Ni aaye iṣelọpọ semikondokito, konge jẹ igbesi aye ti didara ọja ati iṣẹ. Ohun elo wiwọn Semiconductor, bi ọna asopọ bọtini lati rii daju pe iṣelọpọ iṣelọpọ, fa awọn ibeere to muna lori iduroṣinṣin ti awọn paati ipilẹ rẹ. Lara wọn, pẹpẹ granite, pẹlu iduroṣinṣin igbona ti iyalẹnu rẹ, ṣe ipa ti ko ṣe pataki ni ohun elo wiwọn semikondokito. Nkan yii yoo ṣe itupalẹ ijinle ti iṣẹ iduroṣinṣin gbona ti awọn iru ẹrọ granite ni ohun elo wiwọn semikondokito nipasẹ data idanwo gangan.
Awọn ibeere ti o muna fun iduroṣinṣin gbona ti ohun elo wiwọn ni iṣelọpọ semikondokito
Ilana iṣelọpọ semikondokito jẹ eka pupọ ati kongẹ, ati iwọn ti awọn laini iyika lori chirún ti wọ ipele nanometer. Ni iru ilana iṣelọpọ ti o ga julọ, paapaa iyipada iwọn otutu kekere le fa imugboroja gbona ati ihamọ ti awọn paati ohun elo, nitorinaa nfa awọn aṣiṣe wiwọn. Fun apẹẹrẹ, ninu ilana fọtolithography, ti išedede wiwọn ti ohun elo wiwọn ba yapa nipasẹ 1 nanometer, o le fa awọn iṣoro to ṣe pataki gẹgẹbi awọn iyika kukuru tabi awọn iyika ṣiṣi ninu awọn iyika lori chirún, ti o yori si yiyọkuro ti chirún naa. Gẹgẹbi awọn iṣiro data ile-iṣẹ, fun gbogbo iyipada 1℃ ni iwọn otutu, pẹpẹ ohun elo ohun elo irin ti aṣa le faragba awọn iyipada iwọn ti awọn nanometer pupọ. Bibẹẹkọ, iṣelọpọ semikondokito nilo iṣedede wiwọn lati ṣakoso laarin awọn nanometer ± 0.1, eyiti o jẹ ki iduroṣinṣin gbona jẹ ifosiwewe bọtini ni ipinnu boya ohun elo wiwọn le pade awọn ibeere ti iṣelọpọ semikondokito.
Awọn anfani imọ-jinlẹ ti iduroṣinṣin gbona ti awọn iru ẹrọ granite
Granite, gẹgẹbi iru okuta adayeba, ni iwapọ nkan ti o wa ni erupe ile ti inu, ipon ati eto aṣọ, ati pe o ni anfani adayeba ti iduroṣinṣin gbona. Ni awọn ofin ti olùsọdipúpọ ti imugboroosi gbona, olùsọdipúpọ ti imugboroosi gbona ti granite jẹ kekere pupọ, ni gbogbogbo lati 4.5 si 6.5×10⁻⁶/K. Ni ifiwera, olùsọdipúpọ ti imugboroosi gbona ti awọn ohun elo irin ti o wọpọ gẹgẹbi awọn alloy aluminiomu jẹ giga bi 23.8 × 10⁻⁶ / K, eyiti o jẹ igba pupọ ti granite. Eyi tumọ si pe labẹ awọn ipo iyatọ iwọn otutu kanna, iyipada iwọn ti pẹpẹ granite kere pupọ ju ti pẹpẹ irin, eyiti o le pese itọkasi wiwọn iduroṣinṣin diẹ sii fun ohun elo wiwọn semikondokito.
Ni afikun, ilana gara ti granite fun ni pẹlu iṣọkan ti o dara julọ ti itọsi ooru. Nigbati iṣẹ ohun elo ba ṣe agbekalẹ ooru tabi awọn iyipada iwọn otutu ibaramu, pẹpẹ granite le yarayara ati paapaa ṣe adaṣe kuro ninu ooru, yago fun igbona agbegbe tabi awọn iṣẹlẹ itutu agbaiye, nitorinaa ni imunadoko mimu imunadoko iwọn otutu apapọ ti pẹpẹ ati siwaju ni idaniloju iduroṣinṣin ti deede wiwọn.
Ilana ati ọna ti wiwọn iduroṣinṣin gbona
Lati le ṣe iṣiro deede iduroṣinṣin igbona ti pẹpẹ granite ni ohun elo wiwọn semikondokito, a ti ṣe apẹrẹ iwọn wiwọn to muna. Yan ohun elo wiwọn semikondokito pipe-giga kan, eyiti o ni ipese pẹlu pẹpẹ granite ti a ṣe ilana pipe-konge kan. Ni agbegbe idanwo, iwọn iyatọ iwọn otutu ti o wọpọ ni idanileko iṣelọpọ semikondokito ni afarawe, iyẹn ni, alapapo ni kutukutu lati 20 ℃ si 35 ℃ ati lẹhinna itutu agbaiye pada si 20℃. Gbogbo ilana fi opin si fun 8 wakati.
Lori pẹpẹ giranaiti ti ohun elo wiwọn, awọn wafer ohun alumọni boṣewa ti o gaju ni a gbe, ati awọn sensọ iṣipopada pẹlu deede nanoscale ni a lo lati ṣe atẹle awọn iyipada ipo ibatan laarin awọn wafer silikoni ati pẹpẹ ni akoko gidi. Nibayi, ọpọ awọn sensọ iwọn otutu ti o ga julọ ni a ṣeto ni awọn ipo oriṣiriṣi lori pẹpẹ lati ṣe atẹle pinpin iwọn otutu lori aaye pẹpẹ. Lakoko idanwo naa, data iṣipopada ati data iwọn otutu ni a gbasilẹ ni gbogbo iṣẹju 15 lati rii daju pe pipe ati deede ti data naa.
Iwọn data ati itupalẹ abajade
Ibasepo laarin awọn iyipada iwọn otutu ati awọn iyipada iwọn Syeed
Awọn data idanwo fihan pe nigbati iwọn otutu ba dide lati 20 ℃ si 35 ℃, iyipada ninu iwọn laini ti pẹpẹ granite jẹ kekere pupọ. Lẹhin iṣiro, jakejado gbogbo ilana alapapo, imugboroja laini ti o pọju ti pẹpẹ jẹ 0.3 nanometers, eyiti o kere ju iwọn ifarada aṣiṣe lọ fun deede wiwọn ni awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. Lakoko ipele itutu agbaiye, iwọn pẹpẹ le fẹrẹ pada patapata si ipo ibẹrẹ, ati lasan aisun ti iyipada iwọn le jẹ aibikita. Iwa yii ti mimujuto awọn iyipada onisẹpo kekere pupọ paapaa labẹ awọn iyipada iwọn otutu pataki ni kikun jẹri iduroṣinṣin igbona ti o tayọ ti pẹpẹ granite.
Onínọmbà ti iṣọkan iwọn otutu lori dada pẹpẹ
Awọn data ti a gba nipasẹ sensọ iwọn otutu fihan pe lakoko iṣẹ ti ẹrọ ati ilana iyipada iwọn otutu, pinpin iwọn otutu lori oju ti pẹpẹ granite jẹ aṣọ-aṣọpọ pupọ. Paapaa lakoko ipele nigbati iwọn otutu ba yipada pupọ julọ, iyatọ iwọn otutu laarin aaye wiwọn kọọkan lori aaye pẹpẹ nigbagbogbo ni iṣakoso laarin ± 0.1℃. Pipin iwọn otutu aṣọ ni imunadoko yago fun abuku Syeed ti o fa nipasẹ aapọn igbona ti ko ni deede, ni idaniloju fifẹ ati iduroṣinṣin ti dada itọkasi wiwọn, ati pese agbegbe wiwọn igbẹkẹle fun ohun elo metrology semikondokito.
Akawe pẹlu ibile ohun elo iru ẹrọ
Awọn data wiwọn ti ipilẹ granite ni a fiwewe pẹlu awọn ohun elo mita semikondokito ti iru kanna nipa lilo pẹpẹ alloy aluminiomu, ati awọn iyatọ jẹ pataki. Labẹ awọn ipo iyipada iwọn otutu kanna, imugboroja laini ti pẹpẹ alloy aluminiomu jẹ giga bi 2.5 nanometers, eyiti o jẹ diẹ sii ju igba mẹjọ ti pẹpẹ granite. Nibayi, pinpin iwọn otutu lori dada ti pẹpẹ alloy aluminiomu jẹ aiṣedeede, pẹlu iyatọ iwọn otutu ti o pọ julọ ti o de 0.8 ℃, ti o yorisi ibajẹ ti o han gbangba ti pẹpẹ ati ni pataki ni ipa lori deede wiwọn.
Ni agbaye kongẹ ti ohun elo metrology semikondokito, awọn iru ẹrọ granite, pẹlu iduroṣinṣin igbona giga wọn, ti di ipilẹ akọkọ ni aridaju deede wiwọn. Awọn data wiwọn fi agbara mule iṣẹ ti o tayọ ti pẹpẹ granite ni idahun si awọn iyipada iwọn otutu, pese atilẹyin imọ-ẹrọ igbẹkẹle fun ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito. Bii awọn ilana iṣelọpọ semikondokito siwaju si ọna pipe ti o ga julọ, anfani iduroṣinṣin igbona ti awọn iru ẹrọ granite yoo di olokiki ti o pọ si, wiwakọ imotuntun imọ-ẹrọ nigbagbogbo ati idagbasoke ninu ile-iṣẹ naa.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-13-2025