Nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor, tí ó ń lépa ìṣedéédé tó ga jùlọ, iye ìfàsẹ́yìn ooru jẹ́ ọ̀kan lára àwọn pàrámítà pàtàkì tí ó ní ipa lórí dídára ọjà àti ìdúróṣinṣin iṣẹ́. Jálẹ̀ gbogbo iṣẹ́ náà láti photolithography, síso mọ́tò sí àpò ìpamọ́, ìyàtọ̀ nínú àwọn iye ìfàsẹ́yìn ooru ti àwọn ohun èlò lè dí ìṣedéédé ìṣelọ́pọ́ lọ́wọ́ ní onírúurú ọ̀nà. Síbẹ̀síbẹ̀, ìpìlẹ̀ granite, pẹ̀lú iye ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré gan-an, ti di kọ́kọ́rọ́ láti yanjú ìṣòro yìí.
Ilana Lithography: Iyipada ooru n fa iyapa ilana
Fọ́tòlítọ́pọ́ jẹ́ ìgbésẹ̀ pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor. Nípasẹ̀ ẹ̀rọ fọ́tòlítọ́pọ́, àwọn ìlànà àyíká lórí ìbòjú náà ni a gbé lọ sí ojú wafer tí a fi fọ́tòlítọ́pọ́ bò. Nígbà iṣẹ́ yìí, ìṣàkóso ooru inú ẹ̀rọ fọ́tòlítọ́pọ́ àti ìdúróṣinṣin ti ibi iṣẹ́ ṣe pàtàkì gidigidi. Gbé àwọn ohun èlò irin ìbílẹ̀ gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ. Ìṣọ̀kan wọn ti ìfàsẹ́yìn ooru jẹ́ nǹkan bí 12×10⁻⁶/℃. Nígbà iṣẹ́ ẹ̀rọ fọ́tòlítọ́pọ́, ooru tí orísun ìmọ́lẹ̀ lésà, àwọn lẹ́ńsì ojú àti àwọn èròjà ẹ̀rọ ń mú wá yóò mú kí ìwọ̀n otútù ẹ̀rọ náà ga sí i ní 5-10 ℃. Tí ibi iṣẹ́ ẹ̀rọ fọ́tòlítọ́pọ́ bá lo ìpìlẹ̀ irin, ìpìlẹ̀ gígùn mítà 1 lè fa ìyípadà ìfàsẹ́yìn ti 60-120 μm, èyí tí yóò yọrí sí ìyípadà nínú ipò ìbátan láàárín ìbòjú àti fọ́tòlítọ́pọ́.
Nínú àwọn iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ tó ti lọ síwájú (bíi 3nm àti 2nm), àlàfo transistor jẹ́ kìkì nanomita díẹ̀. Irú ìyípadà ooru kékeré bẹ́ẹ̀ tó láti fa kí ìlànà photolithography má ṣe tọ́, èyí tó ń yọrí sí àwọn ìsopọ̀ transistor tí kò dára, àwọn iyika kúkúrú tàbí àwọn iyika ṣíṣí, àti àwọn ìṣòro mìíràn, èyí tó ń yọrí sí ìkùnà àwọn iṣẹ́ chip. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti ìpìlẹ̀ granite kéré tó 0.01μm/°C (ìyẹn ni, (1-2) ×10⁻⁶/℃), àti ìyípadà lábẹ́ ìyípadà otutu kan náà jẹ́ 1/10-1/5 ti irin. Ó lè pèsè pẹpẹ ẹrù tí ó dúró ṣinṣin fún ẹ̀rọ photolithography, tó ń rí i dájú pé ìyípadà gangan ti àwòrán photolithography àti pé ó ń mú kí iṣẹ́ ṣíṣe chip sunwọ̀n sí i.
Ìfọ́ àti ìfipamọ́: Ní ipa lórí ìṣedéédé ìwọ̀n ti ètò náà
Fífi ìfọ́ àti ìfipamọ́ ni àwọn ìlànà pàtàkì fún kíkọ́ àwọn ètò àyíká onípele mẹ́ta lórí ojú wafer. Nígbà tí a bá ń fi ìfọ́, gaasi aṣeyọrí máa ń farahàn pẹ̀lú ohun èlò ojú wafer náà. Ní àkókò kan náà, àwọn èròjà bíi ìpèsè agbára RF àti ìṣàkóso ìṣàn gaasi nínú ohun èlò náà máa ń mú ooru jáde, èyí sì máa ń mú kí ìwọ̀n otútù wafer àti àwọn èròjà ohun èlò náà pọ̀ sí i. Tí ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti ohun èlò wafer tàbí ìpìlẹ̀ ohun èlò kò bá ti wafer mu (ìfàsẹ́yìn ooru ti ohun èlò silikoni jẹ́ nǹkan bí 2.6×10⁻⁶/℃), ìdààmú ooru yóò wáyé nígbà tí ìwọ̀n otútù bá yípadà, èyí tí ó lè fa ìfọ́ kékeré tàbí yíyípo lórí ojú wafer náà.
Iru iyipada yii yoo ni ipa lori ijinle fifin ati inaro ogiri ẹgbẹ, ti o fa awọn iwọn awọn iho ti a fi hun, nipasẹ awọn iho ati awọn ẹya miiran lati yapa kuro ninu awọn ibeere apẹrẹ. Bakanna, ninu ilana fifin fiimu tinrin, iyatọ ninu imugboroosi ooru le fa wahala inu ninu fiimu tinrin ti a fi pamọ́, ti o yori si awọn iṣoro bii fifọ ati fifọ fiimu naa, eyiti o ni ipa lori iṣẹ ina ati igbẹkẹle igba pipẹ ti chip naa. Lilo awọn ipilẹ granite pẹlu iye imugboroosi ooru ti o jọra si ti awọn ohun elo silikoni le dinku wahala ooru daradara ati rii daju iduroṣinṣin ati deede ti awọn ilana fifin ati fifin.
Ipele apoti: Ibamu ooru ti ko baamu fa awọn iṣoro igbẹkẹle
Nínú ìpele ìdìpọ̀ semiconductor, ìbáramu àwọn ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru láàárín ìdìpọ̀ náà àti ohun èlò ìdìpọ̀ (bíi epoxy resin, seramiki, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) ṣe pàtàkì gidigidi. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti silikoni, ohun èlò pàtàkì ti ìdìpọ̀, kéré ní ìfiwéra, nígbà tí ti ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò ìdìpọ̀ ga ní ìfiwéra. Nígbà tí ìwọ̀n otútù ìdìpọ̀ náà bá yípadà nígbà lílò, wàhálà ooru yóò wáyé láàárín ìdìpọ̀ náà àti ohun èlò ìdìpọ̀ nítorí àìbáramu àwọn ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru.
Ìṣòro ooru yìí, lábẹ́ ipa àwọn ìyípo ooru tí a ń ṣe leralera (bíi gbígbóná àti ìtútù nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ ërún náà), lè fa ìfọ́ àárẹ̀ ti àwọn ìsopọ̀ solder láàárín ërún àti ërún àpò, tàbí kí ó fa kí àwọn wáyà ìsopọ̀ lórí ojú ërún náà jábọ́, nígbẹ̀yìn-gbẹ́yín, èyí yóò yọrí sí ìkùnà ìsopọ̀ iná mànàmáná ti ërún náà. Nípa yíyan àwọn ohun èlò àpò pẹ̀lú ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó súnmọ́ ti àwọn ohun èlò silicon àti lílo àwọn ìpele ìdánwò granite pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ooru tí ó dára jùlọ fún wíwá ìpéye nígbà ìlànà àpò, ìṣòro àìbáramu ooru lè dínkù dáadáa, a lè mú ìgbẹ́kẹ̀lé àpò náà sunwọ̀n sí i, àti pé a lè pẹ́ sí i ní iṣẹ́ ërún náà.
Iṣakoso ayika iṣelọpọ: Iduroṣinṣin ti a ṣe deede ti awọn ẹrọ ati awọn ile ile-iṣẹ iṣelọpọ
Yàtọ̀ sí pé ó ní ipa taara lórí ìlànà iṣẹ́ ìṣẹ̀dá, iye ìfàsẹ́yìn ooru tún ní í ṣe pẹ̀lú ìṣàkóso àyíká gbogbo ti àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor. Nínú àwọn ìdánilẹ́kọ̀ọ́ iṣẹ́ semiconductor ńlá, àwọn nǹkan bíi ìbẹ̀rẹ̀ àti ìdádúró àwọn ètò afẹ́fẹ́ àti ìtújáde ooru ti àwọn ẹgbẹ́ ohun èlò lè fa ìyípadà nínú iwọn otutu àyíká. Tí iye ìfàsẹ́yìn ooru ti ilẹ̀ ilé iṣẹ́, àwọn ìpìlẹ̀ ohun èlò àti àwọn ètò ìṣiṣẹ́ míràn bá ga jù, àwọn ìyípadà otutu ìgbà pípẹ́ yóò fa kí ilẹ̀ náà fọ́ àti ìpìlẹ̀ ohun èlò náà láti yípadà, èyí yóò sì nípa lórí ìṣedéédé àwọn ohun èlò bíi àwọn ẹ̀rọ photolithography àti àwọn ẹ̀rọ etching.
Nípa lílo àwọn ìpìlẹ̀ granite gẹ́gẹ́ bí àtìlẹ́yìn ẹ̀rọ àti sísopọ̀ wọn pọ̀ mọ́ àwọn ohun èlò ilé iṣẹ́ pẹ̀lú àwọn ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru kékeré, a lè ṣẹ̀dá àyíká ìṣẹ̀dá tí ó dúró ṣinṣin, tí ó ń dín iye ìgbà tí a fi ń ṣe àtúnṣe ẹ̀rọ àti iye owó ìtọ́jú tí ìyípadà ooru àyíká ń fà kù, àti rírí i dájú pé ìlà ìṣẹ̀dá semiconductor náà ń ṣiṣẹ́ ní ìgbà pípẹ́.
Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru náà ń lọ káàkiri gbogbo ìgbésí ayé iṣẹ́ semiconductor, láti yíyan ohun èlò, ìṣàkóso iṣẹ́ sí àpò àti ìdánwò. A gbọ́dọ̀ gbé ipa ìfàsẹ́yìn ooru yẹ̀ wò dáadáa ní gbogbo ọ̀nà. Àwọn ìpìlẹ̀ granite, pẹ̀lú ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré gan-an àti àwọn ohun ìní mìíràn tí ó tayọ, ń pèsè ìpìlẹ̀ ti ara tí ó dúró ṣinṣin fún iṣẹ́ semiconductor, ó sì di ìdánilójú pàtàkì fún gbígbé ìdàgbàsókè àwọn ilana iṣẹ́ ërún sí ìṣedéédé gíga.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-20-2025