1. Ipese iwọn
Ìtẹ́lọ́rùn: ìtẹ́lọ́rùn ojú ilẹ̀ ìpìlẹ̀ náà gbọ́dọ̀ dé ìwọ̀n gíga gan-an, àṣìṣe ìtẹ́lọ́rùn kò sì gbọdọ̀ ju ±0.5μm lọ ní agbègbè 100mm × 100mm; Fún gbogbo ìpìlẹ̀ ilẹ̀ náà, àṣìṣe ìtẹ́lọ́rùn náà ni a ń ṣàkóso láàrín ±1μm. Èyí ń rí i dájú pé àwọn ohun pàtàkì nínú ohun èlò semiconductor, bí orí ìfarahàn ohun èlò lithography àti tábìlì ìwádìí ohun èlò chip, ni a lè fi sí i dáadáa kí a sì ṣiṣẹ́ lórí ìpele gíga, kí a rí i dájú pé ọ̀nà opitika àti ìsopọ̀ circuit ti ohun èlò náà péye, kí a sì yẹra fún ìyàtọ̀ ìyípadà ti àwọn ohun èlò tí ìpele àìdọ́gba ti ìpìlẹ̀ náà fà, èyí tí ó ní ipa lórí ìṣelọ́pọ́ àti ìpéye ìwádìí semiconductor.
Ìtọ́sọ́nà: Ìtọ́sọ́nà etí kọ̀ọ̀kan ti ìpìlẹ̀ ṣe pàtàkì. Ní ìtọ́sọ́nà gígùn, àṣìṣe títọ́ kò gbọdọ̀ ju ±1μm lọ fún 1m; Àṣìṣe títọ́ onígun mẹ́rin ni a ń ṣàkóso láàrín ±1.5μm. Bí a bá wo ẹ̀rọ lithography tí ó péye gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, nígbà tí tábìlì bá ń lọ ní ẹ̀gbẹ́ ìtọ́sọ́nà ìpìlẹ̀ náà, títọ́ etí ìpìlẹ̀ náà ní ipa lórí ìpéye ipa ọ̀nà tábìlì náà ní tààrà. Tí títọ́ náà kò bá dé ìwọ̀n tí ó yẹ, ìlànà lithography náà yóò yípadà tí yóò sì bàjẹ́, èyí tí yóò yọrí sí ìdínkù nínú ìṣẹ̀dá chip.
Ìbáradọ́gba: Àṣìṣe ìbáradọ́gba ti àwọn ojú òkè àti ìsàlẹ̀ ti ìpìlẹ̀ yẹ kí ó wà láàrín ±1μm. Ìbáradọ́gba tó dára lè rí i dájú pé àárín gbùngbùn gbogbogbò ti agbára ìwalẹ̀mọ́lẹ̀ dúró ṣinṣin lẹ́yìn tí a bá ti fi ẹ̀rọ náà sílẹ̀, agbára ẹ̀yà kọ̀ọ̀kan sì dọ́gba. Nínú àwọn ẹ̀rọ ṣíṣe wafer semiconductor, tí àwọn ojú òkè àti ìsàlẹ̀ ti ìpìlẹ̀ kò bá jọra, wafer náà yóò tẹ̀ nígbà tí a bá ń ṣe é, èyí yóò sì nípa lórí ìbáradọ́gba ilana bíi ìfọ́ àti ìbòrí, èyí yóò sì nípa lórí bí iṣẹ́ chip náà ṣe rí.
Èkejì, àwọn ànímọ́ ohun èlò
Líle: Líle tí ohun èlò ìpìlẹ̀ granite bá le dé Shore hardness HS70 tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ. Líle gíga náà le dènà ìbàjẹ́ tí ó ń wáyé nígbà gbogbo àti ìfọ́pọ̀ àwọn èròjà nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ ohun èlò náà, èyí tí ó ń rí i dájú pé ìpìlẹ̀ náà le ní ìwọ̀n pípéye lẹ́yìn lílo fún ìgbà pípẹ́. Nínú ohun èlò ìdìpọ̀ chip, apá robot máa ń di chip náà mú, ó sì máa ń gbé e sí orí ìpìlẹ̀ náà, líle gíga ti ìpìlẹ̀ náà sì lè rí i dájú pé ojú ilẹ̀ náà kò rọrùn láti yọ ìfọ́ kúrò, kí ó sì máa ṣe ìtọ́jú ìṣiṣẹ́ apá robot náà dáadáa.
Ìwọ̀n: Ìwọ̀n ohun èlò náà yẹ kí ó wà láàrín 2.6-3.1 g/cm³. Ìwọ̀n tó yẹ mú kí ìpìlẹ̀ náà ní ìdúróṣinṣin tó dára, èyí tó lè rí i dájú pé ó le koko tó láti gbé ohun èlò náà ró, kò sì ní mú ìṣòro wá sí fífi ohun èlò náà sí àti gbígbé nítorí ìwọ̀n tó pọ̀ jù. Nínú àwọn ohun èlò àyẹ̀wò semiconductor ńlá, ìwọ̀n ìpìlẹ̀ tó dúró ṣinṣin ń ran lọ́wọ́ láti dín ìgbígbòòrò nígbà tí ohun èlò bá ń ṣiṣẹ́ àti láti mú kí ìrísí ìwádìí sunwọ̀n sí i.
Iduroṣinṣin ooru: iye iwọn ila opin ti o wa ni ila opin kere ju 5×10⁻⁶/℃. Awọn ohun elo Semiconductor jẹ gidigidi ni ifaramọ si awọn iyipada iwọn otutu, ati iduroṣinṣin ooru ti ipilẹ naa ni ibatan taara si deede ti ẹrọ naa. Lakoko ilana lithography, awọn iyipada iwọn otutu le fa imugboroosi tabi idinku ti ipilẹ, eyiti o yorisi iyapa ninu iwọn ti apẹrẹ ifihan. Ipilẹ granite pẹlu iye iwọn ila opin kekere le ṣakoso iyipada iwọn ni iwọn kekere nigbati iwọn otutu iṣiṣẹ ti ẹrọ naa ba yipada (ni gbogbogbo 20-30 ° C) lati rii daju pe deede lithography.
Ẹ̀kẹta, dídára ojú ilẹ̀
Rírọ̀: Rírọ̀ ojú ilẹ̀ Ra tí ó wà lórí ìpìlẹ̀ kò ju 0.05μm lọ. Ojú ilẹ̀ tí ó mọ́ tónítóní lè dín ìfàmọ́ra eruku àti àwọn ohun ìdọ̀tí kù, kí ó sì dín ipa tí ó ní lórí ìmọ́tótó àyíká iṣẹ́ ërún semiconductor kù. Nínú iṣẹ́ ọnà tí kò ní eruku nínú iṣẹ́ ọnà ërún, àwọn èròjà kéékèèké lè fa àbùkù bíi ìyípo kúkúrú ti ërún, ojú ilẹ̀ tí ó mọ́ tónítóní sì ń ran lọ́wọ́ láti pa àyíká tí ó mọ́ tónítóní mọ́ nínú iṣẹ́ ọnà náà, kí ó sì mú kí ìṣẹ̀dá ërún náà sunwọ̀n sí i.
Àbùkù onígun mẹ́ta: A kò gbà kí ojú ìpìlẹ̀ náà ní àwọn ìfọ́, ihò iyanrìn, ihò ihò àti àwọn àbùkù mìíràn tí a lè rí. Ní ìpele onígun mẹ́ta, iye àbùkù tí ó ní ìwọ̀n ìlà tí ó ju 1μm lọ fún sẹ̀ǹtímítà onígun mẹ́rin kò gbọdọ̀ ju 3 lọ nípasẹ̀ onígun mẹ́ta. Àwọn àbùkù wọ̀nyí yóò ní ipa lórí agbára ìṣètò àti ìdúróṣinṣin ojú ìpìlẹ̀ náà, lẹ́yìn náà yóò ní ipa lórí ìdúróṣinṣin àti ìṣedéédé àwọn ohun èlò náà.
Ẹkẹrin, iduroṣinṣin ati resistance mọnamọna
Ìdúróṣinṣin oníyípadà: Nínú àyíká ìgbì tí a ṣe àfarawé rẹ̀ tí iṣẹ́ àwọn ohun èlò semiconductor ń ṣe (ibi tí ìgbìyànjú ìgbìyànjú 10-1000Hz wà, ìtóbi 0.01-0.1mm), ìyípadà ìgbìyànjú ti àwọn ibi ìfìkọ́lé pàtàkì lórí ìpìlẹ̀ yẹ kí ó wà láàrín ±0.05μm. Bí a bá wo ohun èlò ìdánwò semiconductor gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ, tí ìgbìyànjú ti ẹ̀rọ náà àti ìgbìyànjú àyíká tí ó yí i ká bá dé ìpìlẹ̀ nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́, a lè dènà ìṣedéédé àmì ìdánwò náà. Ìdúróṣinṣin oníyípadà tí ó dára lè rí i dájú pé àwọn àbájáde ìdánwò tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé ni a ṣe.
Agbara Ilẹ̀ Ríjì: Ilẹ̀ náà gbọ́dọ̀ ní iṣẹ́ ilẹ̀ rírì tó dára, ó sì lè dín agbára ìgbọ̀nsẹ̀ kù kíákíá nígbà tí ó bá fara hàn sí ìgbọ̀nsẹ̀ òjijì láti òde (bí ìgbọ̀nsẹ̀ ìgbì omi rírì), kí ó sì rí i dájú pé ipò ìbátan àwọn ohun èlò pàtàkì yípadà láàrín ±0.1μm. Nínú àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor ní àwọn agbègbè tí ìgbọ̀nsẹ̀ ti lè fara hàn, àwọn ìpìlẹ̀ tí kò lè fara dà ìgbọ̀nsẹ̀ lè dáàbò bo àwọn ohun èlò semiconductor olówó gọbọi, èyí tí yóò dín ewu ìbàjẹ́ ohun èlò àti ìdàrúdàpọ̀ iṣẹ́jade kù nítorí ìgbọ̀nsẹ̀.
5. Iduroṣinṣin kemikali
Àìlèṣe ìbàjẹ́: Ipìlẹ̀ granite yẹ kí ó kojú ìbàjẹ́ àwọn ohun èlò kẹ́míkà tí a sábà máa ń lò nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor, bíi hydrofluoric acid, aqua regia, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Lẹ́yìn tí a bá ti fi omi hydrofluoric acid sínú omi pẹ̀lú ìpín 40% fún wákàtí mẹ́rìnlélógún, ìwọ̀n pípadánù dídára ojú ilẹ̀ kò gbọdọ̀ ju 0.01% lọ; Aqua regia (ìpíndọ́gba ìwọ̀n hydrochloric acid sí nitric acid 3:1) fún wákàtí méjìlá, kò sì sí àmì ìbàjẹ́ tí ó hàn gbangba lórí ojú ilẹ̀ náà. Ìlànà iṣẹ́ semiconductor ní onírúurú ọ̀nà ìfọṣọ àti ìwẹ̀nùmọ́ kẹ́míkà, àti pé ìdènà ìbàjẹ́ tí ó dára ti ìpìlẹ̀ náà lè rí i dájú pé lílo fún ìgbà pípẹ́ nínú àyíká kẹ́míkà kò bàjẹ́, àti pé a ń pa ìpéye àti ìdúróṣinṣin ìṣètò mọ́.
Ìdènà Ìbàjẹ́: Ohun èlò ìpìlẹ̀ náà ní ìfàmọ́ra díẹ̀ gidigidi ti àwọn ohun ìdọ̀tí tí ó wọ́pọ̀ ní àyíká iṣẹ́ semiconductor, bí àwọn gaasi organic, àwọn ion irin, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Nígbà tí a bá gbé e sí àyíká tí ó ní 10 PPM ti àwọn gaasi organic (fún àpẹẹrẹ, benzene, toluene) àti 1ppm ti àwọn ion irin (fún àpẹẹrẹ, àwọn ion copper, àwọn ion irin) fún wákàtí 72, ìyípadà iṣẹ́ tí fífọ àwọn ohun ìdọ̀tí sí orí ilẹ̀ ìpìlẹ̀ ń fà kò ṣe pàtàkì. Èyí ń dènà àwọn ohun ìdọ̀tí láti ṣí láti orí ilẹ̀ ìpìlẹ̀ sí agbègbè iṣẹ́ chip náà kí ó sì nípa lórí dídára chip náà.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-28-2025