Àwọn ohun èlò granite ni a ń lò ní ilé iṣẹ́ semiconductor nítorí àwọn ànímọ́ wọn tó dára, bíi ìdúróṣinṣin gíga, ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré, àti ìdènà gíga sí ìbàjẹ́. Àwọn ànímọ́ wọ̀nyí ló mú kí granite jẹ́ ohun èlò tó dára jùlọ fún kíkọ́ àwọn èròjà tó péye nínú ètò ìyípadà wafer.
Nínú ìlànà ìṣelọ́pọ́ semiconductor, ètò ìgbésẹ̀ wafer kó ipa pàtàkì nínú gbígbé àwọn wafer kọjá oríṣiríṣi ìpele iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́. Pípéye àti ìpéye ni àwọn ohun pàtàkì fún àwọn ètò wọ̀nyí nítorí pé àwọn ìyàtọ̀ díẹ̀ lè ba gbogbo ìlànà náà jẹ́. Nítorí náà, àwọn èròjà nínú ètò ìgbésẹ̀ wafer gbọ́dọ̀ jẹ́ láti inú àwọn ohun èlò tó dára, granite sì bá àwọn ìlànà wọ̀nyẹn mu.
Àwọn apá kan lára ètò ìgbésẹ̀ wafer tí a fi àwọn ohun èlò granite ṣe ni:
1. Tabili Igbale Chuck
A lo tábìlì ìfọ́mọ́lẹ̀ fún gbígbé wáfà náà nígbà tí a bá ń ṣe é, ó sì gbọ́dọ̀ ní ojú tí ó dúró ṣinṣin láti rí i dájú pé wáfà náà kò bàjẹ́. Granite jẹ́ ohun èlò tí ó dára jùlọ fún ṣíṣe tábìlì yìí nítorí pé ó ní ojú tí ó tẹ́jú, tí kò ní ihò tí ó ń pèsè ìdúróṣinṣin gíga àti ìpéye. Ní àfikún, granite ní ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré, èyí tí ó mú kí ó má lè yípadà sí àwọn ìyípadà iwọn otutu tí ó lè fa àwọn ìyípadà oníwọ̀n nínú wáfà náà.
2. Ipele Afẹ́fẹ́
A lo ipele ti o ni afẹfẹ lati gbe wafer naa kọja awọn ipele oriṣiriṣi ti ilana iṣelọpọ. A ṣe apẹrẹ ipele naa lati pese iṣipopada ti ko ni ija, eyiti o nilo deede ati iduroṣinṣin giga. A lo granite ninu ohun elo yii nitori pe o jẹ okuta lile ati lile, o si koju iyipada ati ibajẹ lori akoko.
3. Awọn Itọsọna Iṣipopada Laini
Àwọn ìtọ́sọ́nà ìṣípo tí ó wà ní ìlà ni a ń lò láti darí ìpele tí afẹ́fẹ́ ń gbé, wọ́n sì gbọ́dọ̀ wà ní ipò tí ó tọ́ láti dín àṣìṣe kù. A ń lo granite láti kọ́ ìtọ́sọ́nà yìí nítorí pé ó ní ìdúróṣinṣin àti agbára ẹ̀rọ tí ó tayọ. Ohun èlò náà tún jẹ́ èyí tí kò lè jẹ́ kí ó jẹ́ kí ètò ìtọ́sọ́nà pẹ́ títí.
4. Àwọn Ẹ̀rọ Ìwádìí Ìṣètò
A lo ohun elo Metrology lati wiwọn iwọn ati awọn abuda ti wafer lakoko ilana iṣelọpọ. Granite jẹ ohun elo ti o dara julọ fun kikọ ohun elo yii nitori pe o ni lile giga, fifẹ kekere, ati ibajẹ kekere labẹ ẹru. Ju bẹẹ lọ, iduroṣinṣin ooru ti granite rii daju pe ohun elo metrology duro ṣinṣin ati deede ni akoko.
Ní ìparí, ilé iṣẹ́ semiconductor gbára lé ìṣedéédé àti ìṣedéédé, àwọn ohun èlò granite sì ti fihàn pé wọ́n ṣeé gbẹ́kẹ̀lé gan-an àti pé wọ́n dúró ṣinṣin nínú iṣẹ́ ṣíṣe. Pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn èròjà pàtàkì nínú ètò ìgbékalẹ̀ wafer tí ó nílò ìdúróṣinṣin gíga, ìṣedéédé, àti ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré, àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ ti yíjú sí àwọn ohun èlò granite láti bá àwọn ohun pàtàkì wọ̀nyí mu.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-19-2024