Ni aaye iṣelọpọ semikondokito, bi ohun elo mojuto ti o pinnu deede ti ilana iṣelọpọ chirún, iduroṣinṣin ti agbegbe inu ti ẹrọ fọtolithography jẹ pataki pataki. Lati inu ayọ ti orisun ina ultraviolet ti o ga julọ si iṣẹ ti pẹpẹ iṣipopada iṣipopada nanoscale, ko le si iyapa diẹ ninu gbogbo ọna asopọ. Awọn ipilẹ Granite, pẹlu lẹsẹsẹ awọn ohun-ini alailẹgbẹ, ṣafihan awọn anfani ti ko lẹgbẹ ni idaniloju iṣẹ iduroṣinṣin ti awọn ẹrọ fọtolithography ati imudara iṣedede fọtolithography.
Dayato si itanna shielding iṣẹ
Inu inu ẹrọ fọtolithography kan kun fun agbegbe itanna eletiriki kan. kikọlu itanna (EMI) ti ipilẹṣẹ nipasẹ awọn paati bii awọn orisun ina ultraviolet to gaju, awọn awakọ awakọ, ati awọn ipese agbara igbohunsafẹfẹ giga, ti a ko ba ṣakoso ni imunadoko, yoo kan iṣẹ ṣiṣe ti awọn paati itanna to peye ati awọn eto opiti laarin ẹrọ naa. Fun apẹẹrẹ, kikọlu le fa awọn iyapa diẹ ninu awọn ilana fọtolithography. Ni awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju, eyi to lati ja si awọn asopọ transistor ti ko tọ lori chirún, ni pataki idinku ikore ërún.
Granite jẹ ohun elo ti kii ṣe irin ati pe ko ṣe itanna funrararẹ. Ko si iṣẹlẹ ifasilẹ itanna ti o ṣẹlẹ nipasẹ gbigbe ti awọn elekitironi ọfẹ inu bi ninu awọn ohun elo ti fadaka. Iwa yii jẹ ki o jẹ ara aabo itanna eletiriki, eyiti o le ṣe idiwọ ọna gbigbe ti kikọlu itanna inu inu. Nigbati aaye oofa omiiran ti ipilẹṣẹ nipasẹ orisun kikọlu itanna ita ita tan kaakiri si ipilẹ giranaiti, nitori giranaiti kii ṣe oofa ati pe ko le ṣe magnetized, aaye oofa miiran jẹ soro lati wọ inu, nitorinaa aabo awọn paati pataki ti ẹrọ fọtolithography ti a fi sori ipilẹ, gẹgẹbi awọn sensosi konge ati awọn lẹnsi lẹnsi opiti ti awọn ẹrọ iṣatunṣe awọn ohun elo gbigbe, lati ọna gbigbe ni deede ati awọn ohun elo elekitiro. photolithography ilana.
O tayọ igbale ibamu
Nitoripe ina ultraviolet to gaju (EUV) ni irọrun gba nipasẹ gbogbo awọn nkan, pẹlu afẹfẹ, awọn ẹrọ lithography EUV gbọdọ ṣiṣẹ ni agbegbe igbale. Ni aaye yii, ibaramu ti awọn paati ohun elo pẹlu agbegbe igbale di pataki pataki. Ni igbale, awọn ohun elo le tu, desorb ati tu gaasi silẹ. Gaasi ti a ti tu silẹ kii ṣe gbigba ina EUV nikan, idinku kikankikan ati ṣiṣe gbigbe ti ina, ṣugbọn tun le ṣe ibajẹ awọn lẹnsi opiti. Fun apẹẹrẹ, oru omi le oxidize awọn lẹnsi, ati awọn hydrocarbons le gbe awọn ipele erogba sori awọn lẹnsi naa, ni pataki ni ipa lori didara lithography.
Granite ni awọn ohun-ini kemikali iduroṣinṣin ati pe ko ni itusilẹ gaasi ni agbegbe igbale. Gẹgẹbi idanwo alamọdaju, ni agbegbe igbale ẹrọ fọtolithography ti afọwọṣe (gẹgẹbi agbegbe igbale ultra-mito ninu eyiti eto opiti itanna ati eto opiti aworan ni iyẹwu akọkọ ti wa, ti o nilo H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ, iwọn kekere ti o kere ju ti iwọn kekere lọ), iwọn kekere ti o kere ju ti iwọn kekere lọ). ti awọn ohun elo miiran gẹgẹbi awọn irin. Eyi ngbanilaaye inu inu ẹrọ fọtolithography lati ṣetọju alefa igbale giga ati mimọ fun igba pipẹ, aridaju gbigbe giga ti ina EUV lakoko gbigbe ati agbegbe lilo ultra-mimọ fun awọn lẹnsi opiti, gigun igbesi aye iṣẹ ti eto opiti, ati imudara iṣẹ gbogbogbo ti ẹrọ fọtolithography.
Agbara gbigbọn ti o lagbara ati iduroṣinṣin gbona
Lakoko ilana fọtolithography, konge ni ipele nanometer nilo pe ẹrọ fọtolithography ko gbọdọ ni gbigbọn diẹ tabi abuku gbona. Awọn gbigbọn ayika ti ipilẹṣẹ nipasẹ iṣẹ ti awọn ohun elo miiran ati gbigbe eniyan ni idanileko naa, ati ooru ti a ṣe nipasẹ ẹrọ fọtolithography funrararẹ lakoko iṣẹ, gbogbo le dabaru pẹlu iṣedede fọtolithography. Granite ni iwuwo giga ati sojurigindin lile, ati pe o ni resistance gbigbọn to dara julọ. Eto kristali ohun alumọni inu rẹ jẹ iwapọ, eyiti o le mu agbara gbigbọn mu ni imunadoko ati ki o dinku itankale gbigbọn ni iyara. Awọn data idanwo fihan pe labẹ orisun gbigbọn kanna, ipilẹ granite le dinku titobi gbigbọn nipasẹ diẹ sii ju 90% laarin awọn aaya 0.5. Ti a ṣe afiwe pẹlu ipilẹ irin, o le mu ohun elo pada si iduroṣinṣin diẹ sii ni iyara, ni idaniloju ipo ibatan deede laarin lẹnsi fọtolithography ati wafer, ati yago fun iṣipaya apẹẹrẹ tabi aiṣedeede ti o ṣẹlẹ nipasẹ gbigbọn.
Nibayi, olùsọdipúpọ ti igbona igbona ti granite jẹ kekere pupọ, isunmọ (4-8) ×10⁻⁶/℃, eyiti o kere pupọ ju ti awọn ohun elo irin. Lakoko iṣẹ ti ẹrọ fọtolithography, paapaa ti iwọn otutu inu ba yipada nitori awọn ifosiwewe bii iran ooru lati orisun ina ati ija lati awọn paati ẹrọ, ipilẹ granite le ṣetọju iduroṣinṣin iwọn ati pe kii yoo faragba abuku pataki nitori imugboroja gbona ati ihamọ. O pese iduroṣinṣin ati atilẹyin igbẹkẹle fun eto opiti ati pẹpẹ iṣipopada deede, mimu aitasera ti deede fọtolithography.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-20-2025