Ni awọn aaye ti iṣelọpọ deede ati iwadii imọ-jinlẹ, fifẹ ti awọn iru ẹrọ konge giranaiti jẹ atọka bọtini lati rii daju pe ohun elo. Atẹle jẹ ifihan alaye si ọpọlọpọ awọn ọna wiwa akọkọ ati awọn ilana ṣiṣe wọn fun ọ.
I. Ọna Iwari interferometer lesa
Interferometer lesa jẹ ohun elo ti o fẹ julọ fun wiwa flatness pipe-giga. Mu interferometer laser ZYGO GPI XP gẹgẹbi apẹẹrẹ, ipinnu rẹ le de ọdọ 0.1nm. Nigbati o ba n ṣe awari, kọkọ so orisun ina ti interferometer pẹlu pẹpẹ ki o pin aaye pẹpẹ si awọn agbegbe akoj 50mm × 50mm. Lẹhin naa, data omioto kikọlu ni a gba ni aaye nipasẹ aaye, ati pe data naa ni ibamu ati ṣe itupalẹ nipa lilo iloyepo Zernike lati gba aṣiṣe alapin. Ọna yii wulo fun awọn iru ẹrọ pipe-giga ati pe o le rii awọn aṣiṣe flatness ti ≤0.5μm/m². O jẹ lilo ni igbagbogbo ni wiwa awọn ẹrọ fọtolithography ati awọn iru ẹrọ wiwọn ipoidojuko mẹta-giga.
Ii. Itanna Ipele orun Ọna
Wiwa orun ipele itanna jẹ rọrun lati ṣiṣẹ ati ṣiṣe daradara. Ipele itanna TESA A2 (pẹlu ipinnu ti 0.01μm / m) ti yan ati ṣeto ni ọna 9 × 9 kan pẹlu itọnisọna X / Y axis ti Syeed. Nipa mimuuṣiṣẹpọ gbigba data ifọkanbalẹ ti ipele kọọkan ati lẹhinna lilo ọna square ti o kere ju fun iṣiro, iye flatness le gba ni deede. Ọna yii le ṣe idanimọ imunadoko agbegbe ati awọn ipo isọdi ti pẹpẹ. Fun apẹẹrẹ, iyipada ti 0.2μm laarin iwọn 50mm tun le rii, eyiti o dara fun wiwa iyara ni iṣelọpọ ibi-pupọ.
Iii. Opitika Flat gara Ọna
Ọna alapin opiti o dara fun wiwa awọn iru ẹrọ agbegbe kekere. So kristali alapin opiti ni wiwọ si oju lati ṣe idanwo lori pẹpẹ ki o ṣe akiyesi awọn opin kikọlu ti o ṣẹda laarin wọn labẹ itanna ti orisun ina monochromatic (gẹgẹbi atupa soda). Ti awọn ila naa ba jẹ awọn ila ti o tọ ni afiwe, o tọka si filati to dara. Ti awọn ila ti o tẹ ba han, ṣe iṣiro aṣiṣe alapin ti o da lori iwọn ìsépo adikala. Igi ti o tẹ kọọkan duro fun iyatọ giga ti 0.316μm, ati pe data flatness le ṣee gba nipasẹ iyipada ti o rọrun.
Mẹrin. Iwọn ipoidojuko mẹta ọna Ṣiṣayẹwo ẹrọ
Ẹrọ wiwọn ipoidojuko mẹta le ṣe aṣeyọri wiwọn iwọn-giga ni aaye onisẹpo mẹta. Gbe pẹpẹ granite sori tabili iṣẹ ti ẹrọ wiwọn ki o lo iwadii naa lati gba data ni iṣọkan lati awọn aaye wiwọn pupọ lori oju pẹpẹ. Eto ẹrọ wiwọn awọn ilana ati itupalẹ data wọnyi lati ṣe agbejade ijabọ flatness ti pẹpẹ. Ọna yii ko le rii ipẹlẹ nikan, ṣugbọn tun gba awọn aye jiometirika miiran ti pẹpẹ ni nigbakannaa, ati pe o dara fun wiwa okeerẹ ti awọn iru ẹrọ granite nla.
Ṣiṣakoṣo awọn ọna wiwa wọnyi le ṣe iranlọwọ fun ọ ni deede ṣe iṣiro flatness ti pẹpẹ konge giranaiti ati pese iṣeduro igbẹkẹle fun iṣẹ iduroṣinṣin ti ohun elo konge.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-29-2025