Ni agbaye deede ti iṣelọpọ semikondokito, idanwo ti kii ṣe iparun ti awọn wafers jẹ ọna asopọ bọtini lati rii daju didara awọn eerun igi. Ipilẹ granite ti o dabi ẹnipe ko ṣe pataki ni “akoni ti a ko kọ” ti o pinnu deede wiwa. Bawo ni lori ilẹ ni ipa lori awọn abajade idanwo? Nkan yii yoo ṣe itupalẹ ijinle lati awọn iwọn bii awọn ohun-ini ohun elo ati apẹrẹ igbekalẹ.
1. Ipilẹ Iduroṣinṣin: Awọn anfani adayeba ti granite fi ipilẹ to lagbara fun titọ
1. O tayọ iṣẹ jigijigi
Lakoko iṣẹ ti wafer ti kii ṣe ohun elo idanwo iparun, yiyi motor ati gbigbe ti awọn paati ẹrọ yoo ṣe gbogbo awọn gbigbọn. Ti awọn gbigbọn wọnyi ko ba ni imunadoko, wọn yoo dabaru ni pataki pẹlu iṣedede idanwo naa. Inu ilohunsoke ti granite ti wa ni pẹkipẹki pẹlu awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile gẹgẹbi quartz ati feldspar. Eto alailẹgbẹ rẹ fun ni ni agbara gbigba gbigbọn adayeba, ti o lagbara lati fa diẹ sii ju 90% ti agbara gbigbọn ti ohun elo. Awọn data wiwọn gangan ti olupese semikondokito kan fihan pe lẹhin lilo ipilẹ granite, titobi gbigbọn ti ohun elo wiwa ti dinku lati 12μm si 2μm, ni imunadoko yago fun iyapa ifihan ifihan ti o ṣẹlẹ nipasẹ gbigbọn.
2. Lalailopinpin kekere olùsọdipúpọ ti gbona imugboroosi
Lakoko ilana wiwa, awọn ifosiwewe bii alapapo ohun elo ati awọn iyipada ni iwọn otutu ayika yoo ni ipa lori iduroṣinṣin ti ipilẹ ẹrọ. Awọn ohun elo deede faagun ni pataki nigbati o ba gbona, ṣugbọn olùsọdipúpọ ti imugboroosi gbona ti giranaiti jẹ 1/5 nikan ti ti irin. Paapaa ti iwọn otutu ibaramu ba n yipada nipasẹ 10℃, abuku rẹ le jẹ kọbikita. Eyi ngbanilaaye ipilẹ granite lati pese aaye itọkasi iduroṣinṣin fun ohun elo ayewo, ni idaniloju pe ipo ibatan laarin iwadii ayewo ati wafer wa ni deede ni gbogbo igba ati yago fun awọn aṣiṣe ayewo ti o ṣẹlẹ nipasẹ abuku igbona.
Keji, apẹrẹ kongẹ: Imudara igbekalẹ siwaju mu igbẹkẹle ti iṣawari pọ si
Ga-konge processing ati flatness lopolopo
Ipilẹ giranaiti ti o ga julọ ti ni ilọsiwaju nipasẹ ọna ẹrọ CNC ọna asopọ marun-axis, pẹlu fifẹ ti ± 0.5μm / m, pese itọkasi fifi sori alapin ultra-flat fun ohun elo ayewo. Ninu ayewo wafer, inaro ati ipele ti iwadii ayewo jẹ pataki si awọn abajade ayewo. Ipilẹ giranaiti ti o ga-giga le rii daju pe ipo deede ti iwadii naa, ṣiṣe data ayewo diẹ sii deede ati igbẹkẹle.
2. Adani aṣamubadọgba igbekale
Awọn ipilẹ ẹrọ Granite le jẹ adani fun oriṣiriṣi wafer ohun elo idanwo ti kii ṣe iparun ati awọn ibeere ilana. Fun apẹẹrẹ, lati pade awọn ibeere ti ohun elo ayewo opitika fun iṣaro ina, dada ti ipilẹ ẹrọ le ṣe itọju pataki; Lati pade awọn ibeere fifi sori ẹrọ ti awọn ohun elo idanwo ultrasonic, ipilẹ le ti wa ni ipilẹṣẹ pẹlu awọn iho fifi sori kongẹ ati awọn atẹ okun, muu ni iyara ati fifi sori ẹrọ deede ati idinku awọn iyapa wiwa ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn aṣiṣe fifi sori ẹrọ.
Iii. Iduroṣinṣin igba pipẹ: Din ipadanu konge ti o ṣẹlẹ nipasẹ itọju ohun elo
Granite ni líle giga ati atako yiya ti o lagbara, pẹlu lile Mohs ti 6 si 7, eyiti o jẹ ni igba mẹta ti yiya resistance ti irin lasan. Lakoko awọn iṣẹ ayewo igba pipẹ, dada ti ipilẹ ẹrọ ko ni itara lati wọ ati pe o le ṣetọju ipo deede to dara nigbagbogbo. Ni idakeji, awọn ipilẹ ti a ṣe ti awọn ohun elo miiran le fa awọn ayipada ninu itọkasi fifi sori ẹrọ ti ẹrọ nitori wiwọ ati yiya, nitorina ni ipa lori deede wiwa ati nilo isọdiwọn igbagbogbo ati itọju. Igbesi aye iṣẹ pipẹ ati iduroṣinṣin giga ti ipilẹ granite ni imunadoko idinku igbohunsafẹfẹ ti itọju ohun elo ati dinku eewu ti isonu deede ti o le waye lakoko ilana itọju naa.
Lati mọnamọna mọnamọna, resistance ooru si apẹrẹ kongẹ, gbogbo ẹya ti ipilẹ granite jẹ aabo aabo deede ti idanwo ti kii ṣe iparun ti awọn wafers. Ni akoko iṣelọpọ semikondokito ode oni ti o lepa pipe pipe, yiyan ipilẹ granite ti o ni agbara giga dabi fifi afikun Layer ti iṣeduro to muna si deede ati igbẹkẹle ti awọn abajade idanwo naa.
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-18-2025