Granite jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ohun èlò tó wúlò jùlọ nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor. Àwọn ànímọ́ rẹ̀ tó yàtọ̀ mú kí ó jẹ́ àṣàyàn tó dára fún onírúurú ohun èlò. A máa ń lo àwọn èròjà granite nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor nítorí pé wọ́n lágbára, wọ́n dúró ṣinṣin, wọ́n sì péye. Nínú àpilẹ̀kọ yìí, a ó jíròrò àwọn ibi tí a ti ń lo àwọn èròjà granite nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor.
Ọ̀kan lára àwọn ohun èlò pàtàkì tí a fi ń ṣe àwọn èròjà granite nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor ni nínú ṣíṣe wafer. Ṣíṣe wafer ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbésẹ̀, títí kan ìwẹ̀nùmọ́ àti fífi ewéko síta. A ń lo àwọn èròjà granite nínú àwọn iṣẹ́ wọ̀nyí nítorí agbára wọn láti kojú kẹ́míkà gíga. Wọ́n tún tẹ́ẹ́rẹ́ gan-an, èyí tí ó mú kí wọ́n dára fún lílò nínú ṣíṣe wafer nítorí wọ́n ń pèsè ojú ilẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin fún àwọn wafer láti sinmi lé.
Ní àfikún sí ṣíṣe wafer, a tún lo àwọn èròjà granite nínú lithography. Lithography ní í ṣe pẹ̀lú fífi àwòrán sí orí wafer nípa lílo ìmọ́lẹ̀. A ń lo àwọn èròjà granite nínú ìlànà yìí nítorí ìdúróṣinṣin àti ìṣedéédé wọn. Wọ́n ń pèsè ìpìlẹ̀ tó dúró ṣinṣin fún wafer náà, wọ́n sì tún ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé a fi àwòrán náà sí orí wafer náà dáadáa.
Lílo àwọn èròjà granite mìíràn nínú iṣẹ́-ṣíṣe semiconductor ni nínú ìmọ̀-ẹ̀rọ. Ìlànà-ẹ̀rọ (Metrology) ní wíwọ̀n onírúurú pàrámítà bíi sísanra àti ìtòlẹ́sẹẹsẹ. A ń lo àwọn èròjà granite nínú ìmọ̀-ẹ̀rọ nítorí pé wọ́n péye. Wọ́n tún dúró ṣinṣin gidigidi, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé àwọn ìwọ̀n tí a ṣe péye àti pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
A tun lo awọn eroja granite ninu awọn eto vacuum. Awọn eto vacuum ni a lo ninu iṣelọpọ semiconductor lati ṣẹda agbegbe iṣakoso fun awọn ilana oriṣiriṣi. Awọn paati granite ni a lo ninu awọn eto wọnyi nitori iduroṣinṣin vacuum giga wọn. Wọn tun lagbara pupọ eyiti o jẹ ki wọn dara julọ fun lilo ninu awọn ohun elo vacuum.
Níkẹyìn, a tún ń lo àwọn èròjà granite nínú àwọn ohun èlò bíi àyẹ̀wò wafer àti àwọn ètò ìdánwò. Àwọn ètò wọ̀nyí ni a ń lò láti ṣàyẹ̀wò dídára àwọn wafer àti láti rí i dájú pé wọ́n bá àwọn ìlànà tí a béèrè mu. A ń lo àwọn èròjà granite nínú àwọn ètò wọ̀nyí nítorí ìdúróṣinṣin àti ìṣedéédé wọn. Wọ́n ń pèsè ìpìlẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin fún àwọn wafer tí ó ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé àyẹ̀wò náà péye.
Ní ìparí, àwọn èròjà granite ṣe pàtàkì nínú àwọn ọjà ìṣẹ̀dá semiconductor. Wọ́n pẹ́, wọ́n dúró ṣinṣin, wọ́n sì péye, èyí tó mú kí wọ́n dára fún lílò nínú onírúurú ìlò. Àwọn ohun èlò wọ̀nyí ní ṣíṣe wafer processing, lithography, metrology, vacuum systems, àti àwọn ohun èlò bíi wafer inspecting àti testing systems. Lílo àwọn èròjà granite kìí ṣe pé ó ń rí i dájú pé dídára ọjà ìkẹyìn ga nìkan, ó tún ń rí i dájú pé iṣẹ́ ṣíṣe náà lọ dáadáa àti pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-05-2023