Ni awọn aaye bii iṣelọpọ semikondokito ati awọn ohun elo wiwọn konge, deede ti awọn iru ẹrọ konge giranaiti taara pinnu didara iṣẹ ṣiṣe ti ẹrọ naa. Lati rii daju pe iṣedede Syeed ni ibamu pẹlu awọn iṣedede, awọn igbiyanju yẹ ki o ṣe lati awọn aaye meji: wiwa awọn afihan bọtini ati ibamu pẹlu awọn ilana boṣewa.
Wiwa Atọka mojuto: Iṣakoso onisẹpo pupọ ti deede
Wiwa fifẹ: Ṣiṣe ipinnu “flatness” ti ọkọ ofurufu itọkasi
Flatness jẹ itọkasi ipilẹ ti awọn iru ẹrọ konge granite, ati pe o jẹ iwọn nigbagbogbo nipasẹ awọn interferometers laser tabi awọn ipele itanna. Interferometer lesa le ṣe iwọn deede awọn undulations iṣẹju lori dada pẹpẹ nipa gbigbe ina ina lesa ati lilo ilana kikọlu ina, pẹlu deede ti o de ipele iha-micron. Ipele itanna naa ṣe iwọn nipasẹ gbigbe awọn akoko lọpọlọpọ ati fa maapu elegbegbe onisẹpo mẹta ti dada pẹpẹ lati rii boya eyikeyi awọn ilọsiwaju agbegbe tabi awọn ibanujẹ wa. Fun apẹẹrẹ, awọn iru ẹrọ granite ti a lo ninu awọn ẹrọ fọtolithography semikondokito nilo lati ni filati ti ± 0.5μm/m, afipamo pe iyatọ giga laarin ipari mita 1 ko yẹ ki o kọja idaji micrometer kan. Nikan nipasẹ ohun elo wiwa-konge giga le rii daju pe o muna yii.
2. Wiwa titọ: Ṣe idaniloju “itọtọ” ti iṣipopada laini
Fun awọn iru ẹrọ ti o gbe awọn ẹya gbigbe deede, taara jẹ pataki pataki. Awọn ọna ti o wọpọ fun wiwa ni ọna okun waya tabi collimator laser. Ọna okun waya pẹlu idaduro awọn okun onirin irin to gaju ati ifiwera aafo laarin aaye pẹpẹ ati awọn okun irin lati pinnu taara. Collimator lesa nlo awọn abuda itankale laini ti lesa lati ṣawari aṣiṣe laini ti oju fifi sori ẹrọ ti oju-irin itọsọna pẹpẹ. Ti taara ko ba ni ibamu pẹlu boṣewa, yoo fa ki ohun elo yi lọ lakoko gbigbe, ni ipa lori sisẹ tabi deede iwọn.
3. Dada roughness erin: Rii daju awọn "fineness" ti olubasọrọ
Awọn dada roughness ti awọn Syeed ni ipa lori fit ti paati fifi sori. Ni gbogbogbo, mita roughness stylus tabi maikirosikopu opiti kan ni a lo fun wiwa. Irinse iru stylus ṣe igbasilẹ awọn iyipada iga ti profaili airi nipa kikan si dada pẹpẹ pẹlu iwadii itanran. Opitika microscopes le taara daju awọn dada sojurigindin. Ni awọn ohun elo ti o ga-giga, aibikita dada ti awọn iru ẹrọ granite nilo lati wa ni iṣakoso ni Ra≤0.05μm, eyiti o jẹ deede si ipa-digi kan, ni idaniloju pe awọn ohun elo pipe ni ibamu ni wiwọ lakoko fifi sori ẹrọ ati yago fun gbigbọn tabi iṣipopada ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn ela.
Awọn iṣedede deede tẹle: awọn ilana agbaye ati iṣakoso inu ti ile-iṣẹ
Ni lọwọlọwọ, ni kariaye, ISO 25178 ati GB/T 24632 awọn ajohunše ni a lo nigbagbogbo bi ipilẹ fun ṣiṣe ipinnu deede ti awọn iru ẹrọ granite, ati pe awọn isọdi ti o han gbangba wa fun awọn afihan bii fifẹ ati taara. Ni afikun, awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ ti o ga julọ nigbagbogbo ṣeto awọn iṣedede iṣakoso inu okun diẹ sii. Fun apẹẹrẹ, ibeere fifẹ fun pẹpẹ granite ti ẹrọ fọtolithography jẹ 30% ti o ga ju boṣewa agbaye lọ. Nigbati o ba n ṣe awọn idanwo, data wiwọn yẹ ki o ṣe afiwe pẹlu awọn iṣedede ibamu. Awọn iru ẹrọ nikan ti o ni ibamu ni kikun pẹlu awọn iṣedede le rii daju iṣẹ iduroṣinṣin ni ohun elo deede.
Ṣiṣayẹwo deede ti awọn iru ẹrọ konge giranaiti jẹ iṣẹ akanṣe kan. Nikan nipasẹ idanwo muna awọn itọkasi mojuto gẹgẹbi irẹwẹsi, taara, ati aibikita dada, ati ifaramọ si awọn iṣedede kariaye ati ti ile-iṣẹ, le jẹ iṣeduro pipe ati igbẹkẹle ti pẹpẹ, fifi ipilẹ to lagbara fun awọn aaye iṣelọpọ giga-giga gẹgẹbi awọn semikondokito ati awọn ohun elo pipe.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-21-2025