Kí ló dé tí Natural Granite fi jẹ́ Ìpìlẹ̀ Àìsírí ti Nanoscale Precision nínú Wafer Processing Equipment?

Nínú ìwákiri àwọn microchips kékeré, kíákíá, àti alágbára púpọ̀ sí i, àwọn ìbéèrè tí a gbé kalẹ̀ lórí Wafer Processing Equipment ń pọ̀ sí i sí àwọn ìpele ìṣedéédé tí a ti rò tẹ́lẹ̀ pé a kò lè rí. Bí àwọn ẹ̀yà ara ṣe ń dínkù sí agbègbè nanometer oni-nọmba kan, ìdúróṣinṣin gbogbo pẹpẹ ìṣelọ́pọ́ di pàtàkì. Níbí, lábẹ́ ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn laser, àwọn yàrá ìfàmọ́ra, àti àwọn ètò robot, ni ohun èlò ìpilẹ̀ṣẹ̀ àtijọ́—granite àdánidá—ń yọjú gẹ́gẹ́ bí ohun pàtàkì fún àṣeyọrí semiconductor òde òní. Ìlànà, ìmọ̀ ẹ̀rọ, àti ìpèsè àwọn ohun èlò granite OEM tí ó péye àti ibùsùn ẹ̀rọ granite OEM monolithic kì í ṣe àwọn ohun tí a nílò fún ìmọ̀ ẹ̀rọ nìkan; wọ́n ni ìpìlẹ̀ ìdúróṣinṣin iṣẹ́.

Ipa ti ipilẹ ẹrọ ninu eyikeyi eto ti o peye giga ni lati pese eto itọkasi ti o duro ṣinṣin ati iduroṣinṣin. Ninu agbegbe ti o ni iyipada ati deede ti iṣelọpọ semiconductor, nibiti awọn ilana bii lithography, etching, ati deposition waye, awọn iyapa kekere - paapaa ni ipele sub-micron - le ja si pipadanu ikore ti o buruju. Yiyan ohun elo fun awọn eroja eto akọkọ, gẹgẹbi ipilẹ ẹrọ Wafer Processing Equipment, nitorinaa jẹ igbesẹ ti ko ṣee ṣe ni apẹrẹ.

Àwọn Àǹfààní Àtijọ́ ti Granite Àdánidá

Kí ló dé tí granite àdánidá fi dára ju àwọn ohun èlò tí a fi irin ṣe, irin, tàbí àwọn èròjà kan lọ nínú ìlò pàtàkì yìí? Ìdáhùn náà wà nínú àwọn ànímọ́ ara aláìlẹ́gbẹ́ rẹ̀, tí ó ti pẹ́ tó sì yẹ fún àyíká tí kò ṣeé dáríjì nínú ẹ̀rọ tí ó péye.

1. Ìdádúró Gbígbóná Àrà Ọ̀tọ̀ (Ìyàsọ́tọ̀ kúrò nínú Ìyípadà Ìlànà):

Gbigbọn ni ipa ti iṣelọpọ nanoscale. Boya a ṣẹda rẹ nipasẹ awọn mọto ati awọn ẹya gbigbe tabi lati ita lati ilẹ mimọ, eyikeyi oscillation gbọdọ wa ni gbigba ni kiakia. Granite ni iye idamu inu ti o ga julọ - o dara pupọ ju awọn irin lọ. Ohun-ini yii tumọ si pe agbara ẹrọ ni a tuka ni kiakia bi ooru, idilọwọ resonance ati rii daju pe awọn ilana pataki ni a ṣe lori pẹpẹ ti o duro ṣinṣin. Eyi ṣe pataki fun mimu aaye ifojusi gangan ni lithography ti ilọsiwaju tabi rii daju pe a yọ ohun elo ti o baamu kuro lakoko planarization mechanical kemikali (CMP).

2. Ìfẹ̀sí ooru tó sún mọ́ òdo (Mímú Ìdúróṣinṣin Ìtòlẹ́sẹẹsẹ)

Ohun èlò ìṣiṣẹ́ Wafer sábà máa ń ní ìyípadà iwọn otutu, yálà ní àyíká àti ní ọ̀nà tí a ń gbà ṣe é. Àwọn ohun èlò irin máa ń fẹ̀ sí i, wọ́n sì máa ń dínkù gidigidi pẹ̀lú àwọn ìyípadà iwọn otutu, èyí tí ó máa ń yọrí sí ìyípadà ooru àti àìtọ́ àwọn ètò opitika tàbí ẹ̀rọ. Granite, pàápàá jùlọ granite dúdú, ní ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré gan-an (CTE), tó nǹkan bí 3×10⁻⁶/℃. Ìdúróṣinṣin ooru yìí máa ń rí i dájú pé ìpéye ìwọ̀n ti ibùsùn ẹ̀rọ granite àti àwọn ohun èlò granite OEM mìíràn dúró ní ìbámu, èyí tí ó máa ń dín àwọn àṣìṣe ooru kù, ó sì ń ṣe ìdánilójú pé a lè tún ìwọ̀n ṣe lábẹ́ àwọn ipò tó yàtọ̀ síra.

3. Pípẹ́ àti Líle Gíga Jùlọ:

Nípasẹ̀ àwọn ọ̀nà ìfọ́nká àti ìfọ́nká tó ti pẹ́, granite àdánidá lè ṣe àṣeyọrí ìrọ̀lẹ́ ojú ilẹ̀ tí a wọ́n ní sub-micron—ohun pàtàkì fún àwọn ojú ilẹ̀ ìtọ́kasí tí a lò nínú ìṣàkóso ìṣípo tí ó péye. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, ìwọ̀n gíga Young rẹ̀ ń pèsè agbára àìdúró àti agbára oníyípadà tí ó tayọ. Ìdènà yí sí ìyípadà lábẹ́ ẹrù ṣe pàtàkì, nítorí pé ìpìlẹ̀ gbọ́dọ̀ ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn mọ́tò onílà ńlá, àwọn ìpele, àti àwọn ètò ìṣètò Wafer Processing Equipment tí ó díjú láìsí ìyípadà tí a lè wọ̀n, kódà lórí àwọn ìpele ńlá.

Ìmọ̀-ẹ̀rọ Ọjọ́ iwájú: Àwọn Ohun Èlò Gíréètì OEM àti Àkójọpọ̀ Dídídí

Lílo granite òde òní ju àwọn àwo ojú ilẹ̀ lásán lọ. Àwọn olùpèsè ìmọ̀-ẹ̀rọ gíga lónìí nílò àwọn ohun èlò granite OEM tó díjú, tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ ní ọ̀nà àdáni. Àwọn wọ̀nyí lè ní àwọn irin ìtọ́sọ́nà tí ó ní afẹ́fẹ́, àwọn ohun èlò ìfọṣọ tí ó díjú, àwọn ohun èlò ìpele onípele púpọ̀, àti àwọn búlọ́ọ̀kì ìfìsọfúnni fún àwọn lésà àti àwọn optics. Àwọn ohun èlò wọ̀nyí sábà máa ń ní àwọn ohun èlò onípele díjú, títí bí àwọn ihò tí a gbẹ́ fún ìdarí wáyà, àwọn ohun èlò ìfàmọ́ra fún ìfìsọfúnni, àti àwọn dovetails tàbí ihò tí a fi ẹ̀rọ ṣe fún àwọn ètò ìfìsọfúnni.

Ilana ṣiṣẹda apejọpọ ohun elo Wafer Processing Equipment kikun bẹrẹ pẹlu ibusun ẹrọ granite nla naa. Awọn paati granite atẹle ni a so mọ tabi so mọ ọ ni deede nipa lilo awọn agbo-ara ti o ni ipilẹ epoxy ti o ni ilọsiwaju, igbesẹ pataki kan ti o rii daju pe gbogbo eto naa ṣiṣẹ bi ẹyọ kan ṣoṣo, ti o jọra. Iṣọpọ aṣeyọri nilo akiyesi ti o muna si awọn alaye:

• Ṣíṣe Àtúnṣe: Àwọn èròjà gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tí a ṣe ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà pàtàkì ti oníbàárà, nígbà míìrán, wọ́n máa ń ní ìsopọ̀ àwọn èròjà tí kì í ṣe granite bíi àwọn ìlà itutu àti àwọn ohun èlò sensọ sínú ẹ̀rọ náà.

• Ìdánilójú Dídára: Apá kọ̀ọ̀kan nílò ìṣàkóso dídára tó lágbára, títí bí ìdúró, ìtọ́sọ́nà, àti ìfẹ̀ríhàn onígun mẹ́rin nípa lílo àwọn CMM àti àwọn ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀ lésà, kí wọ́n rí i dájú pé wọ́n pàdé àwọn ìlànà ISO àti ti àgbáyé fún ìmọ̀ ìṣètò àti ìpéye.

• Ìbáṣepọ̀ Olùpèsè: Yíyan olùpèsè àwọn ohun èlò granite OEM jẹ́ àjọṣepọ̀. Ó nílò òye jíjinlẹ̀ nípa ohun èlò semiconductor, agbára láti yan òkúta aise tó ga jùlọ, àti agbára ìṣelọ́pọ́ láti ṣe ẹ̀rọ àti láti kó àwọn ohun èlò tó díjú jọ sí àwọn ìfaradà nanometer.

Ní ìparí, bó tilẹ̀ jẹ́ pé microchip tí a ti parí jẹ́ ìyanu ọgbọ́n ènìyàn, ìṣẹ̀dá rẹ̀ sinmi lórí ìdúróṣinṣin tí òkúta àdánidá pèsè. Lílo granite gẹ́gẹ́ bí ohun èlò pàtàkì fún ibùsùn ẹ̀rọ granite àti àwọn ohun èlò granite OEM pàtàkì mìíràn jẹ́ ohun pàtàkì nínú títẹ̀ àwọn ààlà ìfàsẹ́yìn kékeré. Fún àwọn olùṣe ẹ̀rọ Wafer Processing Equipment, ṣíṣe àjọṣepọ̀ pẹ̀lú onímọ̀ nípa àwọn ohun èlò granite gíga ni ìgbésẹ̀ àkọ́kọ́ àti pàtàkì jùlọ sí rírí àǹfààní ìdíje nínú ọjà semiconductor kárí ayé.