ si.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-17-2026