Àbùkù àwọn ohun èlò granite fún ọjà ìṣẹ̀dá semiconductor

Àwọn èròjà granite ni a ti lò ní gbogbogbòò nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor nítorí àwọn ànímọ́ wọn tó dára bíi dídára ojú ilẹ̀ tó ga, líle gíga, àti dídá gbigbọn tó dára. Àwọn èròjà granite ṣe pàtàkì fún àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá semiconductor, títí bí àwọn ẹ̀rọ lithography, àwọn ẹ̀rọ ìyọ́, àti àwọn ètò metrology nítorí wọ́n ń pèsè ipò tó péye àti ìdúróṣinṣin nígbà iṣẹ́ ìṣẹ̀dá. Láìka gbogbo àǹfààní lílo àwọn èròjà granite sí, wọ́n tún ní àbùkù. Nínú àpilẹ̀kọ yìí, a ó jíròrò àwọn àbùkù àwọn èròjà granite fún àwọn ọjà iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor.

Àkọ́kọ́, àwọn èròjà granite ní ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru gíga. Ó túmọ̀ sí wípé wọ́n fẹ̀ sí i gidigidi lábẹ́ ìfàsẹ́yìn ooru, èyí tí ó lè fa ìṣòro nígbà iṣẹ́ ìṣẹ̀dá. Ìlànà iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor nílò ìṣedéédé gíga àti ìṣedéédé iwọn tí ó lè bàjẹ́ nítorí ìfàsẹ́yìn ooru. Fún àpẹẹrẹ, ìyípadà silicon wafer nítorí ìfàsẹ́yìn ooru lè fa àwọn ìṣòro ìtòlẹ́sẹẹsẹ nígbà lithography, èyí tí ó lè ba dídára ẹ̀rọ semiconductor jẹ́.

Èkejì, àwọn èròjà granite ní àbùkù ihò tí ó lè fa ìtújáde omi nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor. Wíwà afẹ́fẹ́ tàbí èyíkéyìí gaasi mìíràn nínú ètò náà lè fa ìbàjẹ́ lórí ojú wafer náà, èyí tí yóò yọrí sí àbùkù tí ó lè ní ipa lórí iṣẹ́ ẹ̀rọ semiconductor náà. Àwọn gaasi aláìlera bíi argon àti helium lè wọ inú àwọn èròjà granite oníhò tí ó sì lè ṣẹ̀dá àwọn èéfín gaasi tí ó lè dí ìdúróṣinṣin ilana ìtújáde náà lọ́wọ́.

Ẹ̀kẹta, àwọn èròjà granite ní àwọn ohun èlò ìfọ́ ara tí ó lè dí ìlànà ìṣelọ́pọ́ lọ́wọ́. Granite jẹ́ ohun èlò tí ó lè bàjẹ́ tí ó lè mú kí àwọn ohun èlò ìfọ́ ara bàjẹ́ ní àkókò, pàápàá jùlọ nígbà tí a bá fara hàn sí àwọn ìyípo ìdààmú tí ó dúró ṣinṣin. Wíwà àwọn ohun èlò ìfọ́ ara bàjẹ́ lè fa àìdúróṣinṣin oníwọ̀n, tí ó lè fa àwọn ìṣòro pàtàkì nígbà iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́, bíi ìtòlẹ́sẹẹsẹ lithography tàbí ìfọ́ ara dúdú.

Ẹ̀kẹrin, àwọn èròjà granite ní ìyípadà díẹ̀. Ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor nílò àwọn ohun èlò tó lè gba onírúurú ìyípadà iṣẹ́. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn èròjà granite jẹ́ líle koko, wọn kò sì lè bá àwọn ìyípadà iṣẹ́ mu. Nítorí náà, èyíkéyìí ìyípadà nínú iṣẹ́lọ́pọ́ nílò yíyọ tàbí ìyípadà àwọn èròjà granite, èyí tó lè yọ àkókò ìdúrókúrò, tó sì lè nípa lórí iṣẹ́lọ́pọ́.

Ẹ̀karùn-ún, àwọn ohun èlò granite nílò ìtọ́jú àti gbígbé nǹkan lọ́nà pàtàkì nítorí ìwọ̀n àti àìlera wọn. Granite jẹ́ ohun èlò tó wúwo tí ó sì nílò àwọn ohun èlò ìtọ́jú pàtàkì bíi crane àti lifters. Ní àfikún, àwọn ohun èlò granite nílò ìtọ́jú àti gbígbé nǹkan lọ́nà tó ṣọ́ra láti dènà ìbàjẹ́ nígbà tí a bá ń gbé nǹkan, èyí tí ó lè fa owó àti àkókò sí i.

Ní ìparí, àwọn èròjà granite ní àwọn àléébù díẹ̀ tí ó lè ní ipa lórí dídára àti ìṣelọ́pọ́ àwọn ọjà ìṣẹ̀dá semiconductor. Àwọn àléébù wọ̀nyí ni a lè dínkù nípa lílo àti ìtọ́jú àwọn èròjà granite pẹ̀lú ìṣọ́ra, títí bí àyẹ̀wò lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan fún àwọn àléébù microfractures àti porosity, ìwẹ̀nùmọ́ tó dára láti dènà ìbàjẹ́, àti lílo pẹ̀lú ìṣọ́ra nígbà tí a bá ń gbé wọn lọ. Láìka àwọn àléébù náà sí, àwọn èròjà granite ṣì jẹ́ apá pàtàkì nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor nítorí pé wọ́n ní ojú ilẹ̀ tó dára jùlọ, líle gíga, àti ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ tó dára.