Loni, pẹlu idagbasoke iyara ti ile-iṣẹ semikondokito, idanwo IC, bi ọna asopọ pataki lati rii daju iṣẹ ti awọn eerun igi, deede ati iduroṣinṣin taara ni ipa oṣuwọn ikore ti awọn eerun ati ifigagbaga ti ile-iṣẹ naa. Bii ilana iṣelọpọ chirún tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju si ọna 3nm, 2nm ati paapaa awọn apa ti ilọsiwaju diẹ sii, awọn ibeere fun awọn paati mojuto ni ohun elo idanwo IC n di ti o muna. Awọn ipilẹ Granite, pẹlu awọn ohun-ini ohun elo alailẹgbẹ wọn ati awọn anfani iṣẹ, ti di “alabaṣepọ goolu” ti ko ṣe pataki fun ohun elo idanwo IC. Ohun ti imọ kannaa da sile yi?
I. "Ailagbara lati koju" ti Awọn ipilẹ Ibile
Lakoko ilana idanwo IC, ohun elo nilo lati rii ni deede iṣẹ itanna ti awọn pinni chirún, iduroṣinṣin ifihan, ati bẹbẹ lọ ni nanoscale. Sibẹsibẹ, awọn ipilẹ irin ti aṣa (gẹgẹbi irin simẹnti ati irin) ti ṣafihan ọpọlọpọ awọn iṣoro ni awọn ohun elo to wulo.
Ni ọwọ kan, olùsọdipúpọ ti imugboroosi igbona ti awọn ohun elo ti fadaka jẹ iwọn giga, nigbagbogbo loke 10 × 10⁻ / ℃. Ooru ti ipilẹṣẹ lakoko iṣẹ ti ohun elo idanwo IC tabi paapaa awọn iyipada diẹ ninu iwọn otutu ibaramu le fa imugboroja igbona nla ati ihamọ ti ipilẹ irin. Fun apẹẹrẹ, ipilẹ simẹnti simẹnti mita 1 kan le faagun ati ṣe adehun nipasẹ to 100μm nigbati iwọn otutu ba yipada nipasẹ 10℃. Iru awọn iyipada onisẹpo bẹẹ to lati ṣe aiṣedeede iwadii idanwo pẹlu awọn pinni chirún, ti o yọrisi olubasọrọ ti ko dara ati lẹhinna nfa ipalọlọ ti data idanwo naa.
Ni apa keji, iṣẹ irẹwẹsi ti ipilẹ irin ko dara, o jẹ ki o ṣoro lati yara ni agbara gbigbọn ti ipilẹṣẹ nipasẹ iṣẹ ti ẹrọ naa. Ninu oju iṣẹlẹ ti idanwo ifihan igbohunsafẹfẹ giga, micro-oscillation lemọlemọfún yoo ṣafihan iye nla ti ariwo, jijẹ aṣiṣe ti idanwo iduroṣinṣin ifihan nipasẹ diẹ sii ju 30%. Ni afikun, awọn ohun elo irin ni ifaragba oofa giga ati pe o ni itara si isọpọ pẹlu awọn ifihan agbara itanna ti ohun elo idanwo, ti o fa awọn adanu lọwọlọwọ eddy ati awọn ipa hysteresis, eyiti o dabaru pẹlu deede ti awọn wiwọn to pe.
Ii. “Agbara Hardcore” ti Awọn ipilẹ Granite
Iduro gbigbona Gbẹhin, fifi ipilẹ lelẹ fun wiwọn deede
Granite ti wa ni akoso nipasẹ apapo wiwọ ti awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile gẹgẹbi quartz ati feldspar nipasẹ ionic ati awọn iwe ifowopamosi. Olusọdipúpọ ti imugboroosi igbona jẹ kekere pupọ, nikan 0.6-5 × 10⁻⁶/℃, eyiti o jẹ isunmọ 1/2-1/20 ti awọn ohun elo ti fadaka. Paapaa ti iwọn otutu ba yipada nipasẹ 10℃, imugboroja ati ihamọ ti ipilẹ giranaiti gigun-mita 1 kere ju 50nm, o fẹrẹ ṣaṣeyọri “idibajẹ odo”. Nibayi, imudara igbona ti granite jẹ 2-3 W / (m · K), eyiti o kere ju 1/20 ti awọn irin. O le ṣe idiwọ imunadoko ooru ti ohun elo, tọju iwọn otutu dada ti aṣọ ipilẹ, ati rii daju pe iwadii idanwo ati chirún nigbagbogbo ṣetọju ipo ibatan igbagbogbo.
2. Super lagbara gbigbọn gbigbọn ṣẹda agbegbe idanwo iduroṣinṣin
Awọn abawọn kristali alailẹgbẹ ati eto sisun aala ọkà inu giranaiti funni ni agbara itusilẹ agbara to lagbara, pẹlu ipin riru ti o to 0.3-0.5, eyiti o jẹ diẹ sii ju igba mẹfa ti ipilẹ irin. Awọn data idanwo fihan pe labẹ gbigbọn gbigbọn ti 100Hz, akoko gbigbọn gbigbọn ti ipilẹ granite jẹ awọn aaya 0.1 nikan, nigba ti ti ipilẹ simẹnti jẹ 0.8 aaya. Eyi tumọ si pe ipilẹ granite le lẹsẹkẹsẹ dinku awọn gbigbọn ti o ṣẹlẹ nipasẹ ibẹrẹ ohun elo ati tiipa, awọn ipa ita, ati bẹbẹ lọ, ati ṣakoso titobi gbigbọn ti pẹpẹ idanwo laarin ± 1μm, pese iṣeduro iduroṣinṣin fun ipo ti awọn iwadii nanoscale.
3. Awọn ohun-ini egboogi-oofa adayeba, imukuro kikọlu itanna
Granite jẹ ohun elo diamagnetic pẹlu ailagbara oofa ti isunmọ -10 ⁻. Awọn elekitironi inu wa ni awọn orisii laarin awọn asopọ kemikali ati pe wọn fẹrẹ ma jẹ pola nipasẹ awọn aaye oofa ita. Ni agbegbe aaye oofa ti o lagbara ti 10mT, kikankikan aaye oofa ti o fa lori dada ti granite ko kere ju 0.001mT, lakoko ti o wa lori oju irin simẹnti jẹ giga bi diẹ sii ju 8mT. Ohun-ini egboogi-oofa adayeba le ṣẹda agbegbe wiwọn mimọ fun ohun elo idanwo IC, aabo fun kikọlu itanna ita gẹgẹbi awọn onifioroweoro onifioroweoro ati awọn ami RF. O dara ni pataki fun idanwo awọn oju iṣẹlẹ ti o ni itara pupọ si ariwo itanna, gẹgẹbi awọn eerun kuatomu ati ADCs/Dacs pipe-giga.
Kẹta, ohun elo ti o wulo ti ṣaṣeyọri awọn abajade iyalẹnu
Awọn iṣe ti ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ semikondokito ti ṣe afihan ni kikun iye ti awọn ipilẹ granite. Lẹhin ti olupilẹṣẹ ohun elo idanwo semikondokito olokiki agbaye kan gba ipilẹ granite kan ni pẹpẹ idanwo 5G giga-giga rẹ, o ṣaṣeyọri awọn abajade iyalẹnu: deede ipo ti kaadi iwadii pọ si lati ± 5μm si ± 1μm, iyapa boṣewa ti data idanwo dinku nipasẹ 70%, ati pe oṣuwọn idajọ aṣiṣe ti idanwo ẹyọkan lọ silẹ ni pataki lati 0.0.0.0%. Nibayi, ipa idinku gbigbọn jẹ iyalẹnu. Ohun elo naa le bẹrẹ idanwo laisi iduro fun gbigbọn lati bajẹ, kuru iwọn idanwo ẹyọkan nipasẹ 20% ati jijẹ agbara iṣelọpọ lododun nipasẹ awọn wafers 3 miliọnu. Ni afikun, ipilẹ granite ni igbesi aye ti o ju ọdun 10 lọ ati pe ko nilo itọju loorekoore. Ti a bawe pẹlu awọn ipilẹ irin, iye owo apapọ rẹ dinku nipasẹ diẹ sii ju 50%.
Ẹkẹrin, ṣe deede si awọn aṣa ile-iṣẹ ati ṣe itọsọna igbesoke ti imọ-ẹrọ idanwo
Pẹlu idagbasoke awọn imọ-ẹrọ iṣakojọpọ to ti ni ilọsiwaju (bii Chiplet) ati igbega ti awọn aaye ti o dide bi awọn eerun iširo kuatomu, awọn ibeere fun iṣẹ ẹrọ ni idanwo IC yoo tẹsiwaju lati dide. Awọn ipilẹ Granite tun jẹ imotuntun nigbagbogbo ati iṣagbega. Nipasẹ itọju ti a bo oju lati jẹki resistance resistance tabi nipa apapọ pẹlu awọn ohun elo amọ piezoelectric lati ṣaṣeyọri biinu gbigbọn ti nṣiṣe lọwọ ati awọn aṣeyọri imọ-ẹrọ miiran, wọn nlọ si ọna kongẹ ati itọsọna ti oye. Ni ọjọ iwaju, ipilẹ granite yoo tẹsiwaju lati daabobo ĭdàsĭlẹ imọ-ẹrọ ti ile-iṣẹ semikondokito ati idagbasoke didara giga ti “awọn eerun Ilu Kannada” pẹlu iṣẹ ti o tayọ.
Yiyan ipilẹ giranaiti tumọ si yiyan deede diẹ sii, iduroṣinṣin ati ojutu idanwo IC to munadoko. Boya o jẹ idanwo chirún ilana ilọsiwaju lọwọlọwọ tabi iṣawari ọjọ iwaju ti awọn imọ-ẹrọ gige-eti, ipilẹ granite yoo ṣe ipa ti ko ni rọpo ati pataki.
Akoko ifiweranṣẹ: May-15-2025