Ibusun Granite jẹ paati pataki ni ọpọlọpọ awọn ẹrọ semikondokito.Gẹgẹbi ohun elo iduroṣinṣin ti o ga julọ ati lile, granite jẹ lilo pupọ bi ipilẹ fun ohun elo iṣelọpọ semikondokito.O jẹ ijuwe nipasẹ olùsọdipúpọ igbona kekere rẹ, iduroṣinṣin iwọn giga, ati awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara julọ.Nitori awọn ohun-ini wọnyi, ibusun granite jẹ lilo julọ ni awọn oriṣi mẹta ti awọn ẹrọ semikondokito - ohun elo metrology, ohun elo lithography, ati ohun elo ayewo.
Ohun elo Metrology ni a lo lati ṣe iwọn ati ṣawari awọn iwọn to ṣe pataki ti awọn ẹrọ semikondokito.O ṣe ipa pataki ni mimu didara ati aitasera ti ilana iṣelọpọ semikondokito.Ohun elo metology pẹlu awọn ohun elo bii awọn microscopes opiti, awọn microscopes elekitironi, ati awọn microscopes agbara atomiki (AFMs).Niwọn igba ti iṣẹ awọn ohun elo wiwọn wọnyi da lori iduroṣinṣin wọn, konge, ati resistance gbigbọn, granite jẹ yiyan ti o dara julọ fun ohun elo ibusun wọn.Iṣọkan ati iduroṣinṣin ti ibusun granite pese ipilẹ iduroṣinṣin fun awọn ohun elo, eyiti o mu iṣedede ati igbẹkẹle wọn pọ si.
Ohun elo lithography ni a lo lati ṣe awọn ilana microchip lori wafer.Ilana lithography nilo ipele giga ti konge ati deede lati ṣẹda awọn iyika idiju ati ilọsiwaju iṣẹ ṣiṣe ërún.Ohun elo lithography pẹlu stepper ati awọn ọna ẹrọ ọlọjẹ ti o lo ina lati gbe awọn aworan sori wafer.Bi ilana lithography ṣe ni itara pupọ si gbigbọn ati awọn iyipada igbona, ibusun ti o ni agbara giga jẹ pataki lati rii daju iduroṣinṣin ati atunṣe ti ilana lithography.Awọn ibusun Granite pese iduroṣinṣin ti o nilo ati iṣẹ riru gbigbọn stringent fun awọn ọna ṣiṣe lithography.Ibùsun giranaiti ngbanilaaye stepper tabi ẹrọ ọlọjẹ lati ṣetọju awọn ibatan aye to peye ti o ni idaniloju deede giga ati didara ọja ikẹhin.
Ohun elo ayewo ni a lo lati rii eyikeyi abawọn ninu awọn ẹrọ semikondokito.Ohun elo ayewo pẹlu awọn ọna ṣiṣe bii awọn microscopes ọlọjẹ laser, awọn microscopes elekitironi, ati awọn microscopes opiti.Pẹlu iwulo fun awọn ẹrọ wọnyi lati jẹ deede gaan, iduroṣinṣin ati sooro gbigbọn, awọn ibusun granite jẹ ohun elo pipe.Awọn ohun-ini ẹrọ ti Granite ati iduroṣinṣin onisẹpo ṣe iranlọwọ ni ipinya gbigbọn, eyiti o ṣe imudara deede ti iṣelọpọ ohun elo ayewo.
Ni ipari, ibusun granite ṣe pataki si ile-iṣẹ semikondokito ati pe o lo jakejado ni awọn iru ẹrọ oriṣiriṣi.Awọn ohun-ini alailẹgbẹ rẹ gẹgẹbi iduroṣinṣin onisẹpo, olùsọdipúpọ igbona kekere, ati iduroṣinṣin ẹrọ ti o dara julọ jẹ ki granite jẹ yiyan bojumu fun ohun elo ibusun ti ohun elo semikondokito.Bii ibusun giranaiti ti o ni agbara giga ti n pese iduroṣinṣin to wulo, konge, ati resistance gbigbọn si ohun elo semikondokito, nikẹhin o mu didara ọja ikẹhin dara si.Nitorinaa, lilo ibusun granite ni ohun elo semikondokito jẹ daju lati tẹsiwaju fun awọn ọdun to n bọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 03-2024