Nínú ayé ìṣẹ̀dá semiconductor tó gbajúmọ̀, níbi tí a ti ń wọn àwọn èròjà nínú nanomita àti ìfaradà ìṣelọ́pọ́ nílò ìpele kékeré, ìpìlẹ̀ tí a fi kọ́ àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ wọ̀nyí di èyí tí a kò lè rí síbẹ̀síbẹ̀ tí kò ṣe pàtàkì. Ní ZHHIMG, a ti lo ọ̀pọ̀ ọdún ní ṣíṣe àṣeyọrí ní ọ̀nà àti ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì ti àwọn èròjà granite tó péye—àwọn akọni tí a kò tíì kọ orin wọn tí ó ń mú kí àwọn ìlànà ìṣelọ́pọ́ tó ti pẹ́ jùlọ lónìí ṣeé ṣe. Gẹ́gẹ́ bí olórí kárí ayé nínú àwọn ojútùú granite tó péye, a ní ìgbéraga láti sọ bí granite dúdú wa tó jẹ́ 3100kg/m³ ṣe ń tún ìtumọ̀ ohun tó ṣeé ṣe nínú ìwádìí semiconductor, àwọn ètò metrology, àti àwọn ìpèsè ìṣelọ́pọ́ tó ti pẹ́ kárí ayé ṣe.
Ibùdó Àkókò Ìṣètò Òde Òní: Kí ló dé tí a fi ń pè ní Granite?
Nígbà tí àwọn olùpèsè semiconductor bá ń ṣe àwọn ìṣùpọ̀ pẹ̀lú ìmọ̀-ẹ̀rọ nọ́mbà 3nm—níbi tí ìwọ̀n transistor bá súnmọ́ ìwọ̀n àwọn átọ̀mù kọ̀ọ̀kan—wọ́n gbẹ́kẹ̀lé àwọn ohun èlò tí ó gbọ́dọ̀ pa ìdúróṣinṣin mọ́ ní ìpele atomiki. Níbí ni àwọn ohun-ìní àrà ọ̀tọ̀ granite ti di ohun tí a kò lè yípadà. Láìdàbí àwọn irin alloy tí ó ń fẹ̀ síi pẹ̀lú àwọn ìyípadà iwọ̀n otútù tàbí àwọn àkópọ̀ oníṣọ̀nà tí kò ní ìdúróṣinṣin oníwọ̀n ìgbà pípẹ́, granite dúdú ZHHIMG® wa tí ó ní agbára ìdènà ooru àti ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ tí ó tayọ. Pẹ̀lú ìwọ̀n 3100kg/m³—tí ó ga ju granite ilẹ̀ Europe tí ó wọ́pọ̀ lọ (nígbà gbogbo 2600-2800kg/m³)—ohun èlò wa ń pèsè ìpìlẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin jùlọ fún àwọn ètò ìṣàkóso ìṣípo tí ó péye.
Ronú nípa àwọn ìpèníjà ti lithography ultraviolet (EUV) tó lágbára, níbi tí àwọn ètò opitika gbọ́dọ̀ máa ṣe ìtòlẹ́sẹẹsẹ sub-nanometer ní gbogbo wákàtí iṣẹ́. Ìpìlẹ̀ granite tó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn ètò wọ̀nyí gbọ́dọ̀ kojú àwọn ìgbọ̀nsẹ̀ kékeré láti ọ̀dọ̀ àwọn ohun èlò ilé iṣẹ́ tàbí àwọn àyípadà àyíká. Ìwọ̀n ìfàmọ́ra inú ohun èlò wa ń gba agbára ìgbọ̀nsẹ̀ ní ìgbà 10-15 ju irin lọ, gẹ́gẹ́ bí ìdánwò ìfiwéra tí a ṣe pẹ̀lú National Physical Laboratory (UK). Ìyàtọ̀ iṣẹ́ yìí túmọ̀ sí àwọn èso tó ga jùlọ àti àwọn ìwọ̀n àbùkù tó dínkù nínú iṣẹ́ semiconductor—àǹfààní pàtàkì kan nínú iṣẹ́ kan níbi tí ìṣẹ́jú-àáyá kan ṣoṣo ti àkókò ìjákulẹ̀ lè ná ẹgbẹẹgbẹ̀rún dọ́là.
Ìdárayá Ìmọ̀-ẹ̀rọ: Láti Ilẹ̀ sí Ìwọ̀n Kúnámínì
Ìdúróṣinṣin wa sí ìṣedéédé bẹ̀rẹ̀ láti orísun náà. A ń lo àǹfààní àrà ọ̀tọ̀ sí àwọn ibi ìdókòwò granite tó dára jùlọ tí a yàn fún ìrísí wọn tó jọra àti ìyàtọ̀ ohun alumọ́ni tó kéré. Búlọ́ọ̀kì kọ̀ọ̀kan máa ń lo oṣù mẹ́fà ti ìpara adánidá kí ó tó wọ inú ilé iṣẹ́ wa tó tó 200,000m² nítòsí Jinan, tí ó wà ní ibi tí ó ní ọ̀nà àrà ọ̀tọ̀ pẹ̀lú ọ̀nà tààrà sí Qingdao Port fún ìpínkiri kárí ayé. Àwọn agbára ìṣelọ́pọ́ wa kò láfiwé: pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ ìlọlé mẹ́rin ti Taiwan Nan Teh (owó kọ̀ọ̀kan ju $500,000 lọ), a lè ṣe àgbékalẹ̀ àwọn èròjà kan ṣoṣo tí wọ́n wúwo tó 100 tọ́ọ̀nù pẹ̀lú ìwọ̀n tó tó 20m ní gígùn—àwọn agbára tí ó ṣẹ̀ṣẹ̀ jẹ́ kí a lè ṣe àwọn ìpele àdáni fún ètò ìran tuntun ti olùpèsè ohun èlò EUV.
Orí iṣẹ́ wa wà ní ibi tí a ti ń lo ìwọ̀n otútù àti ọ̀rinrin 10,000m², níbi tí a ti ń ṣàkóso gbogbo ohun tó wà ní àyíká dáadáa. Ilẹ̀ kọnkéréètì tó nípọn tó 1000mm, pẹ̀lú àwọn ihò ìyasọtọ̀ ìgbóná tó gbòòrò tó 500mm tó yí agbègbè ìṣelọ́pọ́ ká, ń ṣẹ̀dá àyíká tó dúró ṣinṣin níbi tí a ti ń pa àwọn ìyàtọ̀ otútù mọ́ láàrín ±0.5°C. Ìpele ìṣàkóso àyíká yìí ṣe pàtàkì nígbà tí a bá ń ṣe àwọn àwo ilẹ̀ granite pẹ̀lú ìfaradà fífẹ̀ tí kò ju 0.5μm lọ lórí gígùn 6000mm—àwọn ìlànà tí a fi hàn nípa lílo àwọn ẹ̀rọ interferometers laser Renishaw àti àwọn ìwọ̀n Mahr tí a ṣe déédéé, gbogbo wọn ni a ṣe àtúnṣe sí àwọn ìlànà ilé-ẹ̀kọ́ metrology orílẹ̀-èdè.
Ṣíṣeto Awọn Ipele Ile-iṣẹ: Awọn Iwe-ẹri ati Ifaramo Didara
Gẹ́gẹ́ bí olùpèsè granite onípele kan ṣoṣo tó ní àwọn ìwé ẹ̀rí ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001, àti CE lẹ́ẹ̀kan náà, a ti gbé àwọn ìlànà dídára kalẹ̀ tí ó ń ṣàlàyé iṣẹ́ náà. Ètò ìdára wa—“Iṣẹ́ ṣíṣe kedere kò le béèrè jù”—ń darí gbogbo apá iṣẹ́ wa, láti àyẹ̀wò ohun èlò aise sí ìwé ẹ̀rí ìkẹyìn. A ní ìgbéraga ní pàtàkì fún ètò ìdánwò Metrological wa, èyí tí ó ní àwọn micrometers Germany Mahr (ìpinnu 0.5μm), àwọn profilometers Mitutoyo, àti àwọn ipele itanna Swiss WYLER, gbogbo wọn ni a lè tọ́ka sí sí National Institute of Metrology ti China tí a sì ń ṣe àyẹ̀wò déédéé nípasẹ̀ àwọn ètò ìfiwéra kárí ayé pẹ̀lú Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) àti National Institute of Standards and Technology (USA).
Ọ̀nà àìyẹsẹ̀ yìí ti jẹ́ kí a ní àjọṣepọ̀ pẹ̀lú àwọn olórí ilé iṣẹ́, títí bí àwọn olùpèsè GE, Samsung, àti ASML. Nígbà tí olùpèsè ohun èlò semiconductor pàtàkì kan nílò àwọn ìpele afẹ́fẹ́ granite àdáni fún àwọn ètò àyẹ̀wò wafer 300mm wọn, agbára wa láti ṣe àwọn àkójọpọ̀ ibùsùn tó péye 20,000 lóṣooṣù mú kí wọ́n dé àkókò ìgbékalẹ̀ wọn. Bákan náà, àjọṣepọ̀ wa pẹ̀lú Nanyang Technological University ti Singapore lórí àwọn àkójọpọ̀ granite tí a fi okun carbon ṣe ń tẹ̀síwájú àwọn ààlà àwọn ètò ìṣedéédé tó fúyẹ́ fún àwọn ètò metrology ìran tó ń bọ̀.
Lẹ́yìn Ṣíṣe Ẹ̀rọ: Ṣíṣe Ìgbéga Ìmọ̀ Ìwọ̀n
Ní ZHHIMG, a gba ìmọ̀ ọgbọ́n orí pé “tí o kò bá le wọ̀n ọ́n, o kò le ṣe é.” Ìgbàgbọ́ yìí ló ń darí àjọṣepọ̀ ìwádìí wa pẹ̀lú àwọn ilé-ẹ̀kọ́ bíi Stockholm University's Precision Engineering Lab àti Changchun Institute of Optics ti China. Papọ̀, a ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ọ̀nà ìwọ̀n tuntun tí ó rékọjá ìwádìí ìfọwọ́kàn ìbílẹ̀ láti ní interferometry optical àti computed tomography fún ìwádìí ìdààmú inú ti àwọn èròjà granite ńlá. Àṣeyọrí tuntun wa nínú lílo ìdánwò ultrasonic láti ṣe àfihàn àwọn ètò kristali inú ti dín ìwọ̀n ìkọ̀sílẹ̀ ohun èlò kù ní 37% nígbàtí ó ń mú àwọn àsọtẹ́lẹ̀ ìdúróṣinṣin ìgbà pípẹ́ sunwọ̀n síi.
Ìfẹ́ wa sí ìmọ̀ ìjìnlẹ̀ ìwọ̀n tó ń tẹ̀síwájú hàn nínú yàrá ìwádìí metrology wa tó ti pẹ́, èyí tó ní àyíká yàrá ìwẹ̀nùmọ́ class 100 tí a ṣe pàtó fún àkójọpọ̀ àwọn ohun èlò semiconductor. Níbí, a ń ṣe àfarawé àyíká iṣẹ́ àwọn oníbàárà wa láti rí i dájú pé àwọn ìpìlẹ̀ granite wa ń ṣe ìtọ́jú déédé ipele nanometer wọn lábẹ́ àwọn ipò iṣẹ́ gidi. Ìpele ìfaramọ́ yìí ti sọ wá di alábàáṣiṣẹpọ̀ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn àjọ láti Jet Propulsion Laboratory NASA sí àwọn ilé iṣẹ́ tó ń ṣe àgbékalẹ̀ quantum computing tó ń ṣe àtúnṣe àṣìṣe.
Kíkọ́ Ọjọ́ Ọ̀la: Ìdúróṣinṣin àti Ìṣẹ̀dá tuntun
Bí iṣẹ́ ṣíṣe kòríkòrí ṣe ń yípadà, bẹ́ẹ̀ náà ni ọ̀nà tí a gbà ń ṣe iṣẹ́ àgbékalẹ̀ tó ń pẹ́ títí ṣe ń yípadà. Ìwé ẹ̀rí ISO 14001 wa fi ìdúróṣinṣin wa hàn sí ìṣàkóso ohun èlò tó ní ẹ̀tọ́, títí kan àwọn ètò àtúnlo omi tó ń mú 95% ti ohun èlò ìtútù wa àti fífi agbára oòrùn síta tó ń san 28% àwọn àìní iná mànàmáná wa. A tún ti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ọ̀nà gígé wáyà dáyámọ́ǹdì tó ń dín ìdọ̀tí ohun èlò kù ní 40% ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ọ̀nà ìṣiṣẹ́ ìbílẹ̀—ìlọsíwájú pàtàkì kan ní ilé iṣẹ́ kan níbi tí owó ohun èlò aise dúró fún tó 35% ti ìnáwó iṣẹ́.
Ní wíwo iwájú, ẹgbẹ́ ìwádìí àti ìmọ̀ wa dojúkọ àwọn agbègbè mẹ́ta tó ń yí padà: sísopọ̀ àwọn nẹ́ẹ̀tìwọ́ọ̀kì sensọ̀ tààrà sínú àwọn ètò granite fún ìṣàyẹ̀wò ìlera ní àkókò gidi, ṣíṣẹ̀dá àwọn àkópọ̀ ìwọ̀n gradient tó ń mú kí àwọn ìpíndọ́gba líle-sí-ìwúwo sunwọ̀n síi, àti ṣíṣáájú àwọn ètò ìtọ́jú àsọtẹ́lẹ̀ tí AI ń darí fún àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ wa. Àwọn ìṣẹ̀dá tuntun wọ̀nyí kọ́ lórí ogún ìwé-àṣẹ àgbáyé wa, wọ́n sì ń gbé wa kalẹ̀ láti ṣètìlẹ́yìn fún ìran tuntun ti ìṣelọ́pọ́ semiconductor, pẹ̀lú àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ilana 2nm àti ju bẹ́ẹ̀ lọ.
Nínú ilé iṣẹ́ kan níbi tí ìṣeéṣe ti ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀, ZHHIMG ń tẹ̀síwájú láti ṣètò ìwọ̀n fún àwọn ohun èlò granite tí ó péye. Àpapọ̀ ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì ohun èlò wa, ìwọ̀n ìṣelọ́pọ́ (ẹ̀gbẹ̀rún méjìlá oṣù), àti ìṣàkóso dídára tí kò ní ìjákulẹ̀ ti fi wá hàn gẹ́gẹ́ bí alábàáṣiṣẹpọ̀ tí a yàn fún àwọn ilé iṣẹ́ tí ń tẹ̀síwájú nínú iṣẹ́ ṣíṣe. Bí àwọn olùpèsè semiconductor ṣe ń dojúkọ àwọn ìpèníjà ti àwọn nódù kékeré, àwọn ìwọ̀n gíga, àti àwọn ayàwòrán 3D tí ó díjú sí i, wọ́n lè gbẹ́kẹ̀lé àwọn ojútùú granite tí ó péye ti ZHHIMG láti pèsè ìpìlẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin tí a ó fi kọ́ ọjọ́ iwájú ìmọ̀ ẹ̀rọ lé lórí.
For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹ̀wàá-31-2025