Àwọn èròjà granite ni a ń lò fún iṣẹ́ ṣíṣe àwọn paneli LCD. Àwọn èròjà wọ̀nyí ní oríṣiríṣi ohun ìní tí ó mú kí wọ́n dára fún lílò nínú àwọn ẹ̀rọ tí ń ṣe àwọn paneli LCD. Wọ́n mọ̀ wọ́n fún ìdúróṣinṣin gíga wọn, agbára ìṣiṣẹ́ ooru tí ó dára jùlọ, àti ìfẹ̀sí ooru tí ó kéré. Àpapọ̀ àwọn ànímọ́ yìí mú kí wọ́n jẹ́ ohun èlò pípé fún onírúurú ohun èlò bíi metrology, production wafer, àti lithography.
Ọ̀kan lára àwọn agbègbè pàtàkì tí a lè lò fún àwọn èròjà granite ni ṣíṣe àwọn irinṣẹ́ metrology. Àwọn irinṣẹ́ wọ̀nyí ni a ń lò láti wọn ìwọ̀n àwọn páálí náà, bí ojú ilẹ̀ náà ṣe le tó, àti bí wọ́n ṣe tóbi tó. Granite ní ìdúróṣinṣin tó dára, èyí sì ṣe pàtàkì fún àwọn irinṣẹ́ metrology nítorí wọ́n nílò láti dúró ṣinṣin láti ṣe àwọn ìwọ̀n tó péye. Èyí ṣe pàtàkì ní pàtàkì nínú iṣẹ́ páálí LCD nítorí pé àwọn ìyàtọ̀ díẹ̀ nínú sísanra tàbí ìwọ̀n lè ní ipa lórí iṣẹ́ ọjà ìkẹyìn. Nítorí náà, a ń lo àwọn èròjà granite nínú iṣẹ́ páálí metrology láti rí i dájú pé ó péye àti pé ó péye jùlọ.
Agbègbè mìíràn tí a lè lò fún àwọn èròjà granite ni iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ tí a ń lò láti ṣe àwọn wáfárì silicon. Àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ṣe pàtàkì nínú iṣẹ́ àwọn páànẹ́lì LCD, wọ́n sì gbọ́dọ̀ jẹ́ pípéye àti ìdúróṣinṣin. Granite ní ìdúróṣinṣin àti ìdúróṣinṣin tó dára, èyí tó mú kí ó jẹ́ àṣàyàn ohun èlò tó dára jùlọ fún irú àwọn ẹ̀rọ bẹ́ẹ̀. Ní àfikún, àwọn èròjà granite kò lè gbilẹ̀ rárá, èyí tó jẹ́ kókó pàtàkì mìíràn nínú iṣẹ́ àwọn wáfárì silicon.
Nínú ìlànà lithography, a máa ń lo àwọn èròjà granite gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ fún àwọn tábìlì optical tí ó ṣe pàtàkì nínú ìlànà yìí. Àwọn tábìlì optical gbọ́dọ̀ dúró ṣinṣin gidigidi, àwọn èròjà granite sì ní ohun ìní yìí, èyí tí ó ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé ó péye nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́. Jù bẹ́ẹ̀ lọ, a tún ń lo àwọn èròjà granite nínú ìṣelọ́pọ́ àwọn ẹ̀rọ stepper. Àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ni a ń lò láti fi fíìmù photoresist hàn lórí àwọn wafer silicon nípa lílo ìmọ́lẹ̀ ultraviolet líle. Ìfẹ̀sí ooru tí kò pọ̀ tó ti granite mú kí ó jẹ́ ohun èlò tí ó dára láti pa ìṣelọ́pọ́ àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí mọ́.
Níkẹyìn, a máa ń lo àwọn èròjà granite nínú iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ àyẹ̀wò, èyí tí ó ṣe pàtàkì láti rí àbùkù èyíkéyìí lórí àwọn wafer silicon. Àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí máa ń lo ìmọ́lẹ̀ gíga láti rí àbùkù èyíkéyìí lórí ilẹ̀ wafer náà. Àwọn èròjà granite náà máa ń ran lọ́wọ́ láti rí i dájú pé ẹ̀rọ àyẹ̀wò náà dúró ṣinṣin àti láti dènà àṣìṣe èyíkéyìí nínú iṣẹ́ àyẹ̀wò náà.
Ní ìparí, àwọn agbègbè ìlò àwọn èròjà granite fún àwọn ẹ̀rọ tí a lò nínú iṣẹ́ ṣíṣe àwọn paneli LCD pọ̀ gan-an, wọ́n sì yàtọ̀ síra. Àwọn ànímọ́ àrà ọ̀tọ̀ tí ohun èlò náà ní mú kí ó dára fún lílò nínú metrology, production wafer, lithography, àti àwọn ẹ̀rọ àyẹ̀wò. Lílo àwọn èròjà granite nínú àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí ń rí i dájú pé iṣẹ́ ṣíṣe náà péye àti pé ó gbéṣẹ́, èyí sì ń yọrí sí ṣíṣe àwọn paneli LCD tó dára. Nítorí náà, àwọn olùṣelọpọ gbọ́dọ̀ máa lo àwọn èròjà granite nínú àwọn ẹ̀rọ wọn láti máa mú kí àwọn ọjà wọn dára síi.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù kọkànlá-29-2023