Ninu pq kongẹ ti iṣelọpọ semikondokito, eto gbigbe wafer dabi “laini igbesi aye ti laini iṣelọpọ chirún”, ati iduroṣinṣin ati deede taara pinnu oṣuwọn ikore ti awọn eerun igi. Iran tuntun ti awọn ọna gbigbe wafer ni iyipo daapọ awọn mọto laini pẹlu awọn ipilẹ granite, ati awọn anfani alailẹgbẹ ti awọn ohun elo granite jẹ deede koodu mojuto lati ṣii gbigbe iṣẹ ṣiṣe giga.
Ipilẹ Granite: Ilé “ipilẹ-apata-lile” fun gbigbe iduroṣinṣin
Granite, ti o ti ṣe awọn ọgọọgọrun awọn miliọnu ọdun ti isọdọtun ti ẹkọ-aye, awọn ẹya ipon ati aṣọ ti o wa ni erupe ile ti inu. Iwa adayeba yii jẹ ki o jẹ ohun elo ipilẹ pipe fun awọn ọna gbigbe wafer. Ni agbegbe eka ti awọn yara mimọ semikondokito, giranaiti, pẹlu olusọdi-kekere ultra-kekere ti imugboroja igbona (5-7 × 10⁻⁶ / ℃ nikan), le koju ooru ti ipilẹṣẹ lakoko iṣẹ ohun elo ati ipa ti awọn iyipada iwọn otutu ayika, ni idaniloju iduroṣinṣin ti iwọn ipilẹ ati yago fun iyapa ọna gbigbe ti o fa nipasẹ abuku igbona. Išẹ gbigbọn gbigbọn ti o ni iyasọtọ le yarayara fa awọn gbigbọn ẹrọ ti ipilẹṣẹ lakoko ibẹrẹ, tiipa ati isare ti awọn ọkọ ayọkẹlẹ laini, ati awọn kikọlu ita ti a mu nipasẹ iṣẹ ti awọn ohun elo miiran ni idanileko, pese ipilẹ iduroṣinṣin pẹlu "gbigbọn odo" fun gbigbe wafer.
Nibayi, iduroṣinṣin kemikali ti granite ṣe idaniloju pe ko ni ibajẹ tabi ipata ni awọn idanileko semikondokito nibiti acid ati awọn reagents alkali jẹ iyipada ati mimọ giga ti a nilo, nitorinaa yago fun ipa lori deede gbigbe nitori ti ogbo ohun elo tabi ipolowo idoti. Awọn abuda dada didan ati ipon le ni imunadoko ni idinku isunmọ eruku, pade awọn iṣedede eruku ti ko ni eruku ti awọn yara mimọ ati imukuro eewu ti ibajẹ wafer lati gbongbo.
Ipa "ajọṣepọ goolu" ti awọn ọkọ ayọkẹlẹ laini ati giranaiti
Awọn ọkọ ayọkẹlẹ laini, pẹlu awọn abuda wọn ti ko si idasilẹ gbigbe ẹrọ, isare giga ati iyara esi giga, fifun gbigbe wafer pẹlu awọn anfani ti “yara, deede ati iduroṣinṣin”. Ipilẹ granite n pese aaye atilẹyin to lagbara ati igbẹkẹle fun rẹ. Awọn mejeeji ṣiṣẹ papọ lati ṣaṣeyọri fifo ni iṣẹ. Nigbati moto laini ba n gbe ọkọ wafer lati ṣiṣẹ lori abala orin ipilẹ granite, rigidity ti o lagbara ati iduroṣinṣin ti ipilẹ ṣe idaniloju gbigbe daradara ti agbara awakọ, yago fun pipadanu agbara tabi aisun gbigbe ti o fa nipasẹ abuku ipilẹ.
Iwakọ nipasẹ ibeere fun konge nanoscale, awọn mọto laini le ṣaṣeyọri iṣakoso iṣipopada ipele-micron. Awọn abuda ṣiṣe deede-giga ti awọn ipilẹ granite (pẹlu awọn aṣiṣe flatness ti a ṣakoso laarin ± 1μm) ni pipe ni ibamu pẹlu iṣakoso kongẹ ti awọn ọkọ ayọkẹlẹ laini, ni idaniloju ni apapọ pe aṣiṣe ipo lakoko gbigbe wafer jẹ kere ju ± 5μm. Boya o jẹ tiipa iyara-giga laarin ọpọlọpọ awọn ohun elo ilana tabi paadi kongẹ fun mimu wafer, apapọ ti awọn ẹrọ laini laini ati awọn ipilẹ granite le rii daju “iyapa odo ati jitter odo” ni gbigbe wafer.
Ijẹrisi adaṣe ile-iṣẹ: Ilọsiwaju meji ni ṣiṣe ati oṣuwọn ikore
Lẹhin iṣagbega eto gbigbe wafer rẹ, ile-iṣẹ ile-iṣẹ semikondokito agbaye kan ti gba ọkọ ayọkẹlẹ laini kan + ojutu ipilẹ granite, eyiti o pọ si ṣiṣe gbigbe wafer nipasẹ 40%, dinku oṣuwọn iṣẹlẹ ti awọn aṣiṣe bii ikọlu ati aiṣedeede lakoko ilana gbigbe nipasẹ 85%, ati ilọsiwaju oṣuwọn ikore lapapọ ti awọn eerun nipasẹ 6%. Lẹhin data naa wa iṣeduro ti iduroṣinṣin gbigbe ti a pese nipasẹ ipilẹ granite ati iyara giga ati ipa imuṣiṣẹpọ kongẹ ti mọto laini, eyiti o dinku pipadanu ati aṣiṣe ni pataki ninu ilana gbigbe wafer.
Lati awọn ohun-ini ohun elo si iṣelọpọ titọ, lati awọn anfani iṣẹ si iṣeduro ilowo, apapọ awọn ọkọ ayọkẹlẹ laini ati awọn ipilẹ granite ti tun ṣe awọn iṣedede ti awọn ọna gbigbe wafer. Ni ọjọ iwaju nigbati imọ-ẹrọ semikondokito ni ilọsiwaju si ọna 3nm ati awọn ilana 2nm, awọn ohun elo granite yoo tẹsiwaju lati fi agbara agbara si idagbasoke ile-iṣẹ pẹlu awọn anfani ti ko ni rọpo.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-14-2025