Nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ semiconductor, ẹ̀rọ photolithography jẹ́ ohun èlò pàtàkì tí ó ń pinnu ìṣedéédé àwọn eerun, àti ìpìlẹ̀ granite, pẹ̀lú àwọn ànímọ́ rẹ̀ tó pọ̀, ti di ohun pàtàkì nínú ẹ̀rọ photolithography.
Iduroṣinṣin Ooru: "Aabo" lodi si Awọn Iyipada Ooru
Nígbà tí ẹ̀rọ photolithography bá ń ṣiṣẹ́, ó máa ń mú ooru púpọ̀ jáde. Kódà ìyípadà iwọ̀n otútù tó jẹ́ 0.1℃ nìkan lè fa ìyípadà nínú àwọn ẹ̀yà ohun èlò náà, kí ó sì ní ipa lórí ìṣedéédé photolithography. Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti granite kéré gan-an, 4-8 ×10⁻⁶/℃ nìkan, èyí tó jẹ́ nǹkan bí 1/3 ti irin àti 1/5 ti alloy aluminiomu. Èyí ń jẹ́ kí ìpìlẹ̀ granite lè dúró ṣinṣin nígbà tí ẹ̀rọ photolithography bá ń ṣiṣẹ́ fún ìgbà pípẹ́ tàbí nígbà tí iwọ̀n otútù àyíká bá yípadà, èyí sì ń rí i dájú pé àwọn ẹ̀yà opitika àti àwọn ètò ẹ̀rọ wà ní ipò tó péye.
Iṣẹ́ tó ń dènà ìgbọ̀nsẹ̀ tó ga jù: “Sóńgì” tó ń gba ìgbọ̀nsẹ̀
Nínú ilé iṣẹ́ semiconductor kan, iṣẹ́ àwọn ohun èlò tó yí i ká àti ìṣíkiri àwọn ènìyàn lè mú kí ìró gbọ̀n-gbọ̀n. Granite ní ìwọ̀n gíga àti ìrísí líle, ó sì ní àwọn ànímọ́ ìró gbọ̀n-gbọ̀n tó dára, pẹ̀lú ìpíndọ́gba ìró gbọ̀n-gbọ̀n ní ìlọ́po méjì sí márùn-ún ju ti àwọn irin lọ. Nígbà tí a bá gbé ìró gbọ̀n-gbọ̀n sí ìpìlẹ̀ granite, ìforígbárí láàárín àwọn kirisita ohun alumọ́ni inú máa ń yí agbára ìró gbọ̀n-gbọ̀n padà sí agbára ooru fún ìtújáde, èyí tó lè dín ìró gbọ̀n-gbọ̀n kù ní àkókò kúkúrú, èyí tó ń jẹ́ kí ẹ̀rọ photolithography mú ìdúróṣinṣin padà kíákíá kí ó sì yẹra fún ìfọ́ tàbí àìtọ́ ti àwòrán photolithography nítorí ìró gbọ̀n-gbọ̀n.
Iduroṣinṣin kemikali: "Olutọju" Ayika Mimọ
Inú ẹ̀rọ photolithography máa ń kan àwọn ohun èlò kẹ́míkà onírúurú, àwọn ohun èlò irin lásán sì máa ń jẹ́ kí wọ́n jẹrà tàbí kí wọ́n tú àwọn èròjà jáde. Granite ní àwọn ohun alumọ́ni bíi quartz àti feldspar. Ó ní àwọn ohun ìní kẹ́míkà tó dúró ṣinṣin àti agbára ìdènà ìbàjẹ́ tó lágbára. Lẹ́yìn tí wọ́n bá ti fi omi acid àti alkali sínú rẹ̀, ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kéré gan-an. Ní àkókò kan náà, ìṣètò rẹ̀ tó nípọn kò ní èérún tàbí eruku, ó ń bá àwọn ìlànà yàrá ìwẹ̀nùmọ́ tó ga jùlọ mu, ó sì ń dín ewu ìbàjẹ́ wafer kù.
Iṣẹ́ àtúnṣe: “Ohun èlò tó dára jùlọ” fún ṣíṣẹ̀dá àwọn àmì tó péye
Àwọn ohun pàtàkì inú ẹ̀rọ photolithography gbọ́dọ̀ wà lórí ojú ibi tí a lè fi ṣe ìtọ́kasí tó péye. Ìṣètò inú granite náà dọ́gba, ó sì rọrùn láti ṣe é dé ibi tí ó yẹ kí ó wà nípasẹ̀ lílọ, dídán àti àwọn ọ̀nà míràn. Ó lè tẹ́jú tó ≤0.5μm/m, àti pé ó lè rọ̀ jù. Ra jẹ́ ≤0.05μm, èyí tó ń pèsè ìpìlẹ̀ ìfipamọ́ pàtó fún àwọn ohun èlò bíi lẹ́ńsì ojú.
Ọjọ́ pípẹ́ àti láìsí ìtọ́jú: Àwọn "irinṣẹ́ mímú" fún ìdínkù owó
Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò irin tí ó lè sú àti fífọ́ nígbà tí a bá lò ó fún ìgbà pípẹ́, granite kì í sábà ní ìbàjẹ́ tàbí ìfọ́ lábẹ́ àwọn ẹrù déédéé, kò sì nílò ìtọ́jú ojú ilẹ̀, èyí sì ń yẹra fún ewu ìfọ́ àti ìbàjẹ́ àwọ̀. Nínú àwọn ohun èlò ìṣe, lẹ́yìn lílo rẹ̀ fún ọ̀pọ̀ ọdún, àwọn àmì iṣẹ́ pàtàkì ti ìpìlẹ̀ granite lè dúró ṣinṣin, èyí tí yóò dín iye owó ìṣiṣẹ́ àti ìtọ́jú àwọn ohun èlò kù.
Láti ìdúróṣinṣin ooru, ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ sí àìfaradà kẹ́míkà, ọ̀pọ̀lọpọ̀ ànímọ́ ìpìlẹ̀ granite bá àwọn ohun tí ẹ̀rọ photolithography béèrè mu dáadáa. Bí iṣẹ́ ṣíṣe chip ṣe ń tẹ̀síwájú sí ìpele tó ga jùlọ, àwọn ìpìlẹ̀ granite yóò máa ṣe ipa tí kò ṣeé yípadà nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-20-2025