Ni aaye ti iṣelọpọ giga-giga ati iwadii imọ-jinlẹ gige-eti, module iṣipopada iwọn-iṣiro ti afẹfẹ afẹfẹ ti di ohun elo bọtini fun iṣẹ ṣiṣe ti o dara ati wiwọn pẹlu iṣẹ ṣiṣe pipe to dara julọ. Ipilẹ konge granite, bi ipilẹ atilẹyin, ni awọn ibeere to muna fun agbegbe iṣẹ, ati awọn ipo ayika to dara ni ipilẹ lati rii daju iṣẹ iduroṣinṣin rẹ ati ipa ti o dara julọ.
Ni akọkọ, iṣakoso iwọn otutu: konge "imuduro"
Botilẹjẹpe a mọ granite fun iduroṣinṣin rẹ, ko ni aabo patapata si awọn iyipada iwọn otutu. Botilẹjẹpe olùsọdipúpọ rẹ ti imugboroosi igbona jẹ kekere, ni gbogbogbo 5-7 ×10⁻⁶/℃, ni awọn oju iṣẹlẹ iṣakoso iṣipopada iwọntunwọnsi, awọn iyipada iwọn otutu arekereke le tun fa awọn iyipada iwọn ati ni ipa lori deede module. Ninu idanileko iṣelọpọ chirún semikondokito, ilana lithography nilo deede ipo ipo danami, ati iwọn otutu ibaramu n yipada nipasẹ 1 ° C, ati ipilẹ granite pẹlu ipari ẹgbẹ kan ti awọn mita 1 le ṣe agbejade imugboroosi laini tabi ihamọ ti 5-7 microns. Yi kekere ayipada ti wa ni zqwq nipasẹ awọn olekenka-konge išipopada module ti awọn air leefofo, eyi ti o jẹ to lati ṣe awọn ërún lithography Àpẹẹrẹ iyapa ati ki o gidigidi din ikore. Nitorinaa, ti o ni ipese pẹlu ipilẹ konge giranaiti ti afẹfẹ lilefoofo ultra-konge išipopada module, iwọn otutu agbegbe ti o bojumu yẹ ki o ṣakoso ni 20 ° C ± 1 ° C, pẹlu iranlọwọ ti ohun elo iwọn otutu igbagbogbo giga-giga, bii iwọn otutu igbagbogbo ati eto imuletutu ọriniinitutu, ibojuwo lemọlemọ ati atunṣe ti iwọn otutu ibaramu, lati rii daju pe awọn iyipada iwọn otutu ni iwọn iwọn kekere, lati rii daju pe iwọn otutu iwọn otutu ni iwọn iwọn kekere, lati rii daju pe iwọn otutu iwọn otutu ti o ga julọ, lati rii daju pe iwọn iwọn otutu ti o ga julọ ni iwọn iwọn kekere,
Keji, iṣakoso ọriniinitutu: bọtini si aabo aabo-ọrinrin “okuta”
Ọriniinitutu jẹ ifosiwewe pataki miiran ti o ni ipa iṣẹ ti ipilẹ granite konge. Ni agbegbe ọriniinitutu giga, granite rọrun lati fa omi oru, eyiti o le ja si isunmi lori dada, eyiti kii ṣe ni ipa lori iduroṣinṣin asopọ ti granite nikan ati module iṣipopada ultra-konge ti leefofo afẹfẹ, ṣugbọn tun le fa ogbara dada ati dinku didan ati deede ni ṣiṣe pipẹ. Ninu idanileko lilọ lẹnsi opiti, ti ọriniinitutu ba ga ju 60% RH fun igba pipẹ, oru omi ti o wa ni oju ilẹ ti ipilẹ granite yoo dabaru pẹlu gbigbe ti esun oju omi gaasi, nitorinaa iwọn wiwọn lẹnsi dinku, ati dada jẹ abawọn. Nitorinaa, ọriniinitutu ojulumo ti agbegbe iṣẹ yẹ ki o wa ni iṣakoso muna laarin 40% -60% RH, eyiti o le ṣe abojuto ati tunṣe ni akoko gidi nipasẹ fifi sori ẹrọ dehumidifiers, awọn sensosi ọriniinitutu ati ohun elo miiran lati yago fun ibajẹ si ipilẹ granite nitori ọriniinitutu giga, ati rii daju iṣiṣẹ didan ti module išipopada ultra-konge ti afẹfẹ leefofo.
Kẹta, iṣeduro mimọ: “olutọju” ti konge
Ipalara ti awọn patikulu eruku si ipilẹ giranaiti konge ti module iṣipopada ultra-precision of air flotation ko le ṣe aibikita. Ni kete ti awọn patikulu kekere wọ aafo fiimu gaasi laarin esun gaasi leefofo loju omi ati ipilẹ granite, wọn le ba iṣọkan ti fiimu gaasi jẹ, mu ija pọ si, ati paapaa yọ dada ti ipilẹ naa, ti o yorisi idinku deede gbigbe. Ninu idanileko iṣẹ-iṣiro-pipe ti ultra-precision ti awọn ẹya aerospace, ti awọn patikulu eruku ti afẹfẹ ba ṣubu lori ipilẹ granite, itọpa iṣipopada ti ohun elo ẹrọ le jẹ iyapa, ti o ni ipa lori iṣedede machining ti awọn apakan. Nitorinaa, agbegbe iṣẹ yẹ ki o wa ni mimọ gaan, de ọdọ 10,000 tabi paapaa awọn ipele ti o ga julọ ti awọn iṣedede mimọ, nipasẹ fifi sori ẹrọ ti awọn ohun elo isọdọtun afẹfẹ, gẹgẹbi awọn asẹ afẹfẹ ti o ga julọ (HEPA), ṣe àlẹmọ awọn patikulu eruku ni afẹfẹ, ni akoko kanna, oṣiṣẹ nilo lati wọ aṣọ ti ko ni eruku, awọn ideri bata, ati bẹbẹ lọ, lati dinku eruku ti eniyan mu. Ṣetọju agbegbe iṣiṣẹ pipe to gaju ti ipilẹ giranaiti ati module išipopada ultra-konge afẹfẹ.
Mẹrin, ipinya gbigbọn: iṣẹ didan ti “paadi mọnamọna”
Gbigbọn ita jẹ ọta ti konge ti module išipopada ultra-konge ti leefofo afẹfẹ. Botilẹjẹpe ipilẹ granite konge ni agbara attenuation gbigbọn kan, gbigbọn agbara-giga le tun fọ opin ifipamọ rẹ. Gbigbọn ti ipilẹṣẹ nipasẹ awọn ijabọ ni ayika ile-iṣẹ ati iṣẹ ti awọn ohun elo ẹrọ nla ti wa ni gbigbe si ipilẹ granite nipasẹ ilẹ, eyiti yoo dabaru pẹlu išedede iṣipopada ti module iṣipopada ultra-konge ti afẹfẹ leefofo. Ni CMM giga-giga, gbigbọn le fa olubasọrọ laarin iwadi idiwon ati iṣẹ-ṣiṣe lati ṣe iwọn lati jẹ riru, ti o fa iyapa ti data wiwọn. Lati le yanju iṣoro yii, o jẹ dandan lati gba awọn igbese ipinya gbigbọn ti o munadoko, gẹgẹbi gbigbe awọn paadi ipinya gbigbọn ni agbegbe fifi sori ẹrọ, ile ipilẹ ipinya gbigbọn, tabi lilo eto ipinya gbigbọn ti nṣiṣe lọwọ lati ṣe aiṣedeede titaniji ita gbangba, ati ṣẹda agbegbe ipalọlọ ati iduroṣinṣin fun ipilẹ konge giranaiti ati afẹfẹ leefofo ultra-konge išipopada module.
Nikan nipa ipade ni kikun awọn ibeere ayika ti iwọn otutu, ọriniinitutu, mimọ ati iṣakoso gbigbọn, ipilẹ konge granite ti module išipopada ultra-konge ti oju omi afẹfẹ le funni ni ere ni kikun si awọn anfani iṣẹ rẹ, pese iṣeduro igbẹkẹle fun awọn iṣẹ ṣiṣe pipe ni awọn aaye pupọ, ati ṣe iranlọwọ fun ile-iṣẹ lati lọ si ọna iṣelọpọ pipe ati ipele iwadii imọ-jinlẹ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 08-2025