Ni aaye iṣelọpọ semikondokito, eyiti o lepa pipe pipe, iyeida ti imugboroja igbona jẹ ọkan ninu awọn aye ipilẹ ti o ni ipa didara ọja ati iduroṣinṣin iṣelọpọ. Jakejado gbogbo ilana lati fọtolithography, etching si apoti, awọn iyatọ ninu awọn iwọn imugboroja igbona ti awọn ohun elo le dabaru pẹlu iṣedede iṣelọpọ ni awọn ọna pupọ. Bibẹẹkọ, ipilẹ granite, pẹlu alasọdipọna imugboroja igbona kekere rẹ, ti di bọtini lati yanju iṣoro yii.
Ilana Lithography: Awọn abuku igbona fa iyapa ilana
Photolithography jẹ igbesẹ akọkọ ni iṣelọpọ semikondokito. Nipasẹ ẹrọ fọtolithography, awọn ilana iyika lori iboju-boju ti gbe lọ si oju ti wafer ti a bo pẹlu photoresist. Lakoko ilana yii, iṣakoso igbona inu ẹrọ fọtolithography ati iduroṣinṣin ti tabili iṣẹ jẹ pataki pataki. Mu awọn ohun elo irin ibile gẹgẹbi apẹẹrẹ. Olusọdipúpọ wọn ti imugboroja igbona jẹ isunmọ 12 × 10⁻⁶/℃. Lakoko iṣẹ ti ẹrọ fọtolithography, ooru ti ipilẹṣẹ nipasẹ orisun ina lesa, awọn lẹnsi opiti ati awọn paati ẹrọ yoo jẹ ki iwọn otutu ohun elo dide nipasẹ 5-10 ℃. Ti tabili iṣẹ ẹrọ lithography ba nlo ipilẹ irin, ipilẹ gigun-mita 1 le fa ibajẹ imugboroja ti 60-120 μm, eyiti yoo yorisi iyipada ni ipo ibatan laarin iboju-boju ati wafer.
Ninu awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju (bii 3nm ati 2nm), aye transistor jẹ awọn nanometer diẹ nikan. Iru abuku gbigbona kekere kan to lati fa ki ilana fọtolithography jẹ aiṣedeede, ti o yori si awọn asopọ transistor ajeji, awọn iyika kukuru tabi awọn iyika ṣiṣi, ati awọn ọran miiran, ti o yorisi taara ni ikuna awọn iṣẹ chirún. Olusọdipúpọ igbona ti ipilẹ granite jẹ kekere bi 0.01μm/°C (ie, (1-2) ×10⁻⁶/℃), ati abuku labẹ iyipada iwọn otutu kanna jẹ 1/10-1/5 ti ti irin. O le pese pẹpẹ ti o ni ẹru iduroṣinṣin fun ẹrọ fọtolithography, aridaju gbigbe deede ti ilana fọtolithography ati imudarasi ikore ti iṣelọpọ chirún ni pataki.
Etching ati iwadi oro: Ni ipa lori išedede onisẹpo ti awọn be
Etching ati ifisilẹ jẹ awọn ilana bọtini fun kikọ awọn ẹya iyika onisẹpo mẹta lori dada wafer. Lakoko ilana etching, gaasi ifaseyin faragba iṣesi kemikali pẹlu ohun elo dada ti wafer. Nibayi, awọn paati bii ipese agbara RF ati iṣakoso ṣiṣan gaasi inu ohun elo nfa ooru, nfa iwọn otutu ti wafer ati awọn paati ohun elo lati dide. Ti o ba jẹ pe olùsọdipúpọ ti imugboroosi igbona ti gbigbe wafer tabi ipilẹ ohun elo ko baamu ti wafer (isọdipúpọ ti imugboroosi igbona ti ohun elo ohun alumọni jẹ isunmọ 2.6 × 10⁻⁶ / ℃), aapọn gbona yoo jẹ ipilẹṣẹ nigbati iwọn otutu ba yipada, eyiti o le fa awọn dojuijako kekere tabi ija lori oju wafer naa.
Iru abuku yii yoo ni ipa lori ijinle etching ati inaro ti ogiri ẹgbẹ, nfa awọn iwọn ti awọn grooves etched, nipasẹ awọn iho ati awọn ẹya miiran lati yapa kuro ninu awọn ibeere apẹrẹ. Bakanna, ninu ilana ifisilẹ fiimu tinrin, iyatọ ninu imugboroja igbona le fa aapọn inu inu fiimu tinrin ti o gbasilẹ, ti o yori si awọn iṣoro bii fifọ ati peeling ti fiimu naa, eyiti o ni ipa lori iṣẹ itanna ati igbẹkẹle igba pipẹ ti ërún. Lilo awọn ipilẹ granite pẹlu olùsọdipúpọ imugboroja gbona ti o jọra si ti awọn ohun elo ohun alumọni le dinku aapọn igbona ni imunadoko ati rii daju iduroṣinṣin ati deede ti awọn ilana etching ati ifisilẹ.
Ipele iṣakojọpọ: Aiṣedeede igbona fa awọn ọran igbẹkẹle
Ni ipele iṣakojọpọ semikondokito, ibaramu ti awọn iye iwọn imugboroja igbona laarin chirún ati ohun elo apoti (gẹgẹbi resini epoxy, awọn ohun elo amọ, ati bẹbẹ lọ) jẹ pataki pataki. Olusọdipúpọ igbona ti ohun alumọni, ohun elo mojuto ti awọn eerun igi, jẹ kekere diẹ, lakoko ti awọn ohun elo iṣakojọpọ pupọ julọ ga julọ. Nigbati iwọn otutu ti chirún ba yipada lakoko lilo, aapọn gbona yoo waye laarin chirún ati ohun elo idii nitori aiṣedeede ti awọn iye iwọn imugboroja gbona.
Aapọn gbona yii, labẹ ipa ti awọn iwọn otutu ti o tun leralera (gẹgẹbi alapapo ati itutu agbaiye lakoko iṣiṣẹ ti ërún), le ja si rirẹ rirẹ ti awọn isẹpo solder laarin chirún ati sobusitireti apoti, tabi fa ki awọn okun onirin lori dada chirún ṣubu, nikẹhin abajade ikuna ti asopọ itanna ti ërún. Nipa yiyan awọn ohun elo sobusitireti iṣakojọpọ pẹlu olusọdipúpọ igbona ti o sunmọ ti awọn ohun elo ohun alumọni ati lilo awọn iru ẹrọ idanwo giranaiti pẹlu iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ fun wiwa deede lakoko ilana iṣakojọpọ, iṣoro ti ibaamu igbona le dinku ni imunadoko, igbẹkẹle ti apoti le ni ilọsiwaju, ati pe igbesi aye iṣẹ ti chirún le pẹ.
Iṣakoso agbegbe iṣelọpọ: iduroṣinṣin ti iṣakojọpọ ti ohun elo ati awọn ile ile-iṣẹ iṣelọpọ
Ni afikun si ni ipa taara ilana iṣelọpọ, olùsọdipúpọ ti imugboroja igbona tun ni ibatan si iṣakoso ayika gbogbogbo ti awọn ile-iṣelọpọ semikondokito. Ni awọn idanileko iṣelọpọ semikondokito nla, awọn ifosiwewe bii ibẹrẹ ati iduro ti awọn eto imuletutu ati itusilẹ ooru ti awọn iṣupọ ohun elo le fa awọn iyipada ni iwọn otutu ayika. Ti o ba jẹ pe onisọdipúpọ ti igbona igbona ti ilẹ ile-iṣẹ, awọn ipilẹ ohun elo ati awọn amayederun miiran ti ga ju, awọn iyipada iwọn otutu igba pipẹ yoo jẹ ki ilẹ kikan ati ipilẹ ohun elo lati yipada, nitorinaa ni ipa lori deede ti ohun elo deede gẹgẹbi awọn ẹrọ fọtolithography ati awọn ẹrọ etching.
Nipa lilo awọn ipilẹ granite bi awọn atilẹyin ohun elo ati apapọ wọn pẹlu awọn ohun elo ile ile-iṣẹ pẹlu awọn iye iwọn imugboroja igbona kekere, agbegbe iṣelọpọ iduroṣinṣin le ṣẹda, idinku igbohunsafẹfẹ ti isọdọtun ohun elo ati awọn idiyele itọju ti o fa nipasẹ abuku igbona ayika, ati aridaju iṣẹ iduroṣinṣin igba pipẹ ti laini iṣelọpọ semikondokito.
Olusọdipúpọ ti imugboroja igbona n ṣiṣẹ nipasẹ gbogbo ọna igbesi aye ti iṣelọpọ semikondokito, lati yiyan ohun elo, iṣakoso ilana si apoti ati idanwo. Ipa ti imugboroja igbona nilo lati ṣe akiyesi ni muna ni gbogbo ọna asopọ. Awọn ipilẹ Granite, pẹlu olùsọdipúpọ-kekere wọn ti imugboroja igbona ati awọn ohun-ini miiran ti o dara julọ, pese ipilẹ ti ara iduroṣinṣin fun iṣelọpọ semikondokito ati di iṣeduro pataki fun igbega idagbasoke ti awọn ilana iṣelọpọ chirún si ọna pipe ti o ga julọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-20-2025