Awọn iru ẹrọ konge Granite, pẹlu rigidity giga wọn, olùsọdipúpọ imugboroja kekere, iṣẹ irẹwẹsi ti o dara julọ ati awọn ohun-ini egboogi-oofa, ni iye ohun elo ti ko ni rọpo ni iṣelọpọ opin-giga ati awọn aaye iwadii imọ-jinlẹ nibiti konge ati iduroṣinṣin ti beere gaan. Atẹle ni awọn oju iṣẹlẹ ohun elo akọkọ ati awọn anfani imọ-ẹrọ:
I. Field of Ultra-konge processing ẹrọ
Semikondokito ẹrọ ẹrọ
Awọn oju iṣẹlẹ ohun elo: tabili tabili iṣẹ ẹrọ Lithography, ipilẹ ẹrọ dicing wafer, ipilẹ ohun elo apoti.
Iye imọ ẹrọ:
Olusọdipúpọ ti igbona igbona ti granite jẹ nikan (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃, eyiti o le koju iyipada iwọn otutu lakoko ifihan nanoscale ti ẹrọ lithography (aṣiṣe iṣipopada <0.1nm ni agbegbe ti ± 0.1℃).
Awọn ti abẹnu micro-pore be fọọmu kan adayeba damping (damping ratio 0.05 to 0.1), suppressing awọn gbigbọn (iwọn <2μm) nigba ga-iyara gige nipasẹ awọn dicing ẹrọ ati aridaju wipe eti roughness Ra ti awọn wafer gige jẹ kere ju 1μm.
2. Awọn ẹrọ Lilọ deede ati Awọn ẹrọ Idiwọn Iṣọkan (CMM)
Ọran elo:
Ipilẹ ti ẹrọ wiwọn ipoidojuko mẹta gba ọna kika granite kan, pẹlu fifẹ ti ± 0.5μm/m. Ni idapọ pẹlu iṣinipopada itọsọna lilefoofo afẹfẹ, o ṣaṣeyọri deede iṣipopada ipele nano (tun gbe deede ± 0.1μm).
Awọn worktable ti awọn opitika lilọ ẹrọ adopts a apapo be ti giranaiti ati fadaka, irin. Nigbati o ba n lọ gilasi K9, waviness dada kere ju λ/20 (λ=632.8nm), pade awọn ibeere sisẹ ultra-dan ti awọn lẹnsi laser.
Ii. Aaye ti Optics ati Photonics
Astronomical telescopes ati lesa awọn ọna šiše
Awọn ohun elo ti o wọpọ:
Syeed atilẹyin ti oju iboju ti ẹrọ imutobi redio nla gba eto oyin granite kan, eyiti o jẹ ina ni iwuwo ara ẹni (iwuwo 2.7g/cm³) ati pe o ni idiwọ gbigbọn afẹfẹ ti o lagbara (idibajẹ <50μm labẹ afẹfẹ ipele-10).
Syeed opitika ti interferometer lesa nlo giranaiti micro-porous. Olufihan ti o wa titi nipasẹ adsorption igbale, pẹlu aṣiṣe flatness ti o kere ju 5nm, ni idaniloju iduroṣinṣin ti awọn adanwo opiti pipe-pipe gẹgẹbi wiwa igbi walẹ.
2. Konge opitika paati processing
Awọn anfani imọ-ẹrọ:
Agbara oofa ati adaṣe itanna ti pẹpẹ granite wa nitosi odo, yago fun ipa ti kikọlu eletiriki lori awọn ilana deede gẹgẹbi polishing ion beam polishing (IBF) ati polishing magnetorheological (MRF). Ipeye apẹrẹ oju oju iye PV ti lẹnsi asphical ti a ṣe ilana le de ọdọ λ/100.
Iii. Aerospace ati konge ayewo
Ofurufu paati ayewo Syeed
Awọn oju iṣẹlẹ ohun elo: Ayẹwo onisẹpo mẹta ti awọn abẹfẹlẹ ọkọ ofurufu, wiwọn apẹrẹ ati awọn ifarada ipo ti awọn paati igbekalẹ alloy aluminiomu ti ọkọ ofurufu.
Iṣẹ ṣiṣe bọtini:
Ilẹ ti ipilẹ granite jẹ itọju nipasẹ ipata electrolytic lati ṣe awọn ilana ti o dara (pẹlu roughness ti Ra 0.4-0.8μm), o dara fun awọn iwadii okunfa ti o ga julọ, ati aṣiṣe ti wiwa profaili abẹfẹlẹ jẹ kere ju 5μm.
O le ṣe idiwọ ẹru ti o ju 200kg ti awọn paati ọkọ ofurufu, ati iyipada fifẹ lẹhin lilo igba pipẹ ko kere ju 2μm / m, pade awọn ibeere itọju deede ti Ipele 10 ni ile-iṣẹ aerospace.
2. Iṣatunṣe ti awọn paati lilọ kiri inertial
Awọn ibeere imọ-ẹrọ: Isọdiwọn aimi ti awọn ẹrọ inertial gẹgẹbi awọn gyroscopes ati awọn accelerometers nilo iru ẹrọ itọkasi ultra-idurosinsin.
Solusan: Syeed granite ti wa ni idapo pẹlu eto ipinya gbigbọn ti nṣiṣe lọwọ (igbohunsafẹfẹ adayeba <1Hz), iyọrisi isọdiwọn giga-giga ti iduroṣinṣin aiṣedeede ti awọn paati inertial <0.01°/h ni agbegbe pẹlu isare gbigbọn <1×10⁻⁻g.
Iv. Nanotechnology ati Biomedicine
Ṣiṣayẹwo ẹrọ maikirosikopu (SPM) Syeed
Iṣẹ Core: Gẹgẹbi ipilẹ fun microscopy agbara atomiki (AFM) ati ọlọjẹ tunneling microscopy (STM), o nilo lati ya sọtọ lati awọn gbigbọn ayika ati fiseete gbona.
Awọn afihan iṣẹ ṣiṣe:
Ipele granite, ni apapo pẹlu awọn ẹsẹ iyasọtọ gbigbọn pneumatic, le dinku iwọn gbigbe ti awọn gbigbọn ita gbangba (1-100Hz) si kere ju 5%, iyọrisi ipele ipele atomiki ti AFM ni ayika ayika (ipinnu <0.1nm).
Ifamọ iwọn otutu ko kere ju 0.05μm/℃, eyiti o pade awọn ibeere fun akiyesi nanoscale ti awọn ayẹwo ti ibi ni iwọn otutu igbagbogbo (37 ℃ ± 0.1 ℃).
2. Awọn ohun elo iṣakojọpọ Biochip
Ọran ohun elo: Syeed titọ-giga ti o ga julọ fun awọn eerun apinfunni DNA ṣe itẹwọgba awọn irin-ajo itọsona afẹfẹ granite, pẹlu iṣedede ipo ti ± 0.5μm, aridaju isunmọ sub-micron laarin ikanni microfluidic ati elekiturodu wiwa.
V. Nyoju elo Awọn oju iṣẹlẹ
Ipilẹ ohun elo iširo kuatomu
Awọn italaya imọ-ẹrọ: Ifọwọyi Qubit nilo awọn iwọn otutu kekere pupọ (ipele mK) ati agbegbe ẹrọ iduroṣinṣin-iduroṣinṣin.
Solusan: Ohun-ini imugboroja igbona kekere pupọ ti giranaiti (oṣuwọn imugboroja <1ppm lati -200℃ si otutu yara) le baamu awọn abuda ihamọ ti awọn oofa iwọn otutu kekere-kekere, ni idaniloju deede titete lakoko apoti ti awọn eerun kuatomu.
2. Electron Beam Lithography (EBL) eto
Iṣe bọtini: Ohun-ini idabobo ti pẹpẹ granite (resistivity> 10¹³Ω · m) ṣe idilọwọ pipinka tan ina elekitironi. Ni idapọ pẹlu awakọ spindle elekitiroti, o ṣaṣeyọri ilana kikọ lithography pipe-giga pẹlu iwọn ila nanoscale (<10nm).
Lakotan
Ohun elo ti awọn iru ẹrọ konge giranaiti ti gbooro lati ẹrọ deede ti aṣa si awọn aaye gige-eti gẹgẹbi nanotechnology, fisiksi kuatomu, ati biomedicine. Idije pataki rẹ wa ninu isọdọkan jin ti awọn ohun-ini ohun elo ati awọn ibeere imọ-ẹrọ. Ni ọjọ iwaju, pẹlu isọpọ ti awọn imọ-ẹrọ imuduro idapọpọ (gẹgẹbi awọn nanocomposites graphene-granite) ati awọn imọ-ẹrọ oye oye, awọn iru ẹrọ granite yoo fọ nipasẹ awọn itọsọna ti deede ipele atomiki, iduroṣinṣin iwọn otutu ni kikun, ati isọpọ iṣẹ-ọpọlọpọ, di awọn ipilẹ ipilẹ awọn ipilẹ ti n ṣe atilẹyin iran ti o tẹle ti ultra-precision.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-28-2025