Nínú ẹ̀wọ̀n ìṣelọ́pọ́ semiconductor tó péye, ètò ìgbésẹ̀ wafer dàbí "ìlà ìgbẹ̀yìn ìlà ìṣelọ́pọ́ chip", àti ìdúróṣinṣin àti ìpéye rẹ̀ ní tààrà ń pinnu ìwọ̀n ìṣẹ́dá àwọn chip. Ìran tuntun ti àwọn ètò ìgbésẹ̀ wafer ń da àwọn mọ́tò ìlà pọ̀ mọ́ àwọn ìpìlẹ̀ granite, àti àwọn àǹfààní àrà ọ̀tọ̀ ti àwọn ohun èlò granite ni kódì pàtàkì láti ṣí ìgbésẹ̀ gíga.
Ipìlẹ̀ Granite: Kíkọ́ "ìpìlẹ̀ tó lágbára sí àpáta" fún ìgbékalẹ̀ tó dúró ṣinṣin
Granite, lẹ́yìn tí ó ti lo ọgọ́rọ̀ọ̀rún mílíọ̀nù ọdún ti àtúnṣe ilẹ̀ ayé, ó ní ìṣàfihàn ohun alumọ́ọ́nì inú tí ó nípọn àti ìṣọ̀kan. Ànímọ́ àdánidá yìí mú kí ó jẹ́ ohun èlò ìpìlẹ̀ tí ó dára fún àwọn ètò ìgbékalẹ̀ wafer. Nínú àyíká tí ó díjú ti àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor, granite, pẹ̀lú ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré gan-an (5-7 ×10⁻⁶/℃ nìkan), lè dènà ooru tí a ń mú jáde nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́ ẹ̀rọ àti ipa àwọn ìyípadà otutu àyíká, tí ó ń rí i dájú pé ìwọ̀n ìpìlẹ̀ náà dúró ṣinṣin àti yíyẹra fún ìyàtọ̀ ipa ọ̀nà ìgbékalẹ̀ tí ìyípadà ooru fà. Iṣẹ́ dídá ìgbóná rẹ̀ tí ó tayọ lè fa àwọn ìgbóná ẹ̀rọ tí a ń mú jáde nígbà ìbẹ̀rẹ̀, pípa àti ìyára àwọn mọ́tò ìlà, àti àwọn ìdènà òde tí iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ mìíràn nínú iṣẹ́ náà mú wá, èyí tí ó ń pèsè pẹpẹ tí ó dúró ṣinṣin pẹ̀lú "ìmìjìnlẹ̀ òdo" fún ìgbékalẹ̀ wafer.
Nibayi, iduroṣinṣin kemikali ti granite rii daju pe ko jẹ tabi di ipata ni awọn ile-iṣẹ semiconductor nibiti awọn ohun elo acid ati alkali jẹ iyipada ati mimọ giga ni a nilo, nitorinaa yago fun ipa lori deede gbigbejade nitori ogbologbo ohun elo tabi gbigba idoti. Awọn abuda oju ilẹ ti o dan ati ti o nipọn le dinku idapọ eruku ni imunadoko diẹ sii, ni ibamu pẹlu awọn iṣedede ti ko ni eruku ti awọn yara mimọ ati imukuro eewu ti idoti wafer lati gbongbo.
Ipa "ajọṣepọ goolu" ti awọn mọto laini ati granite
Àwọn mọ́tò onílà, pẹ̀lú àwọn ànímọ́ wọn ti àìsí ìfàsẹ́yìn ìfiranṣẹ́ ẹ̀rọ, ìyára gíga àti iyára ìdáhùn gíga, ìfiranṣẹ́ wafer onílà pẹ̀lú àwọn àǹfààní ti "yára, pípéye àti ìdúróṣinṣin". Ìpìlẹ̀ granite náà pèsè pẹpẹ ìrànlọ́wọ́ tó lágbára àti tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún un. Àwọn méjèèjì ń ṣiṣẹ́ papọ̀ láti ṣàṣeyọrí ìlọsíwájú nínú iṣẹ́. Nígbà tí mọ́tò onílà bá ń wakọ̀ ohun èlò wafer láti ṣiṣẹ́ lórí ipa ọ̀nà ìpìlẹ̀ granite, ìdúróṣinṣin àti ìdúróṣinṣin tó lágbára ti ìpìlẹ̀ náà ń rí i dájú pé agbára ìwakọ̀ mọ́tò náà gbéṣẹ́ dáadáa, ó ń yẹra fún pípadánù agbára tàbí ìdúró ìfiranṣẹ́ tí ìyípadà ìpìlẹ̀ ń fà.
Nítorí ìbéèrè fún ìṣedéédé nanoscale, àwọn mọ́tò linear lè ṣe àṣeyọrí ìṣàkóso ìyípadà ìpele kékeré-micron. Àwọn ànímọ́ ìṣiṣẹ́ tó péye ti àwọn ìpìlẹ̀ granite (pẹ̀lú àwọn àṣìṣe fífẹ̀ tí a ṣàkóso láàrín ±1μm) bá ìṣàkóso tó péye ti àwọn mọ́tò linear mu, wọ́n sì ń rí i dájú pé àṣìṣe ipò nígbà tí a bá ń gbé wafer kọjá ±5μm. Yálà ó jẹ́ ìṣípopada iyara gíga láàrín onírúurú ohun èlò iṣẹ́ tàbí ibi ìdúró ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́ tó péye fún ìfipamọ́ wafer, àpapọ̀ àwọn mọ́tò linear àti àwọn ìpìlẹ̀ granite lè rí i dájú pé "ìyàtọ̀ òdo àti ìjìnlẹ̀ òdo" wà nínú ìfipamọ́ wafer.
Ìdánilójú ìṣe ilé-iṣẹ́: Ìlọsíwájú méjì nínú ìṣiṣẹ́ àti ìwọ̀n ìṣẹ́dá
Lẹ́yìn tí wọ́n ti ṣe àtúnṣe sí ètò ìgbésẹ̀ wafer rẹ̀, ilé-iṣẹ́ semiconductor tó gbajúmọ̀ kárí ayé gba ojutu linear motor + granite base solution, èyí tó mú kí iṣẹ́ ìgbésẹ̀ wafer náà pọ̀ sí i ní 40%, ó dín ìwọ̀n ìṣẹ̀lẹ̀ àwọn àṣìṣe bíi ìkọlù àti ìyípadà nígbà ìgbésẹ̀ náà kù ní 85%, ó sì mú kí ìwọ̀n gbogbo èso àwọn chips sunwọ̀n sí i ní 6%. Lẹ́yìn ìwádìí náà ni ìdánilójú ìdúróṣinṣin ìgbésẹ̀ tí ipilẹ granite pèsè àti ipa ìṣọ̀kan gíga àti pípéye ti mọ́tò linear náà wà, èyí tó dín àdánù àti àṣìṣe nínú ilana ìgbésẹ̀ wafer kù ní pàtàkì.
Láti àwọn ohun ìní ohun èlò sí iṣẹ́ ṣíṣe déédé, láti àwọn àǹfààní iṣẹ́ sí ìfìdí múlẹ̀ tó wúlò, àpapọ̀ àwọn mọ́tò onílà àti àwọn ìpìlẹ̀ granite ti tún àwọn ìlànà ti àwọn ètò ìgbésẹ̀ wafer ṣe. Ní ọjọ́ iwájú nígbà tí ìmọ̀-ẹ̀rọ semiconductor bá tẹ̀síwájú sí àwọn ìlànà 3nm àti 2nm, dájúdájú àwọn ohun èlò granite yóò máa tẹ̀síwájú láti fi agbára ńlá sínú ìdàgbàsókè ilé-iṣẹ́ náà pẹ̀lú àwọn àǹfààní wọn tí a kò le yípadà.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-14-2025