Ní ti Ilé-iṣẹ́ Moore's Law, ilé-iṣẹ́ semiconductor ti wọ inú agbègbè kan níbi tí ìṣedéédé ìpele atomiki jẹ́ ìlànà, kìí ṣe ìyàtọ̀. Bí a ṣe ń tẹ̀síwájú sí àwọn nódù iṣẹ́ tí ó túbọ̀ ń kéré sí i, àyíká tí a ti ń ṣe àwọn wafer silicon ti di ohun tí ó lòdì sí àwọn ohun èlò ìmọ̀-ẹ̀rọ ìbílẹ̀. Ní pàtàkì, nínú àwọn yàrá onígbà gíga tí a ń lò fún ìpamọ́ àti ìfọ́mọ́ra tí ó ti lọ síwájú, yíyan ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ kìí ṣe nípa ìwọ̀n àti ìdúróṣinṣin nìkan mọ́. Lónìí, àwọn ilé-iṣẹ́ OEM àgbáyé tí ó gbajúmọ̀ ń béèrè ìbéèrè pàtàkì kan: báwo ni ohun èlò inú ilé wa ṣe ní ipa lórí ìdúróṣinṣin ti ibi ìgbafẹ́ fúnrarẹ̀? Níbí ni agbára ìmọ̀-ẹ̀rọ tisemikondokito ipilẹ granite ti o njade gaasi kekereohun elo di ohun ti o n ṣalaye ile-iṣẹ.
Ìṣẹ̀lẹ̀ ìtújáde gaasi jáde—ìtújáde àwọn gáàsì tí a dì mọ́ inú ohun èlò líle—lè jẹ́ àjálù ní àyíká afẹ́fẹ́. Kódà àwọn èròjà kékeré tàbí àwọn molecule gaasi lè ba wafer jẹ́, èyí tí ó lè yọrí sí àdánù èso tó pọ̀. Àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá àtọwọ́dá tàbí àwọn irin tí a ti tọ́jú sábà máa ń jìjàkadì láti bá àwọn ohun tí ó pọndandan mu ti ìbáramu afẹ́fẹ́ gíga. Granite dúdú àdánidá, nígbà tí àwọn ògbógi bá ṣe é dáadáa tí wọ́n sì fọ̀ ọ́ mọ́, ó ń fúnni ní àwòrán afẹ́fẹ́ tí kò ní ìjákulẹ̀. Fún Ẹgbẹ́ ZHHIMG, rírí dájú pé àwọn èròjà granite wa bá àwọn ìlànà afẹ́fẹ́ oní-ìjákulẹ̀ wọ̀nyí mu jẹ́ ìlànà yíyàn tí ó ní agbára níbi tí a ti yan òkúta porosity tí ó ga jùlọ, òkúta porosity tí ó kéré jùlọ fún àwọn ohun èlò semiconductor. Èyí ń rí i dájú pé a dín àkókò ìpadàbọ̀ afẹ́fẹ́ kù àti pé a ń pa àyíká ìṣiṣẹ́ mọ́.
Lẹ́yìn ìdúróṣinṣin afẹ́fẹ́, ipa ti awọn ipilẹ̀ ìpìlẹ̀ nínú ilana photolithography ṣe pàtàkì bákan náà. Bí àwọn orísun ìmọ́lẹ̀ ṣe ń yípadà sí Extreme Ultraviolet (EUV), awọn ètò ìṣípo tí ó ń gbé wafer àti reticle gbọ́dọ̀ gbéra pẹ̀lú ìpele ìṣọ̀kan tí ó lòdì sí àwọn ààlà ẹ̀rọ ìbílẹ̀.Ipele granite fun ẹrọ photolithographypese eto itọkasi nla, ti o ni riru ti o ni riru ti o nilo fun deede yii. Iwọn ti o wa ninu granite naa n ṣiṣẹ bi àlẹmọ kekere-kọja, o n gba awọn gbigbọn ilẹ igbohunsafẹfẹ giga ti bibẹẹkọ yoo mu pọ si nipasẹ awọn ọwọn opitika ti o ni riru yii. Laisi ipilẹ ti o wuwo ati iduroṣinṣin yii, ṣiṣe deedee overlap sub-nanometer ti o nilo fun awọn microchips ode oni kii yoo ṣeeṣe ni ti ara.
Ìṣàkóso ooru ṣì jẹ́ ìdènà pàtàkì mìíràn nínú iṣẹ́ semiconductor. Ní àkókò iṣẹ́ tí ń lọ lọ́wọ́lọ́wọ́, ooru tí àwọn mọ́tò onípele gíga ń mú jáde lè fa ìfẹ̀ ooru sí ipilẹ̀ ẹ̀rọ náà. Bí àwọn irin bá ń fẹ̀ sí i tí wọ́n sì ń dínkù gidigidi pẹ̀lú àwọn ìyípadà otutu, granite ní ìwọ̀n ìfẹ̀ ooru tí ó kéré gan-an. Ìdúróṣinṣin oníwọ̀n yìí ń mú kí a rí i dájú péIpele granite fun ẹrọ photolithographyÓ máa ń jẹ́ pípé ní ti ìrísí onípele-ẹ̀rọ kódà nígbà tí a bá ń ṣe àwọn iṣẹ́ ọnà tó lágbára. Ìgbẹ́kẹ̀lé yìí ń fún àwọn àkókò gígùn láàárin àwọn ìṣàtúnṣe, èyí tó túmọ̀ sí àkókò tó ga jùlọ àti èrè tó pọ̀ sí i fún àwọn oníṣẹ́ tó ń ṣiṣẹ́ ní àwọn agbègbè bíi Silicon Valley àti àwọn ibùdó semiconductor ti ilẹ̀ Europe ní Dresden àti Eindhoven.
ZHHIMG ti ṣe akiyesi pe isopọpọ awọn paati wọnyi nilo oye jinlẹ ti awọn ilana ile mimọ. Ko to lati pese okuta ti o peye gaan; o gbọdọ jẹ “ti a ṣetan fun yara mimọ.” Eyi tumọ si pe a gbọdọ tọju granite naa lati dena eyikeyi ipadanu ti awọn nkan ati pe o gbọdọ baamu pẹlu awọn ohun elo mimọ ti o lagbara ti a lo ninu awọn ohun elo semiconductor. Nipa idojukọ lorisemikondokito ipilẹ granite ti o njade gaasi kekereojutuu, ZHHIMG pese ọja ti kii ṣe eto atilẹyin nikan, ṣugbọn apakan ti o ni kikun ti eto iṣakoso idoti. Ọna gbogbogbo yii si imọ-ẹrọ ni ohun ti o yatọ si olupese ile-iṣẹ boṣewa ati alabaṣepọ semiconductor pataki kan.
Síwájú sí i, ìṣòro àwọn irinṣẹ́ lithography òde òní nílò àwọn geometries inú tó díjú nínú granite náà fúnra rẹ̀. Láti àwọn ikanni ìṣàkóso okùn onípele sí àwọn ojú ilẹ̀ afẹ́fẹ́ tó para pọ̀, ṣíṣeIpele granite fun ẹrọ photolithographyÓ ní ọgọ́rọ̀ọ̀rún wákàtí iṣẹ́ ẹ̀rọ CNC tó péye, lẹ́yìn náà ni a fi ọwọ́ ṣe é dáadáa. Ní ZHHIMG, a máa ń rí àwọn ohun tó lè mú kí ilẹ̀ gbóná, tí wọ́n sì lè fi tẹ́ẹ́rẹ́fẹ́ ṣe, èyí tí wọ́n rò pé kò ṣeé ṣe fún òkúta àdánidá. Ìbáṣepọ̀ ohun èlò àtijọ́ àti ìmọ̀ ẹ̀rọ ọjọ́ iwájú ni ìpìlẹ̀ tí a fi kọ́ ayé oní-nọ́ńbà, èyí tí ó ń ṣètìlẹ́yìn fún àwọn sensọ̀, àwọn ẹ̀rọ ìṣe, àti àwọn ìdè ìrántí tí ó ń fún ọrọ̀ ajé àgbáyé wa lágbára.
Ní ìparí, bí ilé iṣẹ́ semiconductor ṣe ń tẹ̀síwájú nínú ìrìn wọn láìdáwọ́dúró sí àkókò kékeré-1nm, a kò le sọ̀rọ̀ nípa pàtàkì ìpìlẹ̀ ohun èlò náà. Ẹ̀rọ kan lágbára bí ìpìlẹ̀ tí ó dúró lé lórí. Nípa ṣíṣe àfiyèsí sí ohun pàtàkì kansemikondokito ipilẹ granite ti o njade gaasi kekereipilẹ ati idoko-owo ni didara to ga julọIpele granite fun ẹrọ photolithographyÀwọn ohun èlò àti àwọn olùpèsè ẹ̀rọ ń rí i dájú pé ìdúróṣinṣin àti mímọ́ tó yẹ fún ọdún mẹ́wàá tó ń bọ̀ ti ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun. Ẹgbẹ́ ZHHIMG ṣì ń ṣe ìpinnu láti tẹ̀síwájú àwọn ààlà ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì ohun èlò, ní rírí i dájú pé ìpìlẹ̀ ilé iṣẹ́ semiconductor náà dúró ṣinṣin àti ní ìbámu pẹ̀lú ìmọ̀ ẹ̀rọ tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-03-2026