Àwọn àǹfààní àwọn ìpìlẹ̀ granite ní ti ìdènà gbígbóná àti ìdúróṣinṣin ooru nínú ohun èlò ìgé wafer.

Nínú ìlànà iṣẹ́ semiconductor tí ń lọ sí àwọn ìlànà iṣẹ́ nanoscale, gígé wafer, gẹ́gẹ́ bí ọ̀nà pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe chip, ní àwọn ohun tí ó pọndandan gidigidi fún ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ. Ìpìlẹ̀ granite, pẹ̀lú ìdènà gbígbóná rẹ̀ tí ó tayọ àti ìdúróṣinṣin ooru, ti di apá pàtàkì nínú ẹ̀rọ gígé wafer, èyí tí ó ń pèsè ìdánilójú tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún ṣíṣe àṣeyọrí iṣẹ́ wafer tí ó péye àti tí ó dára jùlọ.

Awọn abuda fifẹ giga ati idena gbigbọn: Idaabobo deede gige ipele nano
Nígbà tí ẹ̀rọ ìgé wafer bá ń ṣiṣẹ́, yíyípo iyara gíga ti spindle, ìgbóná ìgbàlódé gíga ti irinṣẹ́ ìgé, àti ìgbóná àyíká tí àwọn ẹ̀rọ tí ó yí i ká ń mú wá yóò ní ipa pàtàkì lórí ìpéye ìgé náà. Iṣẹ́ ìdènà ti àwọn ìpìlẹ̀ irin ìbílẹ̀ ní ààlà, èyí tí ó mú kí ó ṣòro láti dín ìgbóná náà kù kíákíá, èyí tí ó ń yọrí sí ìjókòó micron-level ti àwọn irinṣẹ́ ìgé, ó sì ń fa àbùkù ní tààràtà bí àwọn etí tí ó gé àti ìfọ́ lórí àwọn wafers. Àwọn ànímọ́ ìdènà gíga ti ìpìlẹ̀ granite ti yanjú ìṣòro yìí ní pàtàkì.
Àwọn kirisita ohun alumọ́ọ́nì inú ti granite ni a so pọ̀ mọ́ra, tí wọ́n ń ṣe ètò ìtújáde agbára àdánidá. Nígbà tí ìtújáde bá dé ìpìlẹ̀, ìpìlẹ̀ kékeré inú rẹ̀ lè yí agbára ìtújáde padà sí agbára ooru kíákíá, kí ó sì ṣe àṣeyọrí ìdínkù ìtújáde tí ó munadoko. Àwọn ìwádìí ìwádìí fihàn pé lábẹ́ àyíká ìtújáde kan náà, ìpìlẹ̀ granite lè dín ìtóbi ìtújáde náà kù ní ohun tí ó ju 90% lọ láàrín ìṣẹ́jú-àáyá 0.5, nígbà tí ìpìlẹ̀ irin náà nílò ìṣẹ́jú-àáyá 3 sí 5. Iṣẹ́ ìtújáde tí ó tayọ yìí ń rí i dájú pé ohun èlò ìtújáde náà dúró ṣinṣin nígbà tí a bá ń gé nanoscale, ó ń rí i dájú pé etí ìtújáde wafer náà rọrùn, ó sì ń dín ìwọ̀n ìtújáde náà kù dáadáa. Fún àpẹẹrẹ, nínú ilana ìtújáde wafer 5nm, ohun èlò tí ó ní ìpìlẹ̀ granite lè ṣàkóso ìwọ̀n ìtújáde náà láàrín 10μm, èyí tí ó ju 40% lọ ju ti ohun èlò tí ó ní ìpìlẹ̀ irin lọ.
Ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré gan-an: Ó ń kojú ipa àwọn ìyípadà iwọn otutu
Nígbà tí a bá ń gé wafer, ooru tí ìfọ́pọ̀ àwọn irinṣẹ́ gígé ń mú wá, ìtújáde ooru láti inú iṣẹ́ ìgbà pípẹ́ ti ẹ̀rọ náà, àti ìyípadà nínú ìwọ̀n otútù àyíká ibi iṣẹ́ lè fa ìyípadà ooru ti àwọn ẹ̀yà ẹ̀rọ náà. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti àwọn ohun èlò irin ga díẹ̀ (tó tó 12×10⁻⁶/℃). Nígbà tí ìwọ̀n otútù bá yípadà ní 5℃, ìpìlẹ̀ irin tí ó gùn ní mítà 1 lè ní ìyípadà ti 60μm, èyí tí yóò mú kí ipò gígé náà yípadà tí yóò sì ní ipa lórí ìpéye gígé náà gidigidi.
Iye ìfàsẹ́yìn ooru ti ipilẹ granite jẹ́ (4-8) ×10⁻⁶/℃ nìkan, èyí tí ó kéré sí ìdá mẹ́ta ti àwọn ohun èlò irin. Lábẹ́ ìyípadà iwọn otutu kan náà, a lè fojú fo ìyípadà iwọn rẹ̀. Àwọn ìwádìí tí a wọ̀n láti ọ̀dọ̀ ilé-iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ semiconductor kan fihàn pé nígbà iṣẹ́ gígé wafer oníná gíga fún wákàtí mẹ́jọ, nígbà tí iwọn otutu àyíká bá yípadà ní 10℃, ìyípadà ipò gígé ti ohun èlò pẹ̀lú ipilẹ granite kéré sí 20μm, nígbà tí ti ohun èlò pẹ̀lú ipilẹ irin ju 60μm lọ. Iṣẹ́ ooru tí ó dúró ṣinṣin yìí ń rí i dájú pé ipò ìbátan láàárín ohun èlò gígé àti wafer náà dúró ṣinṣin ní gbogbo ìgbà. Kódà lábẹ́ iṣẹ́ pípẹ́ tàbí ìyípadà ńlá nínú iwọn otutu àyíká, a lè pa ìdúróṣinṣin ti ìpéye gígé mọ́.
Líle àti ìdènà ìfàsẹ́yìn: Rí i dájú pé ohun èlò náà ṣiṣẹ́ dáadáa fún ìgbà pípẹ́
Ní àfikún sí àwọn àǹfààní ti ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ àti ìdúróṣinṣin ooru, ìdúróṣinṣin gíga àti ìdènà ìfàmọ́ra ti ìpìlẹ̀ granite tún mú kí ìgbẹ́kẹ̀lé àwọn ohun èlò ìgé wafer pọ̀ sí i. Granite ní líle ti 6 sí 7 lórí ìwọ̀n Mohs àti agbára ìfúnpọ̀ tí ó ju 120MPa lọ. Ó lè fara da ìfúnpọ̀ àti agbára ìkọlù ńlá nígbà tí a bá ń gé e, kò sì ní ìyípadà. Ní àkókò kan náà, ìṣètò rẹ̀ tí ó nípọn fún un ní ìdènà ìfàmọ́ra tí ó tayọ. Kódà nígbà tí a bá ń gé e nígbà gbogbo, ojú ìpìlẹ̀ náà kò ní ìfàmọ́ra, èyí tí ó ń rí i dájú pé ohun èlò náà ń ṣiṣẹ́ dáadáa fún ìgbà pípẹ́.
Nínú àwọn ohun èlò tó wúlò, ọ̀pọ̀ ilé iṣẹ́ ṣíṣe wafer ti mú kí iṣẹ́ ọjà àti iṣẹ́ ṣíṣe rẹ̀ sunwọ̀n síi nípa lílo ohun èlò gígé pẹ̀lú àwọn ìpìlẹ̀ granite. Àwọn ìwádìí láti ilé iṣẹ́ tó gbajúmọ̀ kárí ayé fihàn pé lẹ́yìn tí wọ́n ti ṣe àgbékalẹ̀ ohun èlò gígé granite, iṣẹ́ gígé wafer ti pọ̀ sí i láti 88% sí ju 95% lọ, wọ́n ti mú kí iṣẹ́ ìtọ́jú ohun èlò náà pọ̀ sí i ní ìgbà mẹ́ta, èyí tó dín iye owó iṣẹ́ náà kù, tó sì mú kí ìdíje ọjà pọ̀ sí i.
Ní ìparí, ìpìlẹ̀ granite, pẹ̀lú agbára ìgbóná rẹ̀ tó dára, ìdúróṣinṣin ooru, ìdúróṣinṣin gíga àti agbára ìfaradà ìfàmọ́ra, ń fúnni ní ìdánilójú iṣẹ́ tó péye fún àwọn ohun èlò ìgé wafer. Bí ìmọ̀ ẹ̀rọ semiconductor ṣe ń tẹ̀síwájú sí ìṣe deedee tó ga, àwọn ìpìlẹ̀ granite yóò kó ipa pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer, èyí tí yóò máa gbé ìdàgbàsókè tuntun ti ilé iṣẹ́ semiconductor lárugẹ.