Ilé iṣẹ́ semiconductor kárí ayé ń ṣe àṣeyọrí láìdáwọ́dúró ti “Ìgbà Angstrom,” níbi tí a ti ń wọn ìwọ̀n transistor ní ìwọ̀n àwọn átọ̀mù díẹ̀. Bí lithography àti àwọn irinṣẹ́ àyẹ̀wò ṣe ń yípadà sí àwọn ìwọ̀n kékeré wọ̀nyí, ìbéèrè fún ìdúróṣinṣin ìṣètò ti yípadà láti “macro” sí “nano.” Ní ọkàn ìyípadà yìí ni ohun èlò kan wà tí ó ti pẹ́ tó ti ilẹ̀ ayé fúnra rẹ̀: Precision Granite.
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ọ̀pọ̀ ènìyàn ń wo granite gẹ́gẹ́ bí òkúta lásán, ní ìbámu pẹ̀lúipele nanopositioningtàbí ètò àyẹ̀wò wafer oníyára gíga, ó jẹ́ seramiki ìmọ̀-ẹ̀rọ tó gbajúmọ̀. Lílóye ìyàtọ̀ láàárín àwọn irinṣẹ́ metrology ìpìlẹ̀ àti àwọn ìpele ìṣípo tó ti ní ìlọsíwájú ṣe pàtàkì fún àwọn OEM tí wọ́n ń wá láti tẹ̀síwájú àwọn ààlà ohun tó ṣeé ṣe nínú ṣíṣe silicon.
Àwo Ilẹ̀ Granite CMM àti Granite: Lílóye Ìyípadà Ìmọ̀-ẹ̀rọ
Nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé ìṣàyẹ̀wò dídára,Àwo Ilẹ̀ Granitejẹ́ ohun èlò tí ó wà ní gbogbo ibi—ìtọ́kasí tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, tí ó tẹ́jú fún ìwọ̀n ọwọ́. Síbẹ̀síbẹ̀, àìlóye kan wà tí ó wọ́pọ̀ pé àwo ojú ilẹ̀ àti ìpìlẹ̀ Granite CMM (Coordinate Measuring Machine) lè yípadà. Láti ojú ìwòye ìmọ̀ ẹ̀rọ, wọ́n dúró fún ìpele méjì tí ó yàtọ̀ síra ti ìṣòro.
A ṣe àwo ojú ilẹ̀ fún ìdúróṣinṣin tí kò dúró ṣinṣin. Iṣẹ́ pàtàkì rẹ̀ ni láti dúró ṣinṣin lábẹ́ ẹrù tí kò dúró ṣinṣin. Ní ìyàtọ̀ sí èyí, ìpìlẹ̀ granite fún CMM tàbí ìpele tí ó péye gbọ́dọ̀ gbé àwọn ẹrù tí ń yípadà. Bí afárá CMM ṣe ń gbéra tàbí mọ́tò linear kan ṣe ń mú kí ìpele wafer kan yára ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ Gs, granite náà kò gbọdọ̀ kojú títẹ̀ nìkan, ṣùgbọ́n pẹ̀lú ìyípadà àti ìdàpọ̀ harmonic.
Àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ ZHHIMG yan “Black Granite” pàtó fún àwọn ohun èlò tó ń ṣiṣẹ́ dáadáa nítorí pé ó ní ìwọ̀n tó ga jù àti pé ó ní ìrísí ọkà tó wúwo jù. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwo ojú ilẹ̀ tó wọ́pọ̀ lè lo oríṣiríṣi tó ní ihò díẹ̀, ìpìlẹ̀ CMM nílò Young's Modulus tó ga jùlọ láti rí i dájú pé “ìdènà” ìṣíkiri iyara gíga kò túmọ̀ sí ìró ìṣètò tó máa ba ìwífún ìwọ̀n jẹ́.
Awọn Ipele Pataki ninu Iṣelọpọ Semiconductor: Ipilẹ ti Iṣẹ́jade
Nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor, throughput àti èrè ni àwọn ìwọ̀n méjì tó ṣe pàtàkì jùlọ. Àwọn méjèèjì sinmi lórí iṣẹ́awọn ipele deedeeYálà ó jẹ́ ìpele wafer nínú ẹ̀rọ lithography DUV/EUV tàbí ètò ìdúró nínú ohun èlò Ayẹwo Optical Automated (AOI), ohun èlò ìpìlẹ̀ gbọ́dọ̀ mú kí a lè tún sub-nanometer ṣe.
Ìpèníjà pàtàkì nínú fab ni ooru. Àwọn mọ́tò onílà àti àwọn actuator máa ń mú agbára ooru tó ṣe pàtàkì jáde. Tí a bá fi aluminiomu tàbí irin ṣe ìpìlẹ̀ ìpele náà, ìfàsẹ́yìn ooru tó ń jáde yóò mú kí wafer náà kúrò ní ìtòlẹ́sẹẹsẹ, èyí tó máa ń yọrí sí “àṣìṣe ìbòrí” tó máa ń ba gbogbo àwọn chips jẹ́.
Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí Granite ní kò pọ̀ rárá (CTE) mú kí ó dá wa lójú pé bí àwọn mọ́tò bá ń gbóná, “àwòrán” ìpele náà kò yí padà. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, ZHHIMG pèsè àwọn èròjà granite tí a ṣe àdáni pẹ̀lú àwọn ọ̀nà ìfàsẹ́yìn afẹ́fẹ́ tí a ti so pọ̀. Nítorí pé a lè fi granite sí ibi tí ó tẹ́jú bíi dígí, ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ojú tí ó dára fún àwọn ìpele afẹ́fẹ́, èyí tí ó ń jẹ́ kí àwọn ìpele “lèfó” lórí fíìmù afẹ́fẹ́ tín-ín-rín tí kò ní ìfọ́jú àti ìdènà òdo.
Fisiksi ti ipilẹ ipele Nanopositioning
Nígbà tí a bá wọ inú agbègbè ìfẹ́ipele nanopositioning, a n koju awọn gbigbe ti o kere ju irun eniyan lọ nipasẹ ifosiwewe 10,000. Ni ipele yii, gbigbọn ni ọta. Awọn ilẹ ile-iṣẹ deede n mì nigbagbogbo nitori awọn eto HVAC, ijabọ ẹsẹ, ati awọn ẹrọ nitosi.
Granite n ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àlẹ̀mọ́ kékeré tó lágbára. Nítorí ìwọ̀n rẹ̀ tó ga àti ìdarí inú rẹ̀ tó ga, ó máa ń gba àwọn ìgbì gbígbóná gíga kí wọ́n tó lè dé ọ̀dọ̀ àwọn sensọ̀ tó ní ìmọ̀lára tàbí wafer fúnra rẹ̀. “Ìyàsọ́tọ̀ aláìlọ́wọ́” yìí ni ìdí tí àwọn olùpèsè lithography tó gbajúmọ̀ ní àgbáyé fi gbẹ́kẹ̀lé ZHHIMG láti pèsè àwọn ìpìlẹ̀ tó lágbára, tó dúró ṣinṣin fún àwọn ìpele ìfaramọ́ wọn. A ṣe àkóso granite wa ní pàtàkì láti rí i dájú pé kò sí ìjákulẹ̀, èyí sì mú kí ó dára fún àwọn àyíká onígbà gíga tí a nílò fún electron-beam àti EUV.
Lílọ sí Ààlà: Àǹfààní ZHHIMG
Ìyípadà láti ibi tí a ti fi òkúta ṣe sí ibi tí a ti fi semiconductor ṣe ìyípadà jẹ́ ìrìn àjò sùúrù gidigidi. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìfọ́ CNC ń mú wa sún mọ́ ara wa, ìpele “Super-Precision” ìkẹyìn ni a ń ṣe nípasẹ̀ fífi ọwọ́ gbá nǹkan. Èyí jẹ́ ìlànà kan níbi tí àwọn onímọ̀-ẹ̀rọ ZHHIMG ti ń lo àwọn ìpara abrasive àti ìṣípo ọwọ́ láti gé àwọn ìpín micron kan ní àkókò kan.
Fúnipele nanopositioning, fífẹ̀ kìí ṣe ohun tí a nílò nìkan; ìbáramu àti ìdúróṣinṣin àwọn ojú ìtọ́sọ́nà náà ṣe pàtàkì bákan náà. Ilé iṣẹ́ wa ń lo àwọn ohun èlò ìtọ́sọ́nà lésà àti àwọn ìpele ẹ̀rọ itanna pẹ̀lú àwọn ìpinnu ti 0.1 arc-seconds láti rí i dájú pé gbogbo axis bá ara wọn mu dáadáa. Ìpele iṣẹ́ ọwọ́ yìí ń rí i dájú pé nígbà tí oníbàárà bá gbé àwọn mọ́tò àti àwọn ohun èlò ìkọ̀wé wọn, ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ náà sún mọ́ “pípé” bí ìmọ̀-ẹ̀rọ fisiksi ṣe gbà láàyè.
Ṣíṣe àyẹ̀wò ọjọ́ iwájú fún Fab
Bí ilé iṣẹ́ náà ṣe ń lọ sí àwọn nódù 2nm àti jù bẹ́ẹ̀ lọ, àwọn ohun tí a nílò fún ìwẹ̀nùmọ́ ohun èlò àti ìdúróṣinṣin oníwọ̀n yóò túbọ̀ pọ̀ sí i. Ìṣọ̀kan granite pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìtẹ̀síwájú mìíràn—bíi àwọn afárá carbon fiber tàbí àwọn ohun èlò ìpalẹ̀mọ́ seramiki—ni ààlà tó tẹ̀lé nínú ìṣàkóso ìṣípo.
ZHHIMG ṣì jẹ́ olùpèsè ju olùpèsè lásán lọ; a jẹ́ alábáṣiṣẹpọ̀ nínú ẹ̀wọ̀n ìpèsè semiconductor kárí ayé. Nípa pípèsè àwọn ìpìlẹ̀ tó dúró ṣinṣin tí a nílò fún ìran tó ń bọ̀ ti àwọn ìpele pípéye, a ń ran lọ́wọ́ láti kọ́ àwọn ẹ̀rọ tí yóò kọ́ ọjọ́ iwájú.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Feb-02-2026