1. Onisẹpo deede
Fifẹ: fifẹ ti dada ti ipilẹ yẹ ki o de ipele ti o ga pupọ, ati pe aṣiṣe alapin ko yẹ ki o kọja ± 0.5μm ni eyikeyi agbegbe 100mm × 100mm; Fun gbogbo ọkọ ofurufu mimọ, aṣiṣe alapin jẹ iṣakoso laarin ± 1μm. Eyi ni idaniloju pe awọn paati bọtini ti ohun elo semikondokito, gẹgẹbi ori ifihan ti ohun elo lithography ati tabili iwadii ti ohun elo wiwa chirún, le fi sii ni iduroṣinṣin ati ṣiṣẹ lori ọkọ ofurufu giga-giga, rii daju pe deede ti ọna opopona ati asopọ iyika ti ohun elo, ati yago fun iyapa gbigbe ti awọn paati ti o fa nipasẹ ọkọ ofurufu aiṣedeede ti ipilẹ, eyiti o ni ipa lori iṣelọpọ ati iṣelọpọ semikondu.
Titọ: Titọ ti eti kọọkan ti ipilẹ jẹ pataki. Ni itọsọna ti ipari, aṣiṣe taara kii yoo kọja ± 1μm fun 1m; Aṣiṣe taara diagonal jẹ iṣakoso laarin ± 1.5μm. Mu ẹrọ lithography ti o ga-giga bi apẹẹrẹ, nigbati tabili ba n gbe lẹba iṣinipopada itọsọna ti ipilẹ, taara ti eti ti ipilẹ taara ni ipa lori deede itọpa ti tabili. Ti o ba ti ni gígùn ni ko soke to bošewa, lithography Àpẹẹrẹ yoo wa ni daru ati dibajẹ, Abajade ni idinku ti awọn ërún ẹrọ ikore.
Parallelism: Aṣiṣe parallelism ti awọn ipele oke ati isalẹ ti ipilẹ yẹ ki o wa ni iṣakoso laarin ± 1μm. Ti o dara parallelism le rii daju awọn iduroṣinṣin ti awọn ìwò aarin ti walẹ lẹhin ti awọn fifi sori ẹrọ ti awọn ẹrọ, ati awọn agbara ti kọọkan paati jẹ aṣọ. Ninu ohun elo iṣelọpọ wafer semikondokito, ti awọn ipele oke ati isalẹ ti ipilẹ ko ba ni afiwe, wafer yoo tẹ lakoko sisẹ, ni ipa iṣọkan ilana bii etching ati ibora, ati nitorinaa ni ipa lori aitasera iṣẹ ṣiṣe chirún.
Keji, awọn abuda ohun elo
Lile: Lile ti ohun elo ipilẹ giranaiti yẹ ki o de líle Shore HS70 tabi loke. Lile giga le ni imunadoko yiya ti o ṣẹlẹ nipasẹ gbigbe loorekoore ati ija ti awọn paati lakoko iṣẹ ohun elo, ni idaniloju pe ipilẹ le ṣetọju iwọn konge giga lẹhin lilo igba pipẹ. Ninu ohun elo iṣakojọpọ chirún, apa robot nigbagbogbo mu ati gbe chirún sori ipilẹ, ati líle giga ti ipilẹ le rii daju pe dada ko rọrun lati gbejade awọn idọti ati ṣetọju deede ti gbigbe apa robot.
Iwuwo: Awọn iwuwo ohun elo yẹ ki o wa laarin 2.6-3.1 g/cm³. Iwọn iwuwo ti o yẹ jẹ ki ipilẹ ni iduroṣinṣin didara to dara, eyiti o le rii daju pe lile lati ṣe atilẹyin ohun elo, ati pe kii yoo mu awọn iṣoro wa si fifi sori ẹrọ ati gbigbe ohun elo nitori iwuwo pupọ. Ninu ohun elo ayewo semikondokito nla, iwuwo ipilẹ iduroṣinṣin ṣe iranlọwọ lati dinku gbigbe gbigbọn lakoko iṣẹ ohun elo ati ilọsiwaju wiwa deede.
Iduro gbigbona: olùsọdipúpọ imugboroja laini kere ju 5×10⁻⁶/℃. Ohun elo Semiconductor jẹ ifarabalẹ pupọ si awọn iyipada iwọn otutu, ati iduroṣinṣin igbona ti ipilẹ jẹ ibatan taara si deede ti ohun elo. Lakoko ilana lithography, awọn iyipada iwọn otutu le fa imugboroja tabi ihamọ ti ipilẹ, ti o fa iyapa ni iwọn apẹrẹ ifihan. Ipilẹ giranaiti pẹlu olùsọdipúpọ isọdibilẹ laini kekere le ṣakoso iyipada iwọn ni iwọn kekere pupọ nigbati iwọn otutu iṣẹ ti ẹrọ ba yipada (ni gbogbogbo 20-30 ° C) lati rii daju pe iṣedede lithography.
Kẹta, didara dada
Roughness: Irẹlẹ dada Ra iye lori ipilẹ ko kọja 0.05μm. Dada didan ultra le dinku adsorption ti eruku ati awọn aimọ ati dinku ipa lori mimọ ti agbegbe iṣelọpọ chirún semikondokito. Ninu idanileko ti ko ni eruku ti iṣelọpọ chirún, awọn patikulu kekere le ja si awọn abawọn bii kukuru kukuru ti chirún, ati dada didan ti ipilẹ ṣe iranlọwọ lati ṣetọju agbegbe mimọ ti idanileko ati ilọsiwaju ikore ërún.
Awọn abawọn airi: Ilẹ ti ipilẹ ko gba laaye lati ni awọn dojuijako ti o han, awọn ihò iyanrin, awọn pores ati awọn abawọn miiran. Ni ipele airi, nọmba awọn abawọn pẹlu iwọn ila opin ti o tobi ju 1μm fun centimita onigun mẹrin ko gbọdọ kọja 3 nipasẹ ohun airi elekitironi. Awọn abawọn wọnyi yoo ni ipa lori agbara igbekalẹ ati fifẹ dada ti ipilẹ, ati lẹhinna ni ipa lori iduroṣinṣin ati deede ti ẹrọ naa.
Ẹkẹrin, iduroṣinṣin ati mọnamọna resistance
Iduroṣinṣin ti o ni agbara: Ni agbegbe gbigbọn ti a ṣe afiwe ti ipilẹṣẹ nipasẹ iṣẹ ti awọn ohun elo semikondokito (iwọn ipo igbohunsafẹfẹ gbigbọn 10-1000Hz, titobi 0.01-0.1mm), iyipada gbigbọn ti awọn aaye iṣagbesori bọtini lori ipilẹ yẹ ki o ṣakoso laarin ± 0.05μm. Mu ohun elo idanwo semikondokito bi apẹẹrẹ, ti ohun elo ti ara rẹ ati gbigbọn agbegbe ti wa ni tan kaakiri si ipilẹ lakoko iṣẹ, deede ifihan agbara le ni idilọwọ pẹlu. Iduroṣinṣin ti o dara le rii daju awọn abajade idanwo igbẹkẹle.
Idaduro ile jigijigi: Ipilẹ gbọdọ ni iṣẹ iṣẹ jigijigi ti o dara julọ, ati pe o le ṣe attenuate agbara gbigbọn ni iyara nigbati o ba wa labẹ gbigbọn ita lojiji (gẹgẹbi gbigbọn igbi omi jigijigi), ati rii daju pe ipo ibatan ti awọn paati bọtini ti ẹrọ naa yipada laarin ± 0.1μm. Ni awọn ile-iṣelọpọ semikondokito ni awọn agbegbe ti o ni iwariri-ilẹ, awọn ipilẹ ile-iwariri le daabobo daradara ohun elo semikondokito gbowolori, idinku eewu ti ibajẹ ohun elo ati idalọwọduro iṣelọpọ nitori gbigbọn.
5. Kemikali iduroṣinṣin
Idena ibajẹ: Ipilẹ granite yẹ ki o duro fun ibajẹ ti awọn aṣoju kemikali ti o wọpọ ni ilana iṣelọpọ semikondokito, gẹgẹbi hydrofluoric acid, aqua regia, bbl Lẹhin ti rirẹ ni ojutu hydrofluoric acid pẹlu ida-ibi-iye ti 40% fun awọn wakati 24, iwọn pipadanu didara oju-aye ko kọja 0.01%; Rẹ sinu aqua regia (ipin iwọn didun ti hydrochloric acid si nitric acid 3:1) fun wakati 12, ati pe ko si awọn itọpa ipata ti o han gbangba. Ilana iṣelọpọ semikondokito pẹlu ọpọlọpọ awọn etching kemikali ati awọn ilana mimọ, ati pe resistance ipata to dara ti ipilẹ le rii daju pe lilo igba pipẹ ni agbegbe kemikali ko bajẹ, ati pe deede ati iduroṣinṣin igbekalẹ jẹ itọju.
Alatako-idoti: Awọn ohun elo mimọ ni iwọn kekere gbigba ti awọn idoti ti o wọpọ ni agbegbe iṣelọpọ semikondokito, gẹgẹ bi awọn gaasi Organic, awọn ions irin, ati bẹbẹ lọ Nigbati a ba gbe sinu agbegbe ti o ni 10 PPM ti awọn gaasi Organic (fun apẹẹrẹ, benzene, toluene) ati 1ppm ti awọn ions irin (fun apẹẹrẹ, awọn ions Ejò, ions iron) fun awọn wakati 72, iṣẹ ṣiṣe ti ipilẹ pollutant jẹ ipadabọ lori ipilẹ. aifiyesi. Eleyi idilọwọ awọn contaminants lati Iṣipo lati mimọ dada si awọn ërún ẹrọ agbegbe ati ki o ni ipa ni ërún didara.
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-28-2025