“Ààbò àìrí” ti ìpele ìṣípo afẹ́fẹ́ hydrostatic tí ó péye: àwọn ohun tí ó le koko nípa àyíká tí ó wà ní ìpìlẹ̀ tí ó péye granite.

Nínú àwọn ẹ̀ka iṣẹ́-ọnà gíga àti ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì tó ga jùlọ, ìpele ìṣípo afẹ́fẹ́ tó dúró ṣinṣin ni ohun èlò pàtàkì láti ṣe àṣeyọrí iṣẹ́ tó péye. Ìpìlẹ̀ ìpele granite ni apá tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún pẹpẹ náà, iṣẹ́ rẹ̀ sì ní í ṣe pẹ̀lú àyíká iṣẹ́. Lílóye àti mímú àwọn ohun tí a nílò nípa àyíká yìí kò lè rí i dájú pé pẹpẹ náà ṣiṣẹ́ dáadáa nìkan, ṣùgbọ́n ó tún jẹ́ apá pàtàkì nínú ilé-iṣẹ́ náà láti mú kí ìdíje rẹ̀ pọ̀ sí i ní àwọn ẹ̀ka tó jọra, èyí tí a ṣàlàyé ní kíkún ní ìsàlẹ̀.

1. Iwọn otutu: iṣakoso deede lati rii daju iduroṣinṣin iwọn
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé a mọ̀ granite fún ìdúróṣinṣin rẹ̀, ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru rẹ̀ kì í ṣe òdo, àwọn ìyípadà iwọn otutu kékeré sì lè ní ipa lórí ìpéye ìwọ̀n rẹ̀. Ní gbogbogbòò, ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti granite jẹ́ 5-7 ×10⁻⁶/℃. Nínú àpẹẹrẹ ìlò ti ìtẹ̀síwájú ìṣípo afẹ́fẹ́ onípele títọ́, ìyípadà kékeré yìí ni a mú pọ̀ sí i nípasẹ̀ pẹpẹ náà, èyí tí ó lè yọrí sí ìyàtọ̀ ti ìṣípo títọ́. Fún àpẹẹrẹ, nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́ chip semiconductor, ìlànà lithography fún ipò ìpéye àwọn ohun tí ó yẹ kí a gbé kalẹ̀ ti ipele danami, ìyípadà otutu ayíká ti 1 ° C, gígùn ẹ̀gbẹ́ ti ìpìlẹ̀ granite mítà 1 lè mú 5-7 microns ti ìfàsẹ́yìn ìlà tàbí ìfàsẹ́yìn, èyí tí ó tó láti jẹ́ kí ìyípadà àpẹẹrẹ lithography chip náà, dín ìyọrísí kù. Nítorí náà, ìtẹ̀síwájú ìfàsẹ́yìn afẹ́fẹ́ onípele títọ́ tí a ní ìpìlẹ̀ títọ́ granite, ìwọ̀n otutu àyíká iṣẹ́ tí ó dára jùlọ yẹ kí ó wà ní ìdarí ní 20 ° C ±1 ° C, àwọn ilé-iṣẹ́ lè fi ẹ̀rọ afẹ́fẹ́ onípele títọ́ títọ́ títọ́ títọ́ sí i, máa ṣe àkíyèsí àti ṣàtúnṣe iwọn otutu ayíká nígbà gbogbo, máa ṣe ìtọ́jú ìwọ̀n ìdúróṣinṣin ipilẹ granite náà, láti rí i dájú pé iṣẹ́ ìtẹ̀síwájú gíga ti pẹpẹ náà.
2.ọriniinitutu: iṣakoso to tọ, daabobo iṣẹ ipilẹ
Ọrinrin tún ní ipa pàtàkì lórí àwọn ìpìlẹ̀ granite tí ó péye. Nínú àyíká tí ọ̀rinrin pọ̀, granite rọrùn láti fa omi gbígbóná, ó sì lè jẹ́ pé ìtújáde omi wà lórí ojú ilẹ̀, èyí tí kìí ṣe pé yóò dí iṣẹ́ déédéé ti ètò ìtújáde afẹ́fẹ́ lọ́wọ́ nìkan, ṣùgbọ́n yóò tún yọrí sí ìfọ́ ilẹ̀ granite fún ìgbà pípẹ́, èyí tí yóò dín ìpéye àti ìgbésí ayé iṣẹ́ rẹ̀ kù. Bí a bá wo ibi iṣẹ́ ìtújáde lẹ́nsì optical gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, tí ọ̀rinrin bá ga ju 60%RH fún ìgbà pípẹ́, omi gbígbóná tí a fà mọ́ ojú ilẹ̀ granite yóò ba ìṣọ̀kan fíìmù ìtújáde afẹ́fẹ́ jẹ́, èyí tí yóò yọrí sí ìdínkù nínú ìṣedéédé lẹ́nsì àti àbùkù ojú ilẹ̀. Nítorí náà, ọriniinitutu ojúlùmọ̀ ti àyíká iṣẹ́ nílò láti ṣàkóso láàrín 40%-60%RH. Àwọn ilé-iṣẹ́ lè lo àwọn ohun èlò ìtújáde, àwọn sensọ̀ ọriniinitutu àti àwọn ohun èlò mìíràn láti ṣàkóso ọriniinitutu ní àkókò gidi, ṣẹ̀dá àyíká ọriniinitutu tí ó yẹ fún ìpìlẹ̀ granite tí ó péye, àti rírí i dájú pé ìṣiṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin ti ìtẹ̀síwájú ìtẹ̀síwájú afẹ́fẹ́ tí ó dúró ṣinṣin.

3. ìmọ́tótó: ṣàkóso dáadáa, mú ìdènà pàtákì kúrò
Àwọn èròjà eruku ni "ọ̀tá" ìpele ìṣípo afẹ́fẹ́ onípele tí ó dúró ṣinṣin, wọ́n sì ń ṣe ìpalára ńlá sí ìpìlẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin ti granite. Nígbà tí àwọn èròjà kéékèèké bá wọ inú àlàfo fíìmù gaasi láàrín fíìmù gaasi float slider àti ìpìlẹ̀ granite, wọ́n lè ba ìṣọ̀kan fíìmù gaasi jẹ́, kí wọ́n mú kí ìfọ́pọ̀ pọ̀ sí i, kí wọ́n sì tilẹ̀ fi ojú ìpìlẹ̀ náà ya, èyí tí ó lè nípa lórí ìṣedéédé ìṣípo náà. Nínú ibi iṣẹ́ ẹ̀rọ tí ó dúró ṣinṣin ti àwọn ẹ̀yà afẹ́fẹ́, tí àwọn èròjà eruku inú afẹ́fẹ́ bá jábọ́ sórí ìpìlẹ̀ granite, ipa ọ̀nà ìṣípo ti irinṣẹ́ ẹ̀rọ náà lè yí padà, èyí tí yóò nípa lórí ìṣedéédé ìṣiṣẹ́ àwọn ẹ̀yà náà. Nítorí náà, ó yẹ kí a pa ibi iṣẹ́ mọ́ tónítóní kí ó sì dé ìwọ̀n ìmọ́tótó ti 10,000 tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ilé-iṣẹ́ lè yọ àwọn èròjà eruku kúrò nínú afẹ́fẹ́ nípa fífi àwọn àlẹ̀mọ́ afẹ́fẹ́ tí ó lágbára (HEPA) sílẹ̀, wọ́n sì ní kí àwọn òṣìṣẹ́ wọ aṣọ tí kò ní eruku, àwọn ìbòrí bàtà, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, láti dín eruku tí ènìyàn ń mú wá kù, kí wọ́n sì máa ṣe àbójútó àyíká iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin ti ìpìlẹ̀ granite àti ìpìlẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin ti ...
4. Gbigbọn: Iyasọtọ to munadoko lati ṣẹda aaye ti o dan
Gbigbọn lati ita yoo da ipa pataki lori deedee ti ipilẹ afẹfẹ titẹ aimi ti o peye, botilẹjẹpe ipilẹ granite ti o peye ni agbara idinku gbigbọn kan, ṣugbọn gbigbọn agbara giga le tun fọ opin buffer rẹ. Gbigbọn ti ijabọ ti o wa ni ayika ile-iṣẹ ati iṣẹ ti awọn ohun elo ẹrọ nla n fa si ipilẹ granite nipasẹ ilẹ, eyiti yoo da idiwọ si deedee ti išipopada pẹpẹ naa. Ninu CMM giga, gbigbọn le fa ki a wọn ifọwọkan laarin ohun elo wiwọn ati iṣẹ naa lati jẹ alaiduro, ti o yorisi iyapa ti data wiwọn. Lati le yanju iṣoro yii, o ṣe pataki lati lo awọn igbese iyasọtọ gbigbọn ti o munadoko, gẹgẹbi fifi awọn paadi ipinya gbigbọn sinu agbegbe fifi sori ẹrọ ohun elo, ipilẹ ipinya gbigbọn ile, tabi lilo eto ipinya gbigbọn ti nṣiṣe lọwọ lati ṣatunṣe gbigbọn ita, ati ṣẹda agbegbe iṣẹ idakẹjẹ ati iduroṣinṣin fun ipilẹ deede granite ati ipilẹ gbigbe afẹfẹ aimi ti o peye.
Ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ohun tí a béèrè fún àyíká tí a mẹ́nu kàn lókè yìí, láti lè fún àǹfààní ìpìlẹ̀ ìpele granite ní ìpele ìṣípo tí ó péye, láti rí i dájú pé ìpele náà ń pese àwọn iṣẹ́ ìṣàkóso ìṣípo tí ó péye àti tí ó dúró ṣinṣin fún onírúurú ilé iṣẹ́. Tí àwọn ilé iṣẹ́ bá lè kíyèsí àwọn kúlẹ̀kúlẹ̀ wọ̀nyí ní àyíká iṣẹ́, wọn yóò lo àǹfààní náà nínú iṣẹ́ ṣíṣe déédé, ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì àti àwọn ẹ̀ka mìíràn, wọn yóò mú kí ìdíje wọn pọ̀ sí i, wọn yóò sì ṣe àṣeyọrí ìdàgbàsókè tí ó pẹ́ títí.