Iduroṣinṣin ati deede ti eyikeyi ẹrọ konge olekenka-lati Awọn ẹrọ wiwọn Iṣọkan titobi nla (CMMs) si ohun elo lithography semikondokito to ti ni ilọsiwaju—ni ipilẹ da lori ipilẹ giranaiti rẹ. Nigbati o ba n ṣe pẹlu awọn ipilẹ monolithic ti iwọn pataki, tabi eka pupọ awọn Paneli Flat Granite, apejọ ati ilana fifi sori jẹ pataki bi konge iṣelọpọ funrararẹ. Nìkan gbigbe kan ti pari nronu ni insufficient; Ayika kan pato ati awọn ibeere igbekalẹ gbọdọ wa ni ipade lati tọju ati lo flatness sub-micron ti a fọwọsi ti nronu.
1. The Foundation: A Idurosinsin, Ipele Sobusitireti
Aṣiṣe ti o wọpọ julọ ni pe nronu granite konge, gẹgẹbi awọn ti a ṣe lati inu iwuwo giga wa ZHHIMG® Black Granite (3100 kg/m³), le ṣe atunṣe ilẹ ti ko duro. Lakoko ti granite nfunni ni iduroṣinṣin to ṣe pataki, o gbọdọ ni atilẹyin nipasẹ eto ti a ṣe apẹrẹ fun ipalọlọ igba pipẹ to kere.
Agbegbe apejọ gbọdọ ṣe ẹya sobusitireti nja kan ti kii ṣe ipele nikan ṣugbọn o tun ti ni arowoto daradara, nigbagbogbo si awọn alaye iwọn ologun fun sisanra ati iwuwo — ti n ṣe afihan $ 1000mm$ nipọn, awọn ilẹ ipakà ultra-lile ni awọn gbọngàn apejọ ti ara ZHHIMG. Ni pataki, sobusitireti yii gbọdọ ya sọtọ si awọn orisun gbigbọn ita. Ninu apẹrẹ ti awọn ipilẹ ẹrọ ti o tobi julọ, a ṣafikun awọn imọran bii moat egboogi-gbigbọn ti o yika awọn yara metrology wa lati rii daju pe ipilẹ funrararẹ jẹ aimi ati ya sọtọ.
2. The Ipinya Layer: Gouting ati Leveling
Olubasọrọ taara laarin awọn granite nronu ati ipilẹ nja ni a yago fun muna. Ipilẹ giranaiti gbọdọ ni atilẹyin ni pato, awọn aaye iṣiro mathematiki lati yago fun aapọn inu ati ṣetọju geometry ifọwọsi rẹ. Eyi nilo eto ipele alamọdaju ati Layer grouting kan.
Ni kete ti nronu naa ti wa ni ipo deede nipa lilo awọn jacks ti o ni ipele adijositabulu tabi awọn wedges, agbara-giga kan, ti ko dinku, grout pipe ti fa sinu iho laarin granite ati sobusitireti. Itọju grout amọja yii ṣe arowoto iwuwo giga kan, wiwo aṣọ ile ti o pin kaakiri iwuwo nronu ni deede, idilọwọ sag tabi ipalọlọ ti o le bibẹẹkọ ṣafihan aapọn inu ati fi ẹnuko alapin lori akoko. Igbesẹ yii ni imunadoko ṣe iyipada nronu granite ati ipilẹ sinu ẹyọkan, iṣọpọ, ati ibi-afẹfẹ.
3. Gbona ati iwọntunwọnsi Igba
Gẹgẹbi pẹlu gbogbo iṣẹ metrology ti o ga julọ, sũru jẹ pataki julọ. Paneli giranaiti, ohun elo grouting, ati sobusitireti nja gbọdọ gbogbo wọn de iwọntunwọnsi gbona pẹlu agbegbe iṣẹ ṣiṣe agbegbe ṣaaju ṣiṣe awọn sọwedowo titete ipari ikẹhin. Ilana yii le gba awọn ọjọ fun awọn panẹli nla pupọ.
Pẹlupẹlu, atunṣe ipele-ti a ṣe ni lilo awọn ohun elo bi laser interferometers ati awọn ipele itanna-gbọdọ ṣee ṣe ni o lọra, awọn ilọsiwaju iṣẹju, gbigba akoko fun ohun elo lati yanju. Awọn onimọ-ẹrọ titunto si wa, ti o ni ibamu si awọn iṣedede metrology agbaye ti o muna (DIN, ASME), loye pe iyara ni ipele ikẹhin le ṣafihan aapọn wiwaba, eyiti yoo dada nigbamii bi fiseete deede.
4. Integration ti irinše ati Aṣa Apejọ
Fun Awọn ohun elo Granite aṣa ti ZHHIMG tabi Awọn Paneli Flat Granite ti o ṣepọ awọn mọto laini, awọn bearings afẹfẹ, tabi awọn irin-irin CMM, apejọ ikẹhin nilo mimọ pipe. Awọn yara apejọ mimọ ti a ṣe iyasọtọ, eyiti o dabi awọn agbegbe ohun elo semikondokito, jẹ pataki nitori paapaa awọn patikulu eruku airi ti o ni idẹkùn laarin giranaiti ati paati irin kan le fa ilọkuro micro-deflection. Gbogbo ni wiwo gbọdọ wa ni mimọ daradara ati ṣayẹwo ṣaaju isunmọ ikẹhin, aridaju iduroṣinṣin iwọn paati ti gbe lọ laisi abawọn sinu eto ẹrọ funrararẹ.
Nipa ibọwọ fun awọn ibeere lile wọnyi, awọn alabara rii daju pe wọn kii ṣe fifi paati kan sori ẹrọ nikan, ṣugbọn wọn ṣaṣeyọri asọye Datum ti o ga julọ fun ohun elo pipe-ipilẹṣẹ ti o ni iṣeduro nipasẹ imọ-jinlẹ ohun elo ZHHIMG ati imọran iṣelọpọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-29-2025