Ni aaye iṣelọpọ semikondokito, deede ti ohun elo ayewo wafer taara pinnu didara ati ikore ti awọn eerun igi. Gẹgẹbi ipilẹ ti n ṣe atilẹyin awọn paati wiwa mojuto, iduroṣinṣin iwọn ti ohun elo ipilẹ ohun elo ṣe ipa pataki ninu iṣẹ ṣiṣe igba pipẹ ti ẹrọ naa. Granite ati irin simẹnti jẹ awọn ohun elo ipilẹ meji ti a lo nigbagbogbo fun ohun elo ayewo wafer. Iwadi afiwera ọdun 10 ti ṣafihan awọn iyatọ nla laarin wọn ni awọn ofin ti iduroṣinṣin iwọn, pese awọn itọkasi pataki fun yiyan ohun elo.
Esiperimenta abẹlẹ ati Design
Ilana iṣelọpọ ti awọn wafers semikondokito ni awọn ibeere giga gaan fun deede wiwa. Paapaa iyapa onisẹpo ipele-mikrometer le ja si idinku ninu iṣẹ chirún tabi paapaa yiyọ kuro. Lati ṣawari iduroṣinṣin onisẹpo ti giranaiti ati irin simẹnti lakoko lilo igba pipẹ, ẹgbẹ iwadii ṣe apẹrẹ awọn idanwo ti o ṣe adaṣe awọn agbegbe iṣẹ gidi. Granite ati awọn ayẹwo irin simẹnti ti sipesifikesonu kanna ni a yan ati gbe sinu iyẹwu ayika nibiti iwọn otutu ti yipada lati 15℃ si 35℃ ati ọriniinitutu yipada lati 30% si 70% RH. Gbigbọn ẹrọ ẹrọ lakoko iṣẹ ti ẹrọ naa jẹ adaṣe nipasẹ tabili gbigbọn. Awọn iwọn bọtini ti awọn ayẹwo ni a wọn ni gbogbo mẹẹdogun nipa lilo interferometer lesa to gaju, ati pe data naa ni igbasilẹ nigbagbogbo fun ọdun 10.
Esi esiperimenta: Anfani pipe ti giranaiti
Ọdun mẹwa ti data esiperimenta fihan pe sobusitireti granite ṣe afihan iduroṣinṣin iyalẹnu. Olusọdipúpọ ti imugboroosi gbona jẹ kekere pupọ, aropin nikan 4.6 × 10⁻⁶/℃. Labẹ awọn iyipada iwọn otutu to buruju, iyapa onisẹpo nigbagbogbo ni iṣakoso laarin ± 0.001mm. Ni oju awọn iyipada ọriniinitutu, ọna ipon ti granite jẹ ki o fẹrẹ jẹ ailagbara, ati pe ko si awọn iyipada iwọn wiwọn waye. Ni agbegbe gbigbọn ẹrọ, awọn abuda didimu ti o dara julọ ti giranaiti fa agbara gbigbọn ni imunadoko, ati iyipada iwọn jẹ kekere pupọ.
Ni idakeji, fun sobusitireti irin simẹnti, apapọ olùsọdipúpọ ti imugboroosi igbona de 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, ati iwọn iyapa iwọn ti o pọju ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iyipada iwọn otutu laarin ọdun 10 jẹ ± 0.05mm. Ni agbegbe ọrinrin, irin simẹnti jẹ itara si ipata ati ipata. Diẹ ninu awọn ayẹwo ṣe afihan abuku agbegbe, ati iyapa onisẹpo siwaju sii. Labẹ iṣẹ ti gbigbọn ẹrọ, irin simẹnti ko ni iṣẹ riru gbigbọn ti ko dara ati iwọn rẹ n yipada nigbagbogbo, ti o jẹ ki o ṣoro lati pade awọn ibeere pipe-giga ti ayewo wafer.
Idi pataki fun iyatọ ninu iduroṣinṣin
Granite ti ṣẹda ni awọn ọgọọgọrun awọn miliọnu ọdun nipasẹ awọn ilana ẹkọ nipa ilẹ-aye. Eto inu inu rẹ jẹ ipon ati aṣọ ile, ati awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile ti wa ni idayatọ ni iduroṣinṣin, imukuro aapọn inu nipasẹ iseda. Eyi jẹ ki o jẹ aibikita pupọ si awọn iyipada ninu awọn ifosiwewe ita gẹgẹbi iwọn otutu, ọriniinitutu ati gbigbọn. Irin simẹnti ni a ṣe nipasẹ ilana simẹnti ati pe o ni awọn abawọn airi bii awọn pores ati awọn ihò iyanrin inu. Nibayi, aapọn ti o ku ti o waye lakoko ilana simẹnti jẹ itara lati fa awọn iyipada iwọn-ara labẹ iwuri ti agbegbe ita. Awọn ohun-ini ti fadaka ti irin simẹnti jẹ ki o ni itara si ipata nitori ọriniinitutu, mimu ibajẹ igbekalẹ ati idinku iduroṣinṣin iwọn.
Ipa lori ohun elo ayewo wafer
Ohun elo ayewo Wafer ti o da lori sobusitireti giranaiti, pẹlu iṣẹ onisẹpo iduroṣinṣin, le rii daju pe eto ayewo n ṣetọju konge giga fun igba pipẹ, dinku idajọ ati wiwa ti o padanu ti o ṣẹlẹ nipasẹ fiseete deede ohun elo, ati ni ilọsiwaju ikore ọja ni pataki. Nibayi, awọn ibeere itọju kekere dinku iye owo igbesi aye kikun ti ohun elo. Awọn ohun elo lilo awọn sobusitireti irin simẹnti, nitori iduroṣinṣin iwọn ti ko dara, nilo isọdiwọn loorekoore ati itọju. Eyi kii ṣe alekun awọn idiyele iṣẹ nikan ṣugbọn tun le ni ipa lori didara iṣelọpọ semikondokito nitori aipe to, nfa awọn adanu ọrọ-aje ti o pọju.
Labẹ aṣa ti ile-iṣẹ semikondokito ilepa ti konge giga ati didara to dara julọ, yiyan granite bi ohun elo ipilẹ fun ohun elo ayewo wafer jẹ laiseaniani gbigbe ọlọgbọn lati rii daju iṣẹ ohun elo ati mu ifigagbaga ti awọn ile-iṣẹ pọ si.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-14-2025