Ni awọn aaye gige-eti gẹgẹbi iṣelọpọ chirún semikondokito ati ayewo opiti deede, awọn sensosi pipe-giga jẹ awọn ẹrọ pataki fun gbigba data bọtini. Bibẹẹkọ, awọn agbegbe itanna eletiriki ati awọn ipo ti ara riru nigbagbogbo ja si data wiwọn ti ko pe. Ipilẹ granite, pẹlu kii ṣe oofa, awọn ohun-ini aabo ati iduroṣinṣin ti ara ti o dara julọ, kọ agbegbe wiwọn ti o gbẹkẹle fun sensọ.
Iseda ti kii ṣe oofa ge orisun kikọlu kuro
Awọn sensosi pipe-giga gẹgẹbi awọn sensọ iṣipopada inductive ati awọn iwọn iwọn oofa jẹ itara pupọ si awọn ayipada ninu aaye oofa. Oofa atorunwa ti awọn ipilẹ irin ibile (gẹgẹbi irin ati alloy aluminiomu) le ṣẹda aaye oofa ti o ni idiwọ ni ayika sensọ. Nigbati sensọ ba n ṣiṣẹ, aaye oofa kikọlu ita n ṣe ajọṣepọ pẹlu aaye oofa inu, eyiti o le fa awọn iyapa data wiwọn ni irọrun.
Granite, gẹgẹbi apata igneous adayeba, jẹ ti awọn ohun alumọni gẹgẹbi quartz, feldspar ati mica. Ilana inu rẹ pinnu pe ko ni oofa rara. Fi sensọ sori ipilẹ granite lati yọkuro kikọlu oofa ti ipilẹ lati gbongbo. Ninu awọn ohun elo konge gẹgẹbi awọn microscopes elekitironi ati isọdọtun oofa ti iparun, ipilẹ granite ṣe idaniloju pe sensọ mu deede awọn ayipada arekereke ti ohun ibi-afẹde, yago fun awọn aṣiṣe wiwọn ti o ṣẹlẹ nipasẹ kikọlu oofa.
Awọn abuda igbekalẹ jẹ ipoidojuko pẹlu idabobo itanna
Botilẹjẹpe giranaiti ko ni agbara idabobo adaṣe bi awọn irin, eto ara alailẹgbẹ rẹ tun le ṣe irẹwẹsi kikọlu itanna. Granite jẹ lile ni sojurigindin ati ipon ni igbekalẹ. Eto interlaced ti awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile jẹ idena ti ara. Nigbati awọn igbi itanna eletiriki ita ba tan si ipilẹ, apakan ti agbara ti gba nipasẹ gara ati iyipada sinu agbara ooru, ati apakan ti tan kaakiri ati tuka lori dada gara, nitorinaa dinku kikankikan ti awọn igbi itanna eleto ti o de sensọ naa.
Ni awọn ohun elo ti o wulo, awọn ipilẹ granite nigbagbogbo ni idapo pẹlu awọn apapọ idabobo irin lati ṣe awọn ẹya akojọpọ. Apapo irin naa ṣe idiwọ awọn igbi itanna igbohunsafẹfẹ-giga, ati granite siwaju ṣe irẹwẹsi kikọlu ti o ku lakoko ti o pese atilẹyin iduroṣinṣin. Ninu awọn idanileko ile-iṣẹ ti o kun pẹlu awọn oluyipada igbohunsafẹfẹ ati awọn awakọ, apapọ yii n jẹ ki awọn sensọ ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin paapaa ni agbegbe itanna eletiriki to lagbara.
Ṣe iduroṣinṣin awọn ohun-ini ti ara ati mu igbẹkẹle wiwọn pọ si
Olusọdipúpọ ti igbona igbona ti giranaiti jẹ kekere pupọ (nikan (4-8) ×10⁻⁶/℃), ati iwọn rẹ yipada diẹ diẹ nigbati iwọn otutu ba yipada, ni idaniloju iduroṣinṣin ti ipo fifi sori ẹrọ sensọ. Iṣẹ ṣiṣe rirọ ti o dara julọ le fa awọn gbigbọn ayika ni kiakia ati dinku ipa ti awọn idamu ẹrọ lori awọn wiwọn. Ni wiwọn opiti konge, ipilẹ granite le ṣe idiwọ aiṣedeede ipa ọna opiti ti o fa nipasẹ abuku gbona ati gbigbọn, ni idaniloju deede ati atunwi data wiwọn.
Ninu oju iṣẹlẹ ti wiwa sisanra wafer semikondokito, lẹhin ile-iṣẹ kan gba ipilẹ granite, aṣiṣe wiwọn dinku lati ± 5μm si laarin ± 1μm. Ninu fọọmu ati ayewo ifarada ipo ti awọn paati afẹfẹ, eto wiwọn nipa lilo ipilẹ granite kan ti ni ilọsiwaju atunṣe data nipasẹ diẹ sii ju 30%. Awọn ọran wọnyi ṣe afihan ni kikun pe ipilẹ granite ṣe alekun igbẹkẹle wiwọn ti awọn sensosi pipe-giga nipa imukuro kikọlu itanna ati imuduro agbegbe ti ara, ti o jẹ ki o jẹ paati bọtini pataki ni aaye wiwọn konge ode oni.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-20-2025