Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, ìpéye ẹ̀rọ àyẹ̀wò wafer ní tààrà ló ń pinnu dídára àti ìbísí àwọn ègé. Gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ẹ̀yà ìwádìí pàtàkì, ìdúróṣinṣin ìwọ̀n ti ohun èlò ìpìlẹ̀ náà kó ipa pàtàkì nínú iṣẹ́ ìgbà pípẹ́ ti ohun èlò náà. Granite àti irin simẹnti jẹ́ ohun èlò ìpìlẹ̀ méjì tí a sábà máa ń lò fún ohun èlò àyẹ̀wò wafer. Ìwádìí ìfiwéra ọdún mẹ́wàá kan ti fi àwọn ìyàtọ̀ pàtàkì hàn láàárín wọn ní ti ìdúróṣinṣin ìwọ̀n, èyí tí ó pèsè àwọn ìtọ́kasí pàtàkì fún yíyan ohun èlò.
Ìpìlẹ̀ àti Ìṣẹ̀dá Ìdánwò
Ilana iṣelọpọ ti awọn wafers semiconductor ni awọn ibeere giga pupọ fun deede wiwa. Paapaa iyapa iwọn ipele micrometer le ja si idinku ninu iṣẹ ṣiṣe chip tabi paapaa fifọ. Lati ṣawari iduroṣinṣin iwọn ti granite ati irin simẹnti lakoko lilo igba pipẹ, ẹgbẹ iwadii ṣe apẹrẹ awọn idanwo ti o ṣe apẹẹrẹ awọn agbegbe iṣẹ gidi. Awọn ayẹwo granite ati irin simẹnti ti o ni alaye kanna ni a yan ati gbe sinu yara ayika nibiti iwọn otutu ti yipada lati 15℃ si 35℃ ati ọriniinitutu yipada lati 30% si 70% RH. Gbigbọn ẹrọ lakoko iṣẹ ti ẹrọ naa ni a ṣe apẹẹrẹ nipasẹ tabili gbigbọn. Awọn iwọn pataki ti awọn ayẹwo ni a wọn ni gbogbo mẹẹdogun nipa lilo interferometer laser ti o peye giga, ati pe a ṣe igbasilẹ data nigbagbogbo fun ọdun 10.
Àbájáde ìdánwò: Àǹfààní pípé ti granite
Ìwádìí ọdún mẹ́wàá tí a ti ṣe fihàn pé ìpìlẹ̀ granite náà ní ìdúróṣinṣin tó yanilẹ́nu. Ìwọ̀n ìfẹ̀sí ooru rẹ̀ kéré gan-an, ó sì jẹ́ 4.6×10⁻⁶/℃ nìkan. Lábẹ́ àwọn ìyípadà otutu tó le koko, ìyàtọ̀ ìwọ̀n ni a máa ń ṣàkóso láàárín ±0.001mm. Lójú àwọn ìyípadà ọrinrin, ìṣètò tó lágbára ti granite mú kí ó fẹ́rẹ̀ẹ́ má ní ipa kankan, kò sì sí àwọn ìyípadà ìwọ̀n tí a lè wọ̀n. Nínú àyíká ìgbọ̀nsẹ̀ ẹ̀rọ, àwọn ànímọ́ ìrọ̀rùn tó dára jùlọ ti granite máa ń gba agbára ìgbọ̀nsẹ̀ dáadáa, ìyípadà ìwọ̀n sì kéré gan-an.
Ní ìyàtọ̀ sí èyí, fún ohun èlò ìṣàn irin, ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru rẹ̀ dé 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, àti ìyàtọ̀ ìwọ̀n tó pọ̀ jùlọ tí ìyípadà ìwọ̀n otútù ń fà láàárín ọdún mẹ́wàá jẹ́ ±0.05mm. Nínú àyíká tí ó ní ọ̀rinrin, irin tí a fi ṣe é máa ń jẹ́ ipata àti ìbàjẹ́. Àwọn àpẹẹrẹ kan fi ìyípadà agbègbè hàn, ìyàtọ̀ ìwọ̀n sì máa ń pọ̀ sí i. Lábẹ́ ìṣiṣẹ́ ìgbọ̀nsẹ̀ ẹ̀rọ, irin tí a fi ṣe é ní agbára ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ tí kò dára àti ìwọ̀n rẹ̀ máa ń yípadà nígbà gbogbo, èyí tí ó mú kí ó ṣòro láti bá àwọn ohun tí a béèrè fún àyẹ̀wò wafer mu.
Idi pataki fun iyatọ ninu iduroṣinṣin
A ṣe àgbékalẹ̀ granite fún ọgọ́rọ̀ọ̀rún mílíọ̀nù ọdún nípasẹ̀ àwọn ìlànà ilẹ̀ ayé. Ìṣètò inú rẹ̀ nípọn, ó sì dọ́gba, àwọn kirisita ohun alumọ́ni náà sì wà ní ìtòlẹ́sẹẹsẹ, èyí tí ó mú kí wahala inú kúrò nípasẹ̀ ẹ̀dá. Èyí mú kí ó má ṣe ní ìmọ̀lára púpọ̀ sí àwọn ìyípadà nínú àwọn ohun tí ó wà níta bí iwọ̀n otútù, ọriniinitutu àti ìgbọ̀nsẹ̀. A ń ṣe irin simẹnti nípasẹ̀ ìlànà simẹnti, ó sì ní àwọn àbùkù kékeré bíi ihò àti ihò iyanrìn nínú. Ní àkókò kan náà, ìdààmú tí ó kù tí a ń rí nígbà ìlànà simẹnti lè fa àwọn ìyípadà oníwọ̀n lábẹ́ ìfúnni ní àyíká òde. Àwọn ànímọ́ irin ti irin simẹnti mú kí ó lè di ìpalára nítorí ọriniinitutu, èyí tí ó ń mú kí ìbàjẹ́ ìṣètò yára sí i, tí ó sì ń dín ìdúróṣinṣin oníwọ̀n kù.
Ipa lori ẹrọ ayẹwo wafer
Àwọn ohun èlò ìṣàyẹ̀wò wafer tí a gbé ka orí granite substrate, pẹ̀lú iṣẹ́ ìpele tí ó dúró ṣinṣin, lè rí i dájú pé ètò àyẹ̀wò náà ń pa ìṣedéédé gíga mọ́ fún ìgbà pípẹ́, ó ń dín àìdánilójú àti ìṣàwárí tí ó pàdánù nítorí ìyípadà ìṣedéédé ohun èlò kù, ó sì ń mú kí ìṣẹ̀dá ọjà sunwọ̀n sí i. Ní àkókò kan náà, àwọn ohun èlò ìtọ́jú tí kò tó nǹkan dín iye owó ìgbésí ayé ohun èlò náà kù. Àwọn ohun èlò tí ń lo àwọn ohun èlò irin dídà, nítorí àìdúróṣinṣin ìwọ̀n, nílò ìṣàtúnṣe àti ìtọ́jú déédéé. Èyí kìí ṣe pé ó ń mú kí iye owó ìṣiṣẹ́ pọ̀ sí i nìkan ni, ó tún lè ní ipa lórí dídára ìṣelọ́pọ́ semiconductor nítorí àìtó ìṣedéédé, èyí tí ó lè fa àdánù ọrọ̀ ajé tí ó ṣeéṣe.
Lábẹ́ àṣà ìtẹ̀síwájú ilé iṣẹ́ semiconductor láti rí i dájú pé àwọn ohun èlò ìṣàyẹ̀wò wafer ń ṣiṣẹ́ dáadáa àti pé wọ́n ń lo granite gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìpìlẹ̀ fún àwọn ohun èlò ìṣàyẹ̀wò wafer jẹ́ ìgbésẹ̀ ọlọ́gbọ́n láti rí i dájú pé àwọn ohun èlò náà ṣiṣẹ́ dáadáa àti láti mú kí àwọn ilé iṣẹ́ náà lè máa díje sí i.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-14-2025