Ni aaye iṣelọpọ semikondokito, ohun elo opitika aifọwọyi (AOI) ṣe ipa pataki ni idaniloju didara awọn eerun igi. Paapaa ilọsiwaju diẹ ninu iṣedede wiwa rẹ le mu iyipada nla wa si gbogbo ile-iṣẹ naa. Ipilẹ ohun elo, gẹgẹbi paati bọtini, ni ipa nla lori deede wiwa. Ni awọn ọdun aipẹ, iyipada ninu awọn ohun elo ipilẹ ti gba nipasẹ ile-iṣẹ naa. Granite, pẹlu iṣẹ ṣiṣe idinku gbigbọn ti iyalẹnu rẹ, ti rọpo diẹdiẹ awọn ohun elo irin simẹnti ibile ati di ayanfẹ tuntun ti ohun elo ayewo AOI. Imudara gbigbọn gbigbọn rẹ ti pọ si nipasẹ 92% ni akawe si irin simẹnti. Kini awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ ati awọn iyipada ile-iṣẹ wa lẹhin data yii?
Awọn ibeere ti o muna fun gbigbọn ni semikondokito AOI ohun elo ayewo
Ilana iṣelọpọ ti awọn eerun semikondokito ti wọ akoko nanoscale. Lakoko ilana ayewo AOI, paapaa awọn gbigbọn kekere pupọ le fa awọn iyapa ninu awọn abajade ayewo. Awọn idọti ti o dara, awọn ofo ati awọn abawọn miiran lori oke ti ërún nigbagbogbo wa ni micrometer tabi paapaa ipele nanometer. Awọn lẹnsi opiti ti ohun elo wiwa nilo lati mu awọn alaye wọnyi mu pẹlu pipe to ga julọ. Eyikeyi gbigbọn ti o tan kaakiri nipasẹ ipilẹ yoo fa ki lẹnsi yipada tabi gbọn, ti o mu abajade imudara aworan ti o bajẹ ati nitorinaa ni ipa lori deede idanimọ abawọn.
Awọn ohun elo irin simẹnti ni ẹẹkan lo ni lilo pupọ ni awọn ipilẹ ti ohun elo ayewo AOI nitori pe wọn ni agbara kan ati iṣẹ ṣiṣe, ati pe idiyele naa jẹ kekere. Sibẹsibẹ, ni awọn ofin ti idinku gbigbọn, irin simẹnti ni awọn ailagbara ti o han gbangba. Ipilẹ inu ti irin simẹnti ni nọmba nla ti awọn iwe graphite, eyiti o jẹ deede si awọn ofo kekere inu ati dabaru ilosiwaju ohun elo naa. Nigbati ohun elo ba ṣiṣẹ ti o ṣe ipilẹṣẹ gbigbọn, tabi ti o ni idamu nipasẹ gbigbọn ayika ita, agbara gbigbọn ko le ṣe idinku ni imunadoko ninu irin simẹnti ṣugbọn o jẹ afihan nigbagbogbo ati fifẹ laarin iwe graphite ati matrix, ti o mu abajade lilọsiwaju ti gbigbọn. Awọn adanwo ti o ṣe pataki fihan pe lẹhin ti ipilẹ irin simẹnti ti ni itara nipasẹ gbigbọn ita, akoko attenuation gbigbọn le ṣiṣe ni fun awọn aaya pupọ, eyiti yoo ni ipa to ṣe pataki lori deede wiwa ni asiko yii. Ni afikun, iwọn rirọ ti irin simẹnti jẹ kekere. Labẹ iṣẹ igba pipẹ ti walẹ ohun elo ati aapọn gbigbọn, o ni itara si abuku, ti o pọ si gbigbe gbigbọn.
Aṣiri ti o wa lẹhin 92% ilosoke ninu ṣiṣe idinku gbigbọn ti awọn ipilẹ granite
Granite, gẹgẹbi iru okuta adayeba, ti ṣe agbekalẹ ipon pupọ ati ilana inu ile nipasẹ awọn ilana ẹkọ nipa ẹkọ nipa awọn ọgọọgọrun awọn miliọnu ọdun. O jẹ akọkọ ti awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile gẹgẹbi quartz ati feldspar ni idapo ni pẹkipẹki, ati awọn asopọ kemikali laarin awọn kirisita jẹ lagbara ati iduroṣinṣin. Ẹya yii funni ni giranaiti pẹlu agbara idalẹnu gbigbọn ti iyalẹnu. Nigbati gbigbọn ba ti gbejade si ipilẹ granite, awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe inu rẹ le ṣe iyipada agbara gbigbọn ni kiakia sinu agbara ooru ati ki o tuka. Awọn ijinlẹ fihan pe damping ti granite jẹ ọpọlọpọ igba ti o ga ju ti irin simẹnti lọ, eyi ti o tumọ si pe o le fa agbara gbigbọn daradara siwaju sii, dinku titobi ati iye akoko gbigbọn. Lẹhin idanwo ọjọgbọn, labẹ awọn ipo ifasilẹ gbigbọn kanna, akoko gbigbọn gbigbọn ti ipilẹ granite jẹ 8% nikan ti ti irin simẹnti, ati ṣiṣe imudani gbigbọn ti pọ nipasẹ 92%.
Lile giga ati modulus rirọ giga ti granite tun ṣe alabapin ni pataki. Lile giga n ṣe idaniloju pe ipilẹ ko ṣeeṣe lati dibajẹ nigbati o ba jẹ iwuwo ohun elo ati awọn ipa ipa ita, ati nigbagbogbo ṣetọju ipo atilẹyin iduroṣinṣin. Iwọn rirọ giga ṣe idaniloju pe ipilẹ le yarayara pada si apẹrẹ atilẹba rẹ nigbati o ba tẹriba, dinku ikojọpọ gbigbọn. Ni afikun, granite ni iduroṣinṣin igbona ti o dara julọ ati pe o fẹrẹ jẹ pe ko ni ipa nipasẹ awọn iyipada ninu iwọn otutu ayika, yago fun imugboroja igbona ati abuku isunku ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iyipada iwọn otutu, nitorinaa siwaju ni idaniloju iduroṣinṣin ti iṣẹ ṣiṣe gbigbọn.
Iyipada ile-iṣẹ ati Awọn ireti Mu nipasẹ awọn ipilẹ giranaiti
Ohun elo ayewo AOI pẹlu ipilẹ granite kan ti ni ilọsiwaju ilọsiwaju wiwa wiwa rẹ ni pataki. O le ṣe idanimọ awọn abawọn ni igbẹkẹle ninu awọn eerun kekere-kere, idinku oṣuwọn aiṣedeede si laarin 1% ati imudara iwọn ikore pupọ ti iṣelọpọ ërún. Nibayi, iduroṣinṣin ti ohun elo ti ni ilọsiwaju, idinku nọmba awọn titiipa fun itọju ti o fa nipasẹ awọn ọran gbigbọn, gigun igbesi aye iṣẹ ti ohun elo, ati idinku awọn idiyele iṣẹ lapapọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-14-2025