Ni aaye ti ayewo wafer semikondokito, mimọ ti agbegbe mimọ jẹ ibatan taara si ikore ọja. Bii konge ti awọn ilana iṣelọpọ chirún tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju, awọn ibeere fun awọn iru ẹrọ gbigbe ti ohun elo wiwa n di ti o muna. Awọn iru ẹrọ Granite, pẹlu awọn abuda wọn ti itusilẹ ion irin odo ati idoti patiku kekere, ti kọja awọn ohun elo irin alagbara ibile ati di ojutu ti o fẹ julọ fun ohun elo ayewo wafer.
Granite jẹ apata igneous adayeba ti o kun julọ ti awọn ohun alumọni ti kii ṣe irin gẹgẹbi quartz, feldspar ati mica. Yi ti iwa yoo fun o ni anfani ti odo irin dẹlẹ Tu. Ni idakeji, irin alagbara, bi ohun alloy ti awọn irin gẹgẹbi irin, chromium ati nickel, jẹ itara si ipata elekitiroki lori oju rẹ nitori ibajẹ ti omi oru ati ekikan tabi awọn gaasi ipilẹ ni agbegbe yara mimọ, ti o mu ki ojoriro ti awọn ions irin bii Fe²⁺ ati Cr³⁺. Ni kete ti awọn ions kekere wọnyi so mọ dada ti wafer, wọn yoo yi awọn ohun-ini itanna ti ohun elo semikondokito ni awọn ilana atẹle gẹgẹbi fọtolithography ati etching, fa fifa foliteji ala ti transistor, ati paapaa yorisi awọn iyika kukuru ninu Circuit naa. Awọn data idanwo igbekalẹ ọjọgbọn fihan pe lẹhin ti pẹpẹ granite ti farahan nigbagbogbo si iwọn otutu yara mimọ ati agbegbe ọriniinitutu (23 ± 0.5 ℃, 45% ± 5% RH) fun awọn wakati 1000, itusilẹ ti awọn ions irin kere ju opin wiwa (<0.1ppb). Oṣuwọn abawọn ti awọn wafers ti o ṣẹlẹ nipasẹ idoti ion irin nigba lilo awọn iru ẹrọ irin alagbara le jẹ giga bi 15% si 20%.
Ni awọn ofin ti iṣakoso idoti patiku, awọn iru ẹrọ granite tun ṣe ni iyasọtọ daradara. Awọn yara mimọ ni awọn ibeere giga gaan fun ifọkansi ti awọn patikulu ti daduro ni afẹfẹ. Fun apẹẹrẹ, ni ISO Class 1 cleanrooms, awọn nọmba ti 0.1μm patikulu laaye fun mita onigun ko koja 10. Paapa ti o ba awọn alagbara, irin Syeed ti koja polishing itọju, o le tun gbe awọn irin idoti tabi ohun elo afẹfẹ peeling ni pipa nitori awọn ipa ita gẹgẹbi gbigbọn ohun elo ati iṣẹ eniyan, eyiti o le dabaru pẹlu wiwa oju-ọna opopona tabi ibere. Awọn iru ẹrọ Granite, pẹlu ipilẹ nkan ti o wa ni erupe ile (iwuwo ≥2.7g/cm³) ati lile giga (6-7 lori iwọn Mohs), ko ni itara lati wọ tabi fifọ lakoko lilo igba pipẹ. Awọn wiwọn wiwọn fihan pe wọn le dinku ifọkansi ti awọn patikulu ti daduro ni afẹfẹ ti agbegbe ohun elo wiwa nipasẹ diẹ sii ju 40% ni akawe si awọn iru ẹrọ irin alagbara, mimu imunadoko awọn ipele ipele mimọ.
Ni afikun si awọn abuda mimọ rẹ, iṣẹ ṣiṣe okeerẹ ti awọn iru ẹrọ granite tun ti kọja ti irin alagbara. Ni awọn ofin ti imuduro igbona, olùsọdipúpọ rẹ ti imugboroosi igbona jẹ nikan (4-8) ×10⁻⁶/℃, o kere ju idaji ti irin alagbara (nipa 17 × 10⁻⁶/℃), eyiti o le ṣetọju deede ipo ohun elo wiwa nigbati iwọn otutu ninu yara mimọ ba yipada. Iwa damping ti o ga julọ (ipin idamu> 0.05) le mu gbigbọn ohun elo jẹ ni iyara ati ṣe idiwọ iwadii wiwa lati gbigbọn. Agbara ipata ti ara rẹ jẹ ki o duro ni iduroṣinṣin paapaa nigba ti o farahan si awọn olomi photoresist, awọn gaasi etching ati awọn kemikali miiran laisi iwulo fun aabo ibora afikun.
Lọwọlọwọ, awọn iru ẹrọ granite jẹ lilo pupọ ni awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ wafer ti ilọsiwaju. Awọn data fihan pe lẹhin gbigba pẹpẹ giranaiti, oṣuwọn aiṣedeede ti wiwa patiku dada wafer ti dinku nipasẹ 60%, iwọn iwọn ohun elo ti pọ si ni igba mẹta, ati pe idiyele iṣelọpọ lapapọ ti lọ silẹ nipasẹ 25%. Bi ile-iṣẹ semikondokito ti nlọ si ọna titọ ti o ga julọ, awọn iru ẹrọ granite, pẹlu awọn anfani akọkọ wọn gẹgẹbi itusilẹ ion irin odo ati idoti patiku kekere, yoo tẹsiwaju lati pese iduroṣinṣin ati atilẹyin igbẹkẹle fun ayewo wafer, di ipa pataki ti o n wa ilọsiwaju ti ile-iṣẹ naa.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-20-2025