Ni agbaye ti o ga julọ ti iṣelọpọ semikondokito, nibiti a ti wọn awọn paati ni awọn nanometers ati awọn ifarada iṣelọpọ beere pe konge microscopic, ipilẹ ti eyiti awọn imọ-ẹrọ wọnyi ti kọ di alaihan sibẹsibẹ ko ṣe pataki. Ni ZHHIMG, a ti lo awọn ewadun ni pipe aworan ati imọ-jinlẹ ti awọn paati giranaiti pipe-awọn akọni ti ko kọrin ti n mu awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju julọ lọwọ loni. Gẹgẹbi oludari agbaye ni awọn ipinnu giranaiti konge, a ni igberaga lati pin bi 3100kg/m³ iwuwo dudu granite ṣe n ṣe atuntu ohun ti o ṣee ṣe ni lithography semikondokito, awọn eto metrology, ati awọn iru ẹrọ iṣelọpọ ilọsiwaju ni kariaye.
Bedrock ti Modern konge: Kilode ti Granite?
Nigbati awọn aṣelọpọ semikondokito gbejade awọn eerun pẹlu imọ-ẹrọ node 3nm — nibiti awọn iwọn transistor sunmọ iwọn awọn ọta kọọkan — wọn gbẹkẹle ohun elo ti o gbọdọ ṣetọju iduroṣinṣin ni ipele atomiki. Eyi ni ibi ti awọn ohun-ini alailẹgbẹ granite ti di airọpo. Ko dabi awọn ohun elo irin ti o faagun pẹlu awọn iyipada iwọn otutu tabi awọn akojọpọ sintetiki ti ko ni iduroṣinṣin onisẹpo igba pipẹ, granite dudu ti ZHHIMG® ti ohun-ini wa nfunni ni ailagbara igbona alailẹgbẹ ati awọn agbara didimu gbigbọn. Pẹlu iwuwo ti 3100kg/m³—ni pataki ti o ga ju granite European boṣewa (ni deede 2600-2800kg/m³) - ohun elo wa n pese pẹpẹ iduro to gaju fun awọn eto iṣakoso išipopada deede.
Wo awọn italaya ti ultraviolet (EUV) lithography, nibiti awọn ọna ṣiṣe opiti gbọdọ ṣetọju titete sub-nanometer lori awọn wakati iṣẹ. Ipilẹ granite ti n ṣe atilẹyin awọn ọna ṣiṣe wọnyi gbọdọ koju paapaa awọn gbigbọn airi lati ohun elo ile-iṣẹ tabi awọn iyipada ayika. Olusọdipúpọ rirọ ti inu ohun elo wa n gba awọn akoko 10-15 diẹ sii agbara gbigbọn ju irin lọ, ni ibamu si idanwo afiwera ti a ṣe pẹlu Ile-iṣẹ Imọ-ara ti Orilẹ-ede (UK). Iyatọ iṣẹ ṣiṣe taara tumọ si awọn eso ti o ga julọ ati awọn oṣuwọn abawọn kekere ni iṣelọpọ semikondokito-anfani pataki ni ile-iṣẹ kan nibiti iṣẹju-aaya kan ti akoko idinku le jẹ ẹgbẹẹgbẹrun dọla.
Imọ-ẹrọ Didara: Lati Quarry si Kuatomu Leap
Ifaramo wa si konge bẹrẹ ni orisun. A ṣetọju iraye si iyasoto si awọn idogo giranaiti Ere ti a yan fun eto kita ila isokan ati iyatọ nkan ti o wa ni erupe ile kekere. Bulọọki kọọkan gba oṣu mẹfa ti akoko adayeba ṣaaju titẹ ile iṣelọpọ 200,000m² wa nitosi Jinan, ti o wa ni isunmọ pẹlu iraye si taara si Port Qingdao fun pinpin agbaye. Awọn agbara iṣelọpọ wa ko ni ibamu: pẹlu awọn ẹrọ lilọ Taiwanese Nan Teh mẹrin (ọkọọkan ju idoko-owo $ 500,000 lọ), a le ṣe ilana awọn paati ẹyọkan ti o ṣe iwọn to awọn toonu 100 pẹlu awọn iwọn ti o de 20m ni ipari - awọn agbara ti o fun wa laipẹ fun wa lati fi awọn ipele aṣa fun oludari ẹrọ olupese EUV ti o nbọ eto-iran.
Ọkàn ti iṣẹ wa wa ni 10,000m² otutu wa nigbagbogbo ati ohun elo ọriniinitutu, nibiti gbogbo oniyipada ayika ti ni iṣakoso daradara. Ilẹ-ilẹ nja lile-lile 1000mm-nipọn, ni idapo pẹlu 500mm-jakejado ipinya gbigbọn gbigbọn agbegbe agbegbe iṣelọpọ, ṣẹda agbegbe iduroṣinṣin nibiti awọn iyatọ iwọn otutu ti wa ni itọju laarin ± 0.5 ° C. Ipele yii ti iṣakoso ayika jẹ pataki nigbati iṣelọpọ awọn awo dada giranaiti pẹlu awọn ifarada fifẹ ni isalẹ 0.5μm lori awọn gigun 6000mm - awọn pato ti jẹri nipa lilo awọn interferometers laser Renishaw ati awọn iwọn konge Mahr, gbogbo calibrated si awọn iṣedede ile-iṣẹ metrology ti orilẹ-ede.
Ṣiṣeto Awọn Ilana Ile-iṣẹ: Awọn iwe-ẹri ati Ifaramo Didara
Gẹgẹbi olupilẹṣẹ giranaiti pipe nikan ti o ni idaduro ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001, ati awọn iwe-ẹri CE, a ti ṣeto awọn ipilẹ didara ti o ṣalaye ile-iṣẹ naa. Eto imulo didara wa — “Iṣowo pipe ko le ṣe ibeere pupọ” - ṣe itọsọna gbogbo abala ti iṣẹ wa, lati ayewo ohun elo aise si iwe-ẹri ipari. A ni pataki lọpọlọpọ ti eto idanwo Metrological wa, eyiti o pẹlu Germany Mahr micrometers (ipinnu 0.5μm), awọn profaili Mitutoyo, ati awọn ipele eletiriki Swiss WYLER, gbogbo wọn wa si Ile-ẹkọ giga ti Orilẹ-ede ti Ilu China ati ṣayẹwo nigbagbogbo nipasẹ awọn eto lafiwe kariaye pẹlu Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) ati National Institute of Standards and Technology.
Ọna aiṣedeede yii ti gba wa ni ajọṣepọ pẹlu awọn oludari ile-iṣẹ pẹlu GE, Samsung, ati awọn olupese ASML. Nigbati olupese ohun elo semikondokito pataki kan nilo awọn ipele gbigbe afẹfẹ granite aṣa fun awọn eto ayewo wafer 300mm wọn, agbara wa lati ṣe agbejade awọn apejọ ibusun deede 20,000 ni oṣooṣu ni idaniloju pe wọn pade akoko akoko rampu iṣelọpọ wọn. Bakanna, ifowosowopo wa pẹlu Ile-ẹkọ giga Imọ-ẹrọ Nanyang ti Ilu Singapore lori awọn akojọpọ granite ti a fi agbara mu okun erogba n titari awọn aala ti awọn ẹya konge iwuwo fẹẹrẹ fun awọn eto metrology iran ti nbọ.
Ni ikọja iṣelọpọ: Ilọsiwaju Imọ-jinlẹ ti Wiwọn
Ni ZHHIMG, a faramọ imoye pe "ti o ko ba le wọn, o ko le ṣe." Igbagbọ yii ṣe awakọ awọn ajọṣepọ iwadii ti nlọ lọwọ pẹlu awọn ile-iṣẹ bii Lab Imọ-iṣe Imọ-iṣe ti Ile-ẹkọ giga ti Ilu Stockholm ati Ile-ẹkọ giga ti Changchun ti Optics ti China. Papọ, a n ṣe agbekalẹ awọn ilana wiwọn tuntun ti o fa kọja iwadii tactile ibile lati pẹlu interferometry opiti ati iṣiro aworan fun itupalẹ wahala inu ti awọn paati giranaiti nla. Aṣeyọri aipẹ wa ni lilo idanwo ultrasonic lati ṣe maapu awọn ẹya kilikili ti inu ti dinku awọn oṣuwọn ijusile ohun elo nipasẹ 37% lakoko ti o ni ilọsiwaju awọn asọtẹlẹ iduroṣinṣin igba pipẹ.
Ifarabalẹ wa si imọ-jinlẹ wiwọn ilọsiwaju jẹ afihan ninu ile-iyẹwu metrology ti ipo-ti-aworan, eyiti o ṣe ẹya agbegbe ile mimọ kilasi 100 ti a ṣe apẹrẹ pataki fun apejọ paati ohun elo semikondokito. Nibi, a ṣe afiwe awọn agbegbe iṣelọpọ ti awọn alabara wa lati rii daju pe awọn ipilẹ granite wa ṣetọju iṣedede ipele nanometer wọn labẹ awọn ipo iṣẹ gangan. Ipele ifaramo yii ti jẹ ki a jẹ alabaṣepọ ti o ni igbẹkẹle fun awọn ajo ti o wa lati Ile-iyẹwu Jet Propulsion Laboratory NASA si awọn ibẹrẹ ṣiṣe iṣiro iṣiro-eti ti n dagbasoke awọn ọna ṣiṣe qubit atunṣe aṣiṣe.
Ilé ojo iwaju: Agbero ati Innovation
Bii iṣelọpọ deede ti n dagbasoke, bakanna ni ọna wa si iṣelọpọ alagbero. Iwe-ẹri ISO 14001 wa ṣe afihan ifaramo wa si iṣakoso awọn orisun lodidi, pẹlu awọn eto atunlo omi ti o mu ati tọju 95% ti itutu lilọ wa ati fifi sori agbara oorun ti o ṣe aiṣedeede 28% ti awọn iwulo itanna wa. A tun ti ṣe agbekalẹ awọn imuposi wiwa waya diamond ohun-ini ti o dinku egbin ohun elo nipasẹ 40% ni akawe si awọn ọna ṣiṣe ibile — ilosiwaju pataki ni ile-iṣẹ nibiti awọn idiyele ohun elo aise ṣe aṣoju to 35% ti awọn inawo iṣelọpọ.
Ni wiwa niwaju, ẹgbẹ R&D wa ni idojukọ lori awọn agbegbe iyipada mẹta: iṣakojọpọ awọn nẹtiwọọki sensọ taara sinu awọn ẹya granite fun ibojuwo ilera akoko gidi, idagbasoke awọn akopọ iwuwo gradient ti o mu awọn iwọn lile-si iwuwo pọ si, ati aṣáájú-ọnà AI-iwakọ awọn eto itọju asọtẹlẹ asọtẹlẹ fun ohun elo iṣelọpọ wa. Awọn imotuntun wọnyi kọ lori ohun-ini wa ti awọn iwe-aṣẹ kariaye 20 ati ipo wa lati ṣe atilẹyin iran atẹle ti iṣelọpọ semikondokito, pẹlu 2nm ati kọja awọn imọ-ẹrọ ilana.
Ninu ile-iṣẹ nibiti konge n ṣalaye iṣeeṣe, ZHHIMG tẹsiwaju lati ṣeto boṣewa fun awọn paati giranaiti pipe. Apapo wa ti imọ-jinlẹ ohun elo, iwọn iṣelọpọ (awọn iwọn oṣooṣu 20,000), ati iṣakoso didara aibikita ti fi idi wa mulẹ bi alabaṣepọ ti yiyan fun awọn ile-iṣẹ titari awọn aala ti iṣelọpọ ilọsiwaju. Bii awọn aṣelọpọ semikondokito koju awọn italaya ti awọn apa kekere, awọn iwuwo ti o ga julọ, ati awọn ile ayaworan 3D ti o nipọn diẹ sii, wọn le gbarale awọn ojutu granite pipe ti ZHHIMG lati pese ipilẹ iduroṣinṣin lori eyiti ọjọ iwaju ti imọ-ẹrọ yoo kọ.
For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-31-2025