Àwọn ìpele ìpele granite, pẹ̀lú ìdúróṣinṣin gíga wọn, ìfàsẹ́yìn ìlọ́sókè kékeré, iṣẹ́ dídánmọ́rán tó dára àti àwọn ohun ìní ìdènà-magnetic adayeba, ní ìníyelórí ìlò tí a kò le yípadà nínú àwọn ẹ̀ka ìṣètò gíga àti ìwádìí sáyẹ́ǹsì níbi tí a ti nílò ìpéye àti ìdúróṣinṣin gidigidi. Àwọn wọ̀nyí ni àwọn ipò ìlò pàtàkì rẹ̀ àti àwọn àǹfààní ìmọ̀-ẹ̀rọ:
I. Agbègbè ti ohun elo iṣiṣẹ ti o peye pupọ
Awọn ohun elo iṣelọpọ Semiconductor
Àwọn àpẹẹrẹ ìlò: Tábìlì iṣẹ́ ẹ̀rọ Lithography, ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ dídì wafer, ìpìlẹ̀ ìdúró ohun èlò ìpamọ́.
Iye imọ-ẹrọ:
Iye ìfàsẹ́yìn ooru ti granite jẹ́ (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃ nìkan, èyí tí ó lè dènà ìyípadà otutu nígbà tí a bá ń fi nanoscale hàn ẹ̀rọ lithography (àṣìṣe ìyípadà < 0.1nm ní àyíká ±0.1℃).
Ìṣètò micro-pore inú rẹ̀ ń ṣe ìdènà àdánidá (ìpíndọ́gba ìdènà 0.05 sí 0.1), ó ń dín ìgbọ̀nsẹ̀ (ìwọ̀n < 2μm) kù nígbà tí ẹ̀rọ ìgé gígé iyàrá gíga bá ń gé e, ó sì ń rí i dájú pé ìgbọ̀nsẹ̀ etí Ra ti ìgé gígé wafer kéré sí 1μm.
2. Awọn Ẹrọ Lilọ Ti o peye ati Awọn Ẹrọ Wiwọn Iṣọkan (CMM)
Ẹjọ́ ìbéèrè:
Ipìlẹ̀ ẹ̀rọ ìwọ̀n ìṣọ̀kan mẹ́ta náà gba ìṣètò granite alápapọ̀, pẹ̀lú ìtẹ̀sí ±0.5μm/m. Ní ìdàpọ̀ pẹ̀lú irin ìtọ́sọ́nà afẹ́fẹ́ tí ń léfòó, ó ṣe àṣeyọrí ìṣedéédé ìṣípo nano-level (ìpéye ipò tí a ń tún ṣe ±0.1μm).
Àtẹ iṣẹ́ ẹ̀rọ ìlọ opitika gba ìṣètò àpapọ̀ ti irin granite àti fàdákà. Nígbà tí a bá ń lọ̀ gilasi K9, ìgbì ojú ilẹ̀ náà kéré sí λ/20 (λ=632.8nm), èyí tí ó bá àwọn ohun tí a nílò fún ṣíṣe lẹ́ńsì léṣà mu.
Ii. Pápá Àwọn Ojú Ìwò àti Fọ́tóníkì
Àwọn telestẹ́kì ìràwọ̀ àti àwọn ètò lésà
Awọn ohun elo deede:
Pẹpẹ àtìlẹ́yìn ti ojú àtúnṣe ti teleskopi redio ńlá náà gba ìṣètò oyin granite kan, èyí tí ó fẹ́rẹ̀ ní ìwọ̀n ara rẹ̀ (ìwọ̀n 2.7g/cm³) tí ó sì ní agbára ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ afẹ́fẹ́ líle (ìyípadà < 50μm lábẹ́ afẹ́fẹ́ ìpele 10).
Pẹpẹ opitika ti interferometer lesa nlo granite micro-porous. A fi fifa afẹfẹ pamọ sori reflector naa, pẹlu aṣiṣe fifẹ ti o kere ju 5nm, ti o rii daju pe awọn idanwo opitika ti o peye pupọ bii wiwa igbi agbara.
2. Ṣiṣẹpọ ohun elo opitika to peye
Awọn anfani imọ-ẹrọ:
Ìgbésẹ̀ òòfà àti ìfàmọ́ra iná mànàmáná ti pẹpẹ granite fẹ́rẹ̀ẹ́ dé òdo, ó yẹra fún ipa ìdènà oníná mànàmáná lórí àwọn ìlànà ìṣedéédé bíi ion beam polishing (IBF) àti magnetorheological polishing (MRF). Ìwọ̀n PV tí a fi ṣe àwòṣe ojú ilẹ̀ àti iye PV ti lẹnsi asphical tí a ti ṣe àgbékalẹ̀ lè dé λ/100.
Iii. Àyẹ̀wò Afẹ́fẹ́ àti Pípéye
Syeed ayewo paati ọkọ ofurufu
Àwọn àpẹẹrẹ ìlò: Àyẹ̀wò onípele mẹ́ta ti àwọn abẹ́ ọkọ̀ òfurufú, wíwọ̀n ìrísí àti ìfaradà ipò ti àwọn ẹ̀yà ara ẹ̀rọ aluminiomu ọkọ̀ òfurufú.
Iṣẹ́ pàtàkì:
A fi ìbàjẹ́ elekitirolytic tọ́jú ojú ilẹ̀ ìpìlẹ̀ granite náà láti ṣe àwọn àpẹẹrẹ tó dára (pẹ̀lú àìlera Ra 0.4-0.8μm), tó yẹ fún àwọn ohun tí ń fa ìwádìí tó péye, àṣìṣe wíwá àwòrán abẹ́ náà kò tó 5μm.
Ó lè fara da ẹrù tó ju 200kg ti àwọn ohun èlò ọkọ̀ òfurufú lọ, àti pé ìyípadà ìdúró lẹ́yìn lílò fún ìgbà pípẹ́ kéré sí 2μm/m, ó sì ń bá àwọn ohun tí a béèrè fún ìtọ́jú pípéye ti Ipele 10 nínú iṣẹ́ ọkọ̀ òfurufú mu.
2. Ṣíṣe àtúnṣe àwọn èròjà ìlọsíwájú inertial
Àwọn ohun tí a nílò fún ìmọ̀-ẹ̀rọ: Ìṣàtúnṣe àìdúró ti àwọn ẹ̀rọ inertial bíi gyroscopes àti accelerometers nílò pẹpẹ ìtọ́kasí tí ó dúró ṣinṣin.
Ojutu: A so pẹpẹ granite pọ mọ eto iyasọtọ gbigbọn ti nṣiṣe lọwọ (igbohunsafẹfẹ adayeba < 1Hz), ni ṣiṣe aṣeyọri iwọntunwọnsi giga ti iduroṣinṣin odo-offset ti awọn paati inertial < 0.01°/h ni ayika pẹlu iyara gbigbọn < 1×10⁻⁴g.
Iv. Nanotechnology ati Biomedicine
Scanning probe microscope (SPM) platform
Iṣẹ́ pàtàkì: Gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ fún atomiki force microscopy (AFM) àti scanning tunneling microscopy (STM), ó nílò láti yà sọ́tọ̀ kúrò nínú àwọn ìgbọ̀nsẹ̀ àyíká àti ìyípadà ooru.
Àwọn àmì iṣẹ́:
Pẹpẹ granite náà, pẹ̀lú àwọn ẹsẹ̀ ìyasọtọ̀ ìgbóná ara, lè dín ìwọ̀n ìgbígba ìgbóná ara tí ó wà níta (1-100Hz) kù sí èyí tí ó kéré sí 5%, kí ó lè ṣe àfihàn AFM ní àyíká afẹ́fẹ́ (ìpinnu < 0.1nm).
Ìmọ́lára ìgbóná ara kò ju 0.05μm/℃ lọ, èyí tó bá àwọn ohun tí a béèrè fún àkíyèsí nanoscale ti àwọn àpẹẹrẹ ẹ̀dá alààyè mu ní àyíká ìgbóná ara tí ó dúró ṣinṣin (37℃±0.1℃).
2. Ohun èlò ìdìpọ̀ Biochip
Àpótí ìlò: Pẹpẹ ìṣètò gíga fún àwọn ìṣẹ́jú DNA gba àwọn irin ìtọ́sọ́nà afẹ́fẹ́ granite, pẹ̀lú ìṣedéédé ipò ti ±0.5μm, èyí tí ó ń rí i dájú pé a so sub-micron pọ̀ láàrín ikanni microfluidic àti elekitirodu ìwádìí.
V. Àwọn Ìṣẹ̀lẹ̀ Ìlò Tó Ń Jáde
Ipilẹ ẹrọ iširo kuatomu
Awọn ipenija imọ-ẹrọ: Ifọwọyi Qubit nilo awọn iwọn otutu ti o kere pupọ (ipele mK) ati agbegbe ẹrọ ti o duro ṣinṣin pupọ.
Ojutu: Ohun-ini imugboroosi ooru ti granite ti o kere pupọ (iwọn imugboroosi < 1ppm lati -200℃ si iwọn otutu yara) le baamu awọn abuda isunmọ ti awọn oofa superconducting otutu ti o kere pupọ, ni idaniloju deede tito lẹtọ lakoko apoti awọn eerun kuantum.
2. Ètò Lithography Electron Beam (EBL)
Iṣẹ́ pàtàkì: Ohun ìní ìdábòbò ti pẹpẹ granite (resistivity > 10¹³Ω · m) ń dènà ìtúká ìtànkálẹ̀ eléktrọ́nù. Ní ìdàpọ̀ pẹ̀lú awakọ̀ ìfàmọ́ra electrostatic, ó ń ṣe àṣeyọrí kíkọ àwòrán lithography tí ó péye pẹ̀lú ìwọ̀n ìlà nanoscale (< 10nm).
Àkótán
Lílo àwọn ìpele ..., àti ìṣọ̀kan iṣẹ́-púpọ̀, tí yóò di àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ pàtàkì tí ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún ìran tí ń bọ̀ ti iṣẹ́-ṣíṣe ultra-precision.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-28-2025