Nínú àwọn ẹ̀ka bíi ṣíṣe semiconductor àti àwọn ohun èlò ìwọ̀n pípéye, ìpéye àwọn pẹpẹ granite ní ń pinnu dídára iṣẹ́ àwọn ohun èlò náà. Láti rí i dájú pé ìpéye pẹpẹ náà bá àwọn ìlànà mu, a gbọ́dọ̀ sapá láti inú apá méjì: wíwá àwọn àmì pàtàkì àti ìbámu pẹ̀lú àwọn ìlànà boṣewa.
Wiwa ifihan pataki: Iṣakoso onisẹpo pupọ ti deede
Wiwa fifẹ: Pinnu "pípẹ́" ti ipele itọkasi
Pípẹ́ ni àmì pàtàkì ti àwọn ìpele ìpele granite, a sì sábà máa ń wọn ín pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ interferometers laser tàbí àwọn ìpele elekitironiki. Ẹ̀rọ interferometer lesa le wọn àwọn ìṣẹ́jú ìṣẹ́jú lórí ìpele náà nípa fífún ìtànṣán lesa jáde àti lílo ìlànà ìdènà ìmọ́lẹ̀, pẹ̀lú ìpéye dé ìpele sub-micron. Ìpele elekitironi naa ń wọn nípa ṣíṣí kiri ní ọ̀pọ̀ ìgbà ó sì ń fa àwòrán onípele mẹ́ta ti ìpele náà láti mọ̀ bóyá àwọn ìtẹ̀sí tàbí àwọn ìsàlẹ̀ agbègbè wà. Fún àpẹẹrẹ, àwọn ìpele granite tí a lò nínú àwọn ẹ̀rọ photolithography semiconductor ni a nílò láti ní ìpẹ̀kun ±0.5μm/m, èyí tí ó túmọ̀ sí wípé ìyàtọ̀ gíga láàárín gígùn mítà 1 kò gbọdọ̀ ju ìdajì mikrometer lọ. Nípasẹ̀ ohun èlò ìwádìí tí ó péye nìkan ni a lè rí i dájú pé ìwọ̀n tí ó muna yìí wà.
2. Ṣíṣàwárí ìtọ́sọ́nà: Rí i dájú pé ìṣípo títọ́ ni “ìtọ́sọ́nà” ti ìṣípo títọ́.
Fún àwọn pẹpẹ tí ó ní àwọn ẹ̀yà ìgbésẹ̀ tí ó péye, ìtọ́sọ́nà ṣe pàtàkì. Àwọn ọ̀nà tí ó wọ́pọ̀ fún wíwá ni ọ̀nà wáyà tàbí ìtọ́sọ́nà léésà. Ọ̀nà wáyà náà ní í ṣe pẹ̀lú dídúró àwọn wáyà irin tí ó péye gíga àti fífi àlàfo láàrín ojú pẹpẹ àti àwọn wáyà irin wéra láti mọ ìtọ́sọ́nà náà. Léésà ìtọ́sọ́nà náà ń lo àwọn ànímọ́ ìtẹ̀síwájú ìlà ti léésà láti ṣàwárí àṣìṣe ìlà ti ojú ìgbékalẹ̀ ti ojú ọ̀nà ìtọ́sọ́nà pèpéle náà. Tí ìtọ́sọ́nà náà kò bá ìwọ̀n mu, yóò mú kí ohun èlò náà yípadà nígbà ìṣíkiri, èyí tí yóò ní ipa lórí ìṣiṣẹ́ tàbí ìwọ́n pípéye.
3. Ṣíṣàwárí ìrísí ojú ilẹ̀: Rí i dájú pé ìfọwọ́kan náà jẹ́ “ìrísí”
Ìrísí ojú ilẹ̀ tí pẹpẹ náà ń yípadà nípa lórí bí a ṣe ń fi àwọn ohun èlò náà sílò. Ní gbogbogbòò, a máa ń lo ìwọ̀n stylus roughness tàbí optical microscope fún wíwá nǹkan. Ohun èlò stylus náà máa ń ṣàkọsílẹ̀ àwọn ìyípadà gíga ti àwòrán microscopic nípa fífi ohun èlò tí ó dára kan ojú ilẹ̀ náà. Àwọn optical microscopes lè kíyèsí ìrísí ojú ilẹ̀ náà ní tààràtà. Nínú àwọn ohun èlò tí ó péye, ìrísí ojú ilẹ̀ àwọn pẹpẹ granite gbọ́dọ̀ wà ní Ra≤0.05μm, èyí tí ó dọ́gba pẹ̀lú ipa bíi dígí, tí ó ń rí i dájú pé àwọn ohun èlò tí ó péye bá ara wọn mu nígbà tí a bá ń fi wọ́n sí ipò, tí ó sì ń yẹra fún ìgbọ̀n tàbí yíyọ tí àwọn àlàfo ń fà.
Awọn iṣedede deedee tẹle: awọn ofin kariaye ati iṣakoso inu ile-iṣẹ
Lọ́wọ́lọ́wọ́, kárí ayé, àwọn ìlànà ISO 25178 àti GB/T 24632 ni a sábà máa ń lò gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ fún pípinnu ìṣedéédé àwọn pẹpẹ granite, àwọn ìpínsọtọ̀ tí ó ṣe kedere sì wà fún àwọn àmì bíi fífẹ̀ àti títọ́. Ní àfikún, àwọn ilé-iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ gíga sábà máa ń gbé àwọn ìlànà ìṣàkóso inú tí ó le koko jù kalẹ̀. Fún àpẹẹrẹ, ìbéèrè fífẹ̀ fún pẹpẹ granite ti ẹ̀rọ photolithography ga ju ìwọ̀n àgbáyé lọ ní 30%. Nígbà tí a bá ń ṣe àwọn ìdánwò, a gbọ́dọ̀ fi àwọn ìwádìí tí a wọ̀n wé àwọn ìlànà tí ó báramu. Àwọn ìpìlẹ̀ tí ó bá àwọn ìlànà mu nìkan ni ó lè rí i dájú pé iṣẹ́ wọn dúró ṣinṣin nínú àwọn ohun èlò tí ó péye.
Ṣíṣàyẹ̀wò ìṣedéédé àwọn ìpele ìpele granite jẹ́ iṣẹ́ àgbékalẹ̀ tí a ń ṣe. Nípa ṣíṣe àyẹ̀wò àwọn àmì pàtàkì bíi fífẹ̀, títọ́, àti àìlágbára ojú ilẹ̀, àti títẹ̀lé àwọn ìlànà àgbáyé àti ti ilé-iṣẹ́ nìkan ni a lè rí ìdánilójú pé ó péye àti ìgbẹ́kẹ̀lé gíga ti ìpele náà, tí ó fi ìpìlẹ̀ tó lágbára lélẹ̀ fún àwọn pápá ìṣelọ́pọ́ gíga bíi semiconductors àti àwọn ohun èlò ìṣedéédé.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-21-2025