Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, ìpéye ni ọ̀nà ìgbàlódé tí ọjà yóò fi dára tó àti iṣẹ́ rẹ̀. Ohun èlò mímú semiconductor, gẹ́gẹ́ bí ọ̀nà pàtàkì láti rí i dájú pé iṣẹ́ náà péye, ń béèrè fún ìdúróṣinṣin àwọn èròjà pàtàkì rẹ̀. Lára wọn, pẹpẹ granite, pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ooru rẹ̀ tó tayọ, ń kó ipa pàtàkì nínú ohun èlò mímú semiconductor. Àpilẹ̀kọ yìí yóò ṣe àgbéyẹ̀wò jíjinlẹ̀ nípa iṣẹ́ ìdúróṣinṣin ooru ti àwọn pẹpẹ granite nínú ohun èlò mímú semiconductor nípasẹ̀ àwọn ìwádìí gidi.
Awọn ibeere ti o muna fun iduroṣinṣin ooru ti awọn ohun elo wiwọn ni iṣelọpọ semiconductor
Ilana iṣelọpọ semiconductor jẹ ohun ti o nira pupọ ati deede, ati iwọn awọn ila iyipo lori chip naa ti wọ ipele nanometer. Ninu iru ilana iṣelọpọ deede giga bẹẹ, paapaa iyipada iwọn otutu kekere le fa imugboroosi ooru ati idinku awọn paati ẹrọ, nitorinaa nfa awọn aṣiṣe wiwọn. Fun apẹẹrẹ, ninu ilana photolithography, ti deede wiwọn ti ẹrọ wiwọn ba yapa nipasẹ nanometer 1, o le fa awọn iṣoro pataki bi awọn iyika kukuru tabi awọn iyika ṣiṣi ni awọn iyika lori chip naa, eyiti o yori si fifọ chip naa. Gẹgẹbi awọn iṣiro data ile-iṣẹ, fun gbogbo iyipada 1℃ ni iwọn otutu, pẹpẹ ohun elo wiwọn ohun elo irin ibile le ṣe awọn iyipada iwọn ti awọn nanometer pupọ. Sibẹsibẹ, iṣelọpọ semiconductor nilo deede wiwọn lati ṣakoso laarin ±0.1 nanometers, eyiti o jẹ ki iduroṣinṣin ooru jẹ ifosiwewe pataki ni ipinnu boya ẹrọ wiwọn le pade awọn ibeere ti iṣelọpọ semiconductor.
Àwọn àǹfààní ìmọ̀ ẹ̀rọ ti ìdúróṣinṣin ooru ti àwọn ìpele granite
Granite, gẹ́gẹ́ bí irú òkúta àdánidá, ní ìṣàfihàn ohun alumọ́ni inú kékeré, ìṣètò tó wúwo àti tó dọ́gba, ó sì ní àǹfààní àdánidá ti ìdúróṣinṣin ooru. Ní ti ìṣàfihàn ooru, ìṣàfihàn ooru ti granite kéré gan-an, ní gbogbogbòò láti 4.5 sí 6.5×10⁻⁶/K. Ní ìyàtọ̀ sí èyí, ìṣàfihàn ooru ti àwọn ohun èlò irin tí a sábà máa ń lò bí àwọn alloy aluminiomu ga tó 23.8×10⁻⁶/K, èyí tí ó jẹ́ ìlọ́po méjì ti granite. Èyí túmọ̀ sí wípé lábẹ́ àwọn ipò ìyípadà otutu kan náà, ìyípadà iwọn ti pẹpẹ granite kéré ju ti pẹpẹ irin lọ, èyí tí ó lè pèsè ìtọ́kasí ìwọ̀n tí ó dúró ṣinṣin fún àwọn ohun èlò ìwọ̀n semiconductor.
Ni afikun, eto kirisita ti granite fun ni ni ibamu to dara ti itọsọna ooru. Nigbati iṣẹ ẹrọ ba mu ooru tabi iwọn otutu ayika yipada, pẹpẹ granite le mu ooru kuro ni kiakia ati ni deede, yago fun awọn iṣẹlẹ ti o gbona ju tabi tutu pupọju agbegbe, nitorinaa o n ṣetọju ibamu iwọn otutu gbogbogbo ti pẹpẹ naa ati rii daju pe o peye wiwọn.
Ilana ati ọna wiwọn iduroṣinṣin ooru
Láti lè ṣe àyẹ̀wò ìdúróṣinṣin ooru ti pẹpẹ granite ní ìbámu pẹ̀lú ohun èlò ìwọ̀n semiconductor, a ti ṣe àgbékalẹ̀ ètò ìwọ̀n tó lágbára. Yan ohun èlò ìwọ̀n wafer semiconductor tó péye, èyí tí a fi pẹpẹ granite tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ ṣe dáadáa. Nínú àyíká ìdánwò, a ṣe àfarawé ìwọ̀n ìgbóná tí ó wọ́pọ̀ nínú ibi iṣẹ́ ìṣe semiconductor, ìyẹn ni pé, a máa ń gbóná díẹ̀díẹ̀ láti 20℃ sí 35℃ lẹ́yìn náà a máa ń tutù sí 20℃. Gbogbo iṣẹ́ náà gba àkókò fún wákàtí mẹ́jọ.
Lórí pẹpẹ granite ti ohun èlò ìwọ̀n, a gbé àwọn wafer silicon boṣewa tí ó péye gíga sí i, a sì lo àwọn sensọ̀ ìyípadà pẹ̀lú ìṣedéédé nanoscale láti ṣe àkíyèsí àwọn ìyípadà ipò ìbátan láàárín àwọn wafer silicon àti pẹpẹ náà ní àkókò gidi. Ní àkókò kan náà, a ṣètò ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn sensọ̀ otutu tí ó péye gíga sí àwọn ipò ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ lórí pẹpẹ náà láti ṣe àkíyèsí ìpínkiri iwọn otutu lórí ojú pẹpẹ náà. Nígbà ìdánwò náà, a kọ àwọn data ìyípadà àti data iwọn otutu sílẹ̀ ní gbogbo ìṣẹ́jú mẹ́ẹ̀ẹ́dógún láti rí i dájú pé àwọn data náà péye àti péye.
Dátà tí a wọ̀n àti ìṣàyẹ̀wò àbájáde
Ibasepo laarin awọn iyipada iwọn otutu ati awọn iyipada iwọn pẹpẹ
Àwọn ìwádìí ìwádìí fihàn pé nígbà tí ìwọ̀n otútù bá ga láti 20℃ sí 35℃, ìyípadà nínú ìwọ̀n ìlà ti pẹpẹ granite náà kéré gan-an. Lẹ́yìn ìṣirò, jákèjádò gbogbo ìlànà ìgbóná, ìfàsẹ́yìn ìlà tí ó pọ̀ jùlọ ti pẹpẹ náà jẹ́ 0.3 nanometers nìkan, èyí tí ó kéré sí i ju ìwọ̀n ìfaradà àṣìṣe lọ fún ìṣedéédé ìwọ̀n nínú àwọn ìlànà ìṣe semiconductor. Nígbà ìpele ìtútù, ìwọ̀n pẹpẹ náà lè padà sí ipò àkọ́kọ́ pátápátá, a sì lè fojú fo ìṣẹ̀lẹ̀ ìfàsẹ́yìn ìwọ̀n. Ànímọ́ yìí láti máa ṣe àtúnṣe àwọn ìyípadà oníwọ̀n kékeré púpọ̀, kódà lábẹ́ àwọn ìyípadà iwọ̀n otútù pàtàkì, fi hàn pé ìdúróṣinṣin ooru tó tayọ ti pẹpẹ granite náà ni ó dájú.
Ṣíṣàyẹ̀wò ìṣọ̀kan ìwọ̀n otútù lórí ojú pẹpẹ náà
Dátà tí sensọ̀ ìgbóná gbà fihàn pé nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ ẹ̀rọ náà àti ìlànà ìyípadà ìgbóná, ìpínkiri ìgbóná lórí ojú ilẹ̀ granite náà jẹ́ dọ́gba gan-an. Kódà nígbà tí ìgbóná bá ń yípadà gidigidi, ìyàtọ̀ ìgbóná láàárín ojú ìwọ̀n kọ̀ọ̀kan lórí ojú ilẹ̀ náà ni a máa ń ṣàkóso láàrín ±0.1℃. Pínpín ìgbóná kan náà máa ń yẹra fún ìyípadà ìpele tí wahala ìgbóná tí kò dọ́gba ń fà, ó ń rí i dájú pé ìrọ̀rùn àti ìdúróṣinṣin ojú ilẹ̀ ìtọ́kasí ìwọ̀n náà wà, ó sì ń pèsè àyíká ìwọ̀n tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn ẹ̀rọ semiconductor metrology.
Ti a bawe pẹlu awọn iru ẹrọ ohun elo ibile
A fi àwọn dátà tí a wọ̀n lórí pèpéle granite wéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìwọ̀n semiconductor ti irú kan náà nípa lílo pèpéle alloy aluminiomu, àwọn ìyàtọ̀ náà sì ṣe pàtàkì. Lábẹ́ àwọn ipò ìyípadà ìgbóná kan náà, ìfẹ̀sí ìlà ti pèpéle alloy aluminiomu ga tó 2.5 nanometers, èyí tí ó ju ìlọ́po mẹ́jọ lọ ti pèpéle granite. Ní àkókò kan náà, ìpínkiri ìgbóná lórí ojú pèpéle alloy aluminiomu kò dọ́gba, pẹ̀lú ìyàtọ̀ ìgbóná tó pọ̀ jùlọ dé 0.8℃, èyí tí ó yọrí sí ìyípadà tí ó hàn gbangba ti pèpéle náà tí ó sì ní ipa lórí ìṣedéédé ìwọ̀n náà gidigidi.
Nínú ayé pàtó ti àwọn ohun èlò ìwádìí semiconductor metrology, àwọn pẹpẹ granite, pẹ̀lú ìdúróṣinṣin ooru tó tayọ wọn, ti di ohun pàtàkì nínú rírí i dájú pé ìwọ̀n wọn péye. Àwọn dátà tí a wọ̀n fi hàn gbangba pé iṣẹ́ tó tayọ̀ ti pẹpẹ granite ní ìdáhùn sí àwọn ìyípadà otutu, ó sì ń pèsè ìrànlọ́wọ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún ilé iṣẹ́ ìṣe semiconductor. Bí àwọn ìlànà ìṣe semiconductor ṣe ń tẹ̀síwájú sí ìṣe tó ga jù, àǹfààní ìdúróṣinṣin ooru ti àwọn pẹpẹ granite yóò di ohun tó ń tàn kálẹ̀ sí i, yóò sì máa mú kí ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ àti ìdàgbàsókè bá iṣẹ́ náà mu.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-13-2025