Kí ló dé tí àwọn ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá wafer márùn-ún tó gbajúmọ̀ jùlọ lágbàáyé fi dín irin tí a fi ń yọ́ kù? Àgbéyẹ̀wò Àwọn Àǹfààní Òfò-Ẹ̀gbin ti Àwọn Pẹpẹ Granite ní Àyíká Cleanroom.

Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, ìmọ́tótó àyíká yàrá mímọ́ ní ipa lórí ìwọ̀n ìṣẹ̀dá wafer àti iṣẹ́ àwọn chips. Àwọn ilé iṣẹ́ ṣíṣe wafer márùn-ún tó ga jùlọ lágbàáyé ti parẹ́ àwọn ohun èlò irin ìṣẹ̀dá ìbílẹ̀ wọ́n sì ti yípadà sí àwọn pẹpẹ granite. Lẹ́yìn ìyípadà yìí ni ìwákiri àyíká tí kò ní ìbàjẹ́ kankan wà ní àwọn yàrá mímọ́. Àwọn pẹpẹ granite, pẹ̀lú àwọn ànímọ́ tiwọn, ti fi àwọn àǹfààní tí kò láfiwé hàn nínú àwọn yàrá mímọ́ wọ́n sì ti di ayanfẹ́ tuntun nínú àwọn ilé iṣẹ́ ṣíṣe wafer.

"Àbùkù apanirun" ti awọn ohun elo irin simẹnti ni awọn yara mimọ
Irin simẹnti, gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìṣẹ̀dá ìbílẹ̀, ní àwọn àǹfààní kan ní ti àwọn ohun èlò ẹ̀rọ nígbà kan rí, ṣùgbọ́n ó ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìṣòro ní àyíká ibi ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor. Àkọ́kọ́, ìṣètò ojú ilẹ̀ irin simẹnti kò nípọn, pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ ihò àti àwọn ìfọ́ kéékèèké tí a kò lè rí lójú. Nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ ojoojúmọ́ àwọn yàrá mímọ́, àwọn ihò wọ̀nyí máa ń fa eruku, àbàwọ́n epo àti onírúurú àwọn ohun ìdọ̀tí kẹ́míkà, wọ́n sì máa ń di ibi ìpamọ́ fún àwọn orísun ìdọ̀tí. Nígbà tí àwọn ohun ìdọ̀tí bá kó jọ, nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ dáadáa nínú ṣíṣe wafer, wọ́n lè jábọ́ kí wọ́n sì dì mọ́ ojú wafer náà, èyí tí yóò fa àwọn ìṣòro dídára bíi àwọn ìyípo kúkúrú àti àwọn ìyípo ṣíṣí nínú chip náà.
Èkejì, irin simẹnti ko ni iduroṣinṣin kemikali to dara. Lakoko ilana iṣelọpọ wafer, a lo awọn ohun elo kemikali ti o bajẹ gẹgẹbi hydrofluoric acid ati sulfuric acid. Irin simẹnti le fa ifasẹyin oxidation ati ipata labẹ iparun ti awọn nkan kemikali wọnyi. Awọn ioni ipata ati irin ti ipata ṣe kii ṣe pe o ba ayika ile mimọ jẹ nikan ṣugbọn o tun le ṣe awọn ifasẹyin kemikali pẹlu awọn ohun elo lori dada wafer, ti o ba awọn abuda ti ara ati kemikali ti awọn wafer jẹ ati dinku iṣelọpọ ọja naa ni pataki.
Àmì "òdodó-ìbàjẹ́" ti àwọn pẹpẹ granite
Ìdí tí àwọn ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá wafer márùn-ún tó ga jùlọ lágbàáyé fi fẹ́ràn àwọn pẹpẹ granite ni pé wọ́n ní "aláìsí ìdọ̀tí" tó wà nínú wọn. Granite jẹ́ òkúta àdánidá tí a ṣe nípasẹ̀ àwọn ìlànà ilẹ̀ ayé fún ọgọ́rọ̀ọ̀rún mílíọ̀nù ọdún. Àwọn kirisita inú rẹ̀ jẹ́ kírísítàlì tó wọ́pọ̀, ìṣètò náà nípọn, ó sì dọ́gba, kò sì sí ihò lórí ilẹ̀ náà rárá. Ìṣètò àrà ọ̀tọ̀ yìí ń rí i dájú pé kò ní fa eruku àti àwọn ohun ìdọ̀tí mọ́ra. Kódà nínú àwọn ìdàrúdàpọ̀ afẹ́fẹ́ àti àwọn iṣẹ́ òṣìṣẹ́ àti ohun èlò ní yàrá mímọ́, ìpele granite náà ṣì lè mọ́ tónítóní, èyí tó ń dènà ìbísí àti ìtànkálẹ̀ àwọn ohun ìdọ̀tí.
Ní ti ìdúróṣinṣin kẹ́míkà, granite ń ṣiṣẹ́ dáadáa gan-an. Àwọn èròjà pàtàkì rẹ̀ ni àwọn ohun alumọ́ni bíi quartz àti feldspar. Ó ní àwọn ànímọ́ kẹ́míkà tó dúró ṣinṣin gan-an, kò sì lè ṣe pẹ̀lú àwọn ohun alumọ́ni kẹ́míkà tó wọ́pọ̀. Nínú àyíká kẹ́míkà tó díjú ti ṣíṣe wafer, àwọn pẹpẹ granite lè kojú ìbàjẹ́ onírúurú ohun alumọ́ni tó ń pa ara ní ìrọ̀rùn, láìsí pé wọ́n ń ṣe àwọn ọjà ìbàjẹ́ tàbí ìbàjẹ́ ion irin, èyí sì ń pèsè pẹpẹ ìpìlẹ̀ tó dára àti tó mọ́ fún ṣíṣe wafer. Ní àkókò kan náà, granite kì í ṣe amúṣẹ́dá iná mànàmáná, èyí sì ń yẹra fún ewu ìbàjẹ́ tí iná mànàmáná tó ń fa máa ń fa, èyí sì tún ń mú kí yàrá mímọ́ náà dáadáá.
Yiyan ohun elo lati oju iwoye ti idiyele ati anfani
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé iye owó tí wọ́n fi ra àwọn pẹpẹ granite ní ìbẹ̀rẹ̀ ga ju ti àwọn ti irin simẹnti lọ, ní àsìkò pípẹ́, àwọn àǹfààní tó pọ̀ tí wọ́n ń mú wá ju ìyàtọ̀ iye owó lọ. Fífọ àti ìtọ́jú àwọn pẹpẹ irin simẹnti nígbà gbogbo nítorí àwọn ìṣòro ìdọ̀tí, àti àwọn àdánù ńlá tí ó wáyé nítorí àfikún nínú àwọn ìwọ̀n àbùkù ọjà, ti mú kí iye owó gbogbogbòò tí wọ́n ń ná pọ̀ sí i. Pẹpẹ granite náà, pẹ̀lú àǹfààní rẹ̀ tí kò ní ìdọ̀tí, dín iye ìgbà tí wọ́n ń gbà láti máa wẹ̀ àti títọ́jú wọn kù ní yàrá mímọ́ àti ìwọ̀n àbùkù àwọn ọjà, ó dín iye owó iṣẹ́ kù, ó sì mú kí iṣẹ́ ṣíṣe àti dídára ọjà pọ̀ sí i. Wo ilé iṣẹ́ kan tí agbára iṣẹ́ rẹ̀ jẹ́ mílíọ̀nù kan fún iṣẹ́ lọ́dọọdún. Lẹ́yìn tí wọ́n bá ti lo àwọn pẹpẹ granite, ó lè dín àdánù tí ìdọ̀tí ń fà kù ní yuan mílíọ̀nù mẹ́wàá lọ́dọọdún, èrè lórí ìdókòwò sì pọ̀ gan-an.
Àwọn ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá wafer kárí ayé tó ga jùlọ márùn-ún ti fi irin dídà sílẹ̀ àti àwọn pẹpẹ granite tí a yàn nítorí àgbéyẹ̀wò pípéye nípa àwọn ohun tí a nílò fún àyíká yàrá mímọ́ àti ìṣelọ́pọ́. Àǹfààní àìlóbìí ti àwọn pẹpẹ granite pèsè ìdánilójú tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún ìṣelọ́pọ́ wafer àti ó ń mú kí ìṣelọ́pọ́ semiconductor sí ìṣelọ́pọ́ gíga àti àwọn ìwọ̀n èso tó ga jùlọ. Pẹ̀lú ìdàgbàsókè tí ń bá a lọ ti ìmọ̀-ẹ̀rọ semiconductor, àwọn pẹpẹ granite yóò kó ipa pàtàkì sí ìṣelọ́pọ́ wafer lọ́jọ́ iwájú.