Iyika konge ni iṣelọpọ semikondokito: Nigbati giranaiti pade imọ-ẹrọ micron
1.1 Awọn awari airotẹlẹ ni imọ-jinlẹ ohun elo
Gẹgẹbi ijabọ 2023 SEMI International Semiconductor Association, 63% ti awọn ile-iṣọ ilọsiwaju ti agbaye ti bẹrẹ lati lo awọn ipilẹ granite dipo awọn iru ẹrọ irin ibile. Okuta adayeba yii, eyiti o wa lati inu magma condensation ti o jinlẹ ni Earth, n ṣe atunkọ itan-akọọlẹ ti iṣelọpọ semikondokito nitori awọn ohun-ini alailẹgbẹ rẹ ti ara:
Awọn anfani inertia igbona: olùsọdipúpọ igbona ti granite 4.5 × 10⁻⁶ / ℃ jẹ 1/5 nikan ti ti irin alagbara, ati iduroṣinṣin iwọn ti ± 0.001mm ni itọju ilọsiwaju ti ẹrọ lithography
Awọn abuda ọririn gbigbọn: olùsọdipúpọ edekoyede ti inu jẹ awọn akoko 15 ti o ga ju ti irin simẹnti lọ, gbigba ohun elo ni imunadoko-gbigbọn micro
Iseda oofa odo: imukuro patapata aṣiṣe oofa ni wiwọn laser
1.2 Awọn irin ajo metamorphosis lati mi si fab
Gbigba ipilẹ iṣelọpọ oye ti ZHHIMG ni Shandong gẹgẹbi apẹẹrẹ, nkan ti giranaiti aise nilo lati faragba:
Ṣiṣe-itọka-itọkasi Ultra: ile-iṣẹ ọna asopọ ọna asopọ marun-axis fun awọn wakati 200 ti milling lemọlemọfún, aibikita dada titi de Ra0.008μm
Itọju ti ogbo atọwọda: awọn wakati 48 ti itusilẹ aapọn adayeba ni iwọn otutu igbagbogbo ati idanileko ọriniinitutu, eyiti o mu iduroṣinṣin ọja dara nipasẹ 40%
Keji, kiraki awọn iṣoro pipe mẹfa ti iṣelọpọ semikondokito “ojutu apata”
2.1 Wafer Fragmentation oṣuwọn idinku eni
Afihan ọran: Lẹhin ibi-pipẹ kan ni Ilu Jamani gba pẹpẹ gaasi lilefoofo gaasi wa:
| Wafer opin | idinku oṣuwọn ërún | flatness yewo |
| 12 inches | 67% | ≤0.001mm |
| 18 inches | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Lithographic titete išedede awaridii eni
Eto isanpada iwọn otutu: sensọ seramiki ti a fi sii ṣe abojuto oniyipada apẹrẹ ni akoko gidi ati ṣatunṣe idasi pẹpẹ laifọwọyi
Awọn data wiwọn: labẹ iyipada ti 28 ℃ ± 5 ℃, iṣedede ifibọ n yipada kere ju 0.12μm
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-24-2025