Ninu ilana ti ile-iṣẹ semikondokito gbigbe si ọna awọn ilana iṣelọpọ nanoscale, gige wafer, bi ọna asopọ bọtini ni iṣelọpọ ërún, ni awọn ibeere ti o muna pupọ fun iduroṣinṣin ohun elo. Ipilẹ granite, pẹlu idiwọ gbigbọn iyalẹnu rẹ ati iduroṣinṣin igbona, ti di paati pataki ti ohun elo gige wafer, pese iṣeduro ti o gbẹkẹle fun iyọrisi pipe-giga ati sisẹ wafer ti o ga julọ.
Damping giga ati awọn abuda gbigbọn: Idabobo iṣedede gige ipele nano
Nigbati ohun elo gige wafer ba n ṣiṣẹ, yiyi iyara to gaju ti spindle, gbigbọn igbohunsafẹfẹ giga ti ohun elo gige, ati gbigbọn ayika ti ipilẹṣẹ nipasẹ ohun elo agbegbe yoo ni ipa pataki lori deede gige. Awọn iṣẹ damping ti awọn ipilẹ irin ibile ti wa ni opin, ti o jẹ ki o ṣoro lati ṣe afẹfẹ awọn gbigbọn ni kiakia, eyiti o nyorisi micron-ipele jitter ti awọn irinṣẹ gige ati taara fa awọn abawọn gẹgẹbi awọn egbegbe chipped ati awọn dojuijako lori awọn wafers. Awọn abuda didimu giga ti ipilẹ granite ti yanju iṣoro yii ni ipilẹ.
Awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile ti giranaiti ti wa ni isunmọ ni pẹkipẹki, ti o n ṣe ilana ipadanu agbara adayeba. Nigbati gbigbọn ba ti gbejade si ipilẹ, microstructure inu rẹ le ṣe iyipada agbara gbigbọn ni kiakia sinu agbara gbona, iyọrisi gbigbọn gbigbọn daradara. Awọn data idanwo fihan pe labẹ agbegbe gbigbọn kanna, ipilẹ granite le dinku iwọn gbigbọn nipasẹ diẹ sii ju 90% laarin awọn aaya 0.5, lakoko ti ipilẹ irin nilo 3 si 5 awọn aaya. Iṣẹ ṣiṣe riru to dayato si ṣe idaniloju pe ohun elo gige naa duro ni iduroṣinṣin lakoko ilana gige nanoscale, ṣe iṣeduro eti didan ti gige wafer ati idinku iwọn gige ni imunadoko. Fun apẹẹrẹ, ninu ilana gige wafer 5nm, ohun elo pẹlu ipilẹ granite le ṣakoso iwọn chipping laarin 10μm, eyiti o ju 40% ga ju ti ẹrọ pẹlu ipilẹ irin.
olùsọdipúpọ-kekere ti imugboroosi gbona: Sooro si ipa ti awọn iwọn otutu
Lakoko ilana gige wafer, ooru ti ipilẹṣẹ nipasẹ ijakadi ti awọn irinṣẹ gige, itusilẹ ooru lati iṣẹ ṣiṣe igba pipẹ ti ohun elo, ati awọn iyipada ninu iwọn otutu agbegbe idanileko le fa gbogbo awọn abuku gbona ti awọn paati ohun elo. Olusọdipúpọ ti imugboroja igbona ti awọn ohun elo ti fadaka jẹ iwọn giga (isunmọ 12 × 10⁻⁶ / ℃). Nigbati iwọn otutu ba yipada nipasẹ 5 ℃, ipilẹ irin-mita-mita kan le faragba abuku ti 60μm, nfa ipo gige lati yipada ati ni ipa lori deede gige.
Olusọdipúpọ ti imugboroja gbona ti ipilẹ granite jẹ nikan (4-8) ×10⁻⁶/℃, eyiti o kere ju idamẹta ti awọn ohun elo irin. Labẹ iyipada iwọn otutu kanna, iyipada onisẹpo rẹ le fẹrẹ gbagbe. Awọn data wiwọn ti ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito kan fihan pe lakoko iṣẹ gige gige kikankikan giga-wakati 8 kan, nigbati iwọn otutu ibaramu n yipada nipasẹ 10 ℃, aiṣedeede ipo gige ti ohun elo pẹlu ipilẹ giranaiti ko kere ju 20μm, lakoko ti ohun elo pẹlu ipilẹ irin ju 60μm lọ. Išẹ igbona iduroṣinṣin yii ṣe idaniloju pe ipo ibatan laarin ọpa gige ati wafer wa ni deede ni gbogbo igba. Paapaa labẹ iṣẹ lilọsiwaju igba pipẹ tabi awọn ayipada to buruju ni iwọn otutu ayika, aitasera ti deede gige le jẹ itọju.
Rigidity ati resistance resistance: Rii daju iṣẹ iduroṣinṣin igba pipẹ ti ẹrọ naa
Ni afikun si awọn anfani ti gbigbọn gbigbọn ati iduroṣinṣin igbona, rigidity giga ati resistance resistance ti ipilẹ granite siwaju sii mu igbẹkẹle ti ẹrọ gige gige wafer. Granite ni líle ti 6 si 7 lori iwọn Mohs ati agbara titẹkuro ti o kọja 120MPa. O le ṣe idiwọ titẹ nla ati ipa ipa lakoko ilana gige ati pe ko ni itara si abuku. Nibayi, igbekalẹ ipon rẹ fun u ni atako yiya to dara julọ. Paapaa lakoko awọn iṣẹ gige loorekoore, dada ti ipilẹ ko ni itara lati wọ, ni idaniloju pe ohun elo n ṣetọju iṣẹ ṣiṣe to gaju fun igba pipẹ.
Ni awọn ohun elo iṣe, ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ wafer ti ni ilọsiwaju ikore ọja ni pataki ati ṣiṣe iṣelọpọ nipasẹ gbigbe ohun elo gige pẹlu awọn ipilẹ giranaiti. Awọn data lati ile ipilẹ ti o ni agbaye fihan pe lẹhin iṣafihan ohun elo ipilẹ granite, ikore gige wafer ti pọ si lati 88% si ju 95%, ọmọ itọju ohun elo ti ni ilọsiwaju nipasẹ awọn igba mẹta, ni imunadoko idinku awọn idiyele iṣelọpọ ati imudara ifigagbaga ọja.
Ni ipari, ipilẹ granite, pẹlu resistance gbigbọn ti o dara julọ, iduroṣinṣin gbona, rigidity giga ati resistance resistance, pese awọn iṣeduro iṣẹ ṣiṣe okeerẹ fun ohun elo gige wafer. Bi imọ-ẹrọ semikondokito ti nlọsiwaju si ọna pipe ti o ga julọ, awọn ipilẹ granite yoo ṣe ipa pataki diẹ sii ni aaye iṣelọpọ wafer, igbega idagbasoke ilọsiwaju imotuntun ti ile-iṣẹ semikondokito.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-20-2025