Ní ààlà iṣẹ́ ṣíṣe àgbékalẹ̀ àti ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì, ìbéèrè fún ìṣàkóso ìṣíṣẹ́ ultra-precision ń pọ̀ sí i lójoojúmọ́. Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò pàtàkì láti ṣe àṣeyọrí ìṣíṣẹ́ linear perception gíga, iṣẹ́ ti ultra-precision single-axis air floating module directed kan directly ní ipa taara lórí dídára ọjà ìkẹyìn àti ìpéye àwọn àbájáde ìwádìí ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì. Láàrín ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ohun tó ní ipa lórí rẹ̀, lílo ìpìlẹ̀ granite fún un ní àǹfààní tí kò láfiwé ó sì di ohun pàtàkì láti rí i dájú pé ó péye dáadáa.
Granite, lẹ́yìn ọ̀pọ̀ mílíọ̀nù ọdún tí a ti ń ṣe àyípadà ilẹ̀ ayé, ìṣètò inú rẹ̀ nípọn púpọ̀, ó sì dọ́gba. Ó jẹ́ ti quartz, feldspar àti àwọn ohun alumọ́ọ́nì míràn, ìṣètò ohun èlò aláìlẹ́gbẹ́ yìí fún granite ní àwọn ànímọ́ ti ara tó dára. Nígbà tí a bá lò ó gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ module ìṣípo afẹ́fẹ́ ultra-precision kan ṣoṣo, granite kọ́kọ́ fi ìdúróṣinṣin gíga hàn. Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ìpìlẹ̀ ohun èlò irin tí ó wọ́pọ̀, àwọn ìpìlẹ̀ granite fi agbára ìdènà ìyípadà hàn ní ojú àwọn ìdàrúdàpọ̀ àyíká òde, bí ìyípadà otutu àti ìgbóná ẹ̀rọ. Nínú ìlànà ṣíṣe chip ẹ̀rọ itanna, ìpéye ipò ti lithography chip ni a nílò láti dé ìpele nanometer. Nínú ilé ìṣẹ̀dá, ìgbóná tí iṣẹ́ àwọn ohun èlò ńlá àti àwọn ìyípadà díẹ̀ nínú iwọn otutu àyíká lè ní ipa lórí ìpéye ìṣípo ti ohun èlò lithography. Modulu ìṣípo afẹ́fẹ́ ultra-precision kan ṣoṣo tí ó ní ipilẹ granite le dín ìgbóná òde kù kí ó sì dín ìpele ìgbóná tí a gbé sí module ìṣípo náà kù nípa ju 80%. Ní àkókò kan náà, ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru rẹ̀ tí ó kéré gan-an mú kí ìwọ̀n ìpìlẹ̀ náà yípadà díẹ̀ nígbà tí ìwọ̀n otútù bá yípadà, èyí tí ó ń rí i dájú pé module ìṣípo afẹ́fẹ́ tí ń fò lè ṣì lè máa ṣe ìdúróṣinṣin ìṣípo ní àyíká tí ó díjú, èyí tí ó ń pèsè ìpìlẹ̀ ipò pàtó fún lithography chip, àti pé ó ń mú kí iṣẹ́ ṣíṣe chip dára síi gidigidi.
Ni afikun, granite ni resistance to dara fun yiya. Ninu ilana ti iṣipopada ti modulu afẹfẹ afẹfẹ ti o ni ipo-ọna ti o peye nigbagbogbo, botilẹjẹpe atilẹyin fiimu gaasi wa laarin slider afẹfẹ ati ipilẹ, lilo igba pipẹ yoo fa iwọn ija kan pato. Ipilẹ granite, pẹlu awọn abuda lile giga rẹ, le koju yiya ti ija yii fa daradara ki o si fa igbesi aye iṣẹ ti modulu išipopada naa. Ninu yàrá iwadii imọ-jinlẹ ti awọn ile-ẹkọ giga, awọn ohun elo idanwo ti a lo fun wiwa awọn nkan kekere nilo modulu išipopada ti o peye ti flotation afẹfẹ uniaxial lati ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin fun igba pipẹ lati gba nọmba nla ti awọn data idanwo deede. Agbara yiya giga ti ipilẹ granite rii daju pe deede ti modulu išipopada le tun wa ni ipele deede giga akọkọ lẹhin igba pipẹ ti lilo, pese iṣeduro ti o gbẹkẹle fun itẹsiwaju ati deede ti iṣẹ iwadii imọ-jinlẹ, ati iranlọwọ awọn oluwadi lati ṣawari ijinlẹ ti agbaye kekere.
Modulu išipopada afẹ́fẹ́ onípele-ìpele kan ṣoṣo pẹlu ipilẹ granite dabi "olutọna" ti o peye fun iṣelọpọ deede ati iwadii imọ-jinlẹ. Ipilẹ granite pẹlu iduroṣinṣin ti o tayọ, resistance wiwọ, fun išipopada deede giga ti modulu išipopada afẹfẹ n pese atilẹyin to lagbara, ninu iṣelọpọ semiconductor, iṣelọpọ ohun elo opitika, iwadii imọ-jinlẹ giga ati ọpọlọpọ awọn ibeere deede miiran ti aaye naa, ṣe ipa pataki ti ko le rọpo, ni igbega ile-iṣẹ si itọsọna deede ti o ga julọ, didara giga.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-07-2025