Ninu awọn ẹya wo ni eto gbigbe wafer ni awọn ohun elo granite lo?

Awọn ohun elo Granite jẹ lilo pupọ ni ile-iṣẹ semikondokito nitori awọn abuda ti o dara julọ, gẹgẹbi iduroṣinṣin giga, imugboroja igbona kekere, ati resistance giga si ipata.Awọn ohun-ini wọnyi jẹ ki giranaiti jẹ ohun elo ti o dara julọ fun kikọ awọn ohun elo pipe-giga ni eto gbigbe wafer.

Ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, eto gbigbe wafer ṣe ipa pataki ni gbigbe awọn wafers kọja awọn ipele oriṣiriṣi ti ilana iṣelọpọ.Itọkasi ati deede jẹ awọn ibeere pataki fun awọn eto wọnyi bi paapaa awọn iyapa diẹ le ṣe ewu gbogbo ilana naa.Nitorinaa, awọn paati ninu eto gbigbe wafer gbọdọ jẹ lati awọn ohun elo ti o ni agbara giga, ati granite pade awọn ibeere wọnyẹn.

Diẹ ninu awọn apakan ti eto gbigbe wafer ti a ṣe lati awọn ohun elo granite pẹlu:

1. Igbale Chuck Table

A lo tabili igbale igbale fun didimu wafer lakoko ilana naa, ati pe o gbọdọ ni dada iduroṣinṣin lati rii daju pe wafer ko bajẹ.Granite jẹ ohun elo ti o dara julọ fun ṣiṣe tabili yii nitori pe o ni alapin, dada ti kii ṣe la kọja ti o pese iduroṣinṣin to gaju ati deede.Ni afikun, granite ni iye iwọn kekere ti imugboroosi igbona, ṣiṣe ni sooro si awọn iyipada iwọn otutu ti o le fa awọn iyipada iwọn ni wafer.

2. Air-Ti nso Ipele

Ipele ti o ni afẹfẹ ni a lo lati gbe wafer nipasẹ awọn ipele oriṣiriṣi ti ilana iṣelọpọ.Ipele naa jẹ adaṣe lati pese iṣipopada frictionless, eyiti o nilo pipe ati iduroṣinṣin to gaju.A lo Granite ninu ohun elo yii nitori pe o jẹ lile ati okuta lile, ati pe o koju abuku ati wọ lori akoko.

3. Awọn Itọsọna išipopada Laini

Awọn itọsọna iṣipopada laini ni a lo lati ṣe itọsọna ipele ti afẹfẹ, ati pe wọn gbọdọ wa ni ipo deede lati dinku awọn aṣiṣe.A lo Granite lati kọ itọsọna yii nitori pe o ni iduroṣinṣin ẹrọ ti o dara julọ ati agbara.Ohun elo naa tun jẹ sooro-ibajẹ, eyiti o ṣe idaniloju gigun gigun ti eto itọsọna naa.

4. Metrology Equipment

Ohun elo Metrology ni a lo lati wiwọn awọn iwọn ati awọn ohun-ini ti wafer lakoko ilana iṣelọpọ.Granite jẹ ohun elo pipe fun kikọ ohun elo yii nitori pe o ni lile giga, imugboroja kekere, ati abuku kekere labẹ ẹru.Pẹlupẹlu, iduroṣinṣin gbona giranaiti ṣe idaniloju pe ohun elo metrology wa ni iduroṣinṣin ati deede lori akoko.

Ni ipari, ile-iṣẹ semikondokito da lori pipe ati deede, ati awọn ohun elo granite ti fihan lati jẹ igbẹkẹle pupọ ati iduroṣinṣin ninu ilana iṣelọpọ.Pẹlu ọpọlọpọ awọn paati pataki ninu eto gbigbe wafer ti o nilo iduroṣinṣin giga, konge, ati imugboroja igbona kekere, awọn onimọ-ẹrọ ti yipada si awọn ohun elo granite lati pade awọn ibeere pataki wọnyi.