Ni iṣelọpọ semikondokito, ẹrọ fọtolithography jẹ ẹrọ bọtini ti o pinnu deede ti awọn eerun igi, ati ipilẹ granite, pẹlu awọn abuda pupọ rẹ, ti di paati pataki ti ẹrọ fọtolithography.
Iduro gbigbona: “Asà” lodi si Awọn iyipada iwọn otutu
Nigbati ẹrọ fọtolithography ba n ṣiṣẹ, o nmu iwọn ooru lọpọlọpọ. Paapaa iyipada iwọn otutu ti 0.1℃ nikan le fa ibajẹ ti awọn paati ohun elo ati ni ipa lori deede fọtolithography. Olusọdipúpọ ti igbona igbona ti granite jẹ kekere pupọ, nikan 4-8 × 10⁻⁶ / ℃, eyiti o jẹ isunmọ 1/3 ti irin ati 1/5 ti ti alloy aluminiomu. Eyi ngbanilaaye ipilẹ granite lati ṣetọju iduroṣinṣin iwọn nigbati ẹrọ fọtolithography nṣiṣẹ fun igba pipẹ tabi nigbati iwọn otutu ayika ba yipada, ni idaniloju ipo deede ti awọn paati opiti ati awọn ẹya ẹrọ.
Super anti-gbigbọn išẹ: Awọn "kanrinkan" ti o fa gbigbọn
Ninu ile-iṣẹ semikondokito kan, iṣẹ ti ohun elo agbegbe ati gbigbe eniyan le ṣe ipilẹṣẹ awọn gbigbọn. Granite ni iwuwo giga ati sojurigindin lile, ati pe o ni awọn ohun-ini rirọ ti o dara julọ, pẹlu ipin ọririn 2 si awọn akoko 5 ti awọn irin. Nigbati awọn gbigbọn ita ti gbejade si ipilẹ granite, ija laarin awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile ti inu yi iyipada agbara gbigbọn sinu agbara ooru fun itọpa, eyi ti o le dinku gbigbọn ni igba diẹ, gbigba ẹrọ fọtolithography lati mu iduroṣinṣin pada ni kiakia ati yago fun gbigbọn tabi aiṣedeede ti ilana fọtolithography nitori gbigbọn.
Iduroṣinṣin Kemikali: “Olutọju” ti Ayika mimọ
Inu inu ẹrọ fọtolithography kan wa si olubasọrọ pẹlu ọpọlọpọ awọn media kemikali, ati awọn ohun elo irin lasan jẹ itara si ipata tabi itusilẹ ti awọn patikulu. Granite jẹ ti awọn ohun alumọni gẹgẹbi quartz ati feldspar. O ni awọn ohun-ini kemikali iduroṣinṣin ati resistance ipata to lagbara. Lẹhin ti a fi sinu acid ati awọn ojutu alkali, ipata dada jẹ kekere pupọ. Nibayi, eto ipon rẹ n ṣe ipilẹṣẹ fere ko si idoti tabi eruku, ni ibamu pẹlu awọn ibeere ti awọn iṣedede yara mimọ ti o ga julọ ati idinku eewu ti ibajẹ wafer.
Imudaramu ti n ṣiṣẹ: “ohun elo to bojumu” fun ṣiṣẹda awọn ipilẹ to peye
Awọn ohun elo pataki ti ẹrọ fọtolithography nilo lati fi sori ẹrọ lori oju-itọka itọkasi to gaju. Ipilẹ inu ti giranaiti jẹ aṣọ ile ati pe o rọrun lati ni ilọsiwaju si pipe ti o ga julọ nipasẹ lilọ, didan ati awọn imuposi miiran. Ifilelẹ rẹ le de ọdọ ≤0.5μm/m, ati roughness dada Ra jẹ ≤0.05μm, pese ipilẹ fifi sori kongẹ fun awọn paati bii awọn lẹnsi opiti.
Igbesi aye gigun ati laisi itọju: Awọn “awọn irinṣẹ didasilẹ” fun idinku idiyele
Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn ohun elo irin ti o ni itara si rirẹ ati fifọ lori lilo igba pipẹ, granite ko nira lati faragba abuku ṣiṣu tabi fifọ labẹ awọn ẹru deede, ati pe ko nilo itọju dada, nitorinaa yago fun eewu ti peeling ibora ati idoti. Ni awọn ohun elo ti o wulo, lẹhin lilo fun ọpọlọpọ ọdun, awọn afihan iṣẹ ṣiṣe bọtini ti ipilẹ granite le tun duro ni iduroṣinṣin, idinku iṣẹ ati awọn idiyele itọju ti ẹrọ naa.
Lati iduroṣinṣin igbona, idena gbigbọn si inertness kemikali, awọn abuda pupọ ti ipilẹ granite ni pipe ni ibamu pẹlu awọn ibeere ti ẹrọ fọtolithography. Bi ilana iṣelọpọ chirún tẹsiwaju lati dagbasoke si ọna pipe ti o ga julọ, awọn ipilẹ granite yoo tẹsiwaju lati ṣe ipa ti ko ni rọpo ni aaye iṣelọpọ semikondokito.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-20-2025