Yọ “agbára àpáta” tí ó wà lẹ́yìn iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor kúrò – Báwo ni àwọn èròjà ìpele granite ṣe lè tún ààlà ìpele ìṣẹ̀dá ërún ṣe?

Iyika Pataki ninu iṣelọpọ semikondokito: Nigbati granite ba pade imọ-ẹrọ micron
1.1 Àwọn àwárí tí a kò retí nínú ìmọ̀ nípa ohun èlò
Gẹ́gẹ́ bí ìròyìn SEMI International Semiconductor Association ti ọdún 2023 ti sọ, 63% àwọn ohun èlò ìṣẹ̀dá tó ti pẹ́ ní àgbáyé ti bẹ̀rẹ̀ sí í lo àwọn ìpìlẹ̀ granite dípò àwọn ìpìlẹ̀ irin ìbílẹ̀. Òkúta àdánidá yìí, tí ó wá láti inú ìtújáde magma nínú ilẹ̀ ayé, ń tún ìtàn ìṣelọ́pọ́ semiconductor ṣe nítorí àwọn ànímọ́ ara rẹ̀ tó yàtọ̀:

Àǹfààní inertia gbígbóná: ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn gbígbóná ti granite 4.5×10⁻⁶/℃ jẹ́ 1/5 ti irin alagbara nìkan, àti pé ìdúróṣinṣin ìwọ̀n ti ±0.001mm ni a ń tọ́jú nínú iṣẹ́ tí ẹ̀rọ lithography ń ṣe nígbà gbogbo.

Àwọn ànímọ́ ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀: iye ìfọ́mọ́ra inú jẹ́ ìgbà 15 tí ó ga ju ti irin tí a fi ṣe é lọ, ó sì ń fa ìgbọ̀nsẹ̀ kékeré ohun èlò dáadáa

Ìwà oofa oofa: paarẹ aṣiṣe oofa patapata ninu wiwọn lesa

1.2 Ìrìn àyípadà láti ọ̀dọ̀ mi sí àgbàyanu
Bí àpẹẹrẹ, tí a bá wo ìpìlẹ̀ iṣẹ́-ọlọ́gbọ́n ti ZHHIMG ní Shandong, a gbọ́dọ̀ ṣe àyẹ̀wò granite kan:

Iṣẹ́ ṣíṣe tí ó péye jùlọ: Ibùdó ìsopọ̀mọ́ra ìsopọ̀ márùn-ún fún wákàtí 200 ti ìlọsíwájú, àìnítórí ojú ilẹ̀ títí dé Ra0.008μm

Ìtọ́jú ọjọ́ ogbó àtọwọ́dá: wákàtí 48 ti ìtújáde wàhálà àdánidá nínú ìdánilẹ́kọ̀ọ́ ooru àti ọriniinitutu déédéé, èyí tí ó mú kí ìdúróṣinṣin ọjà náà pọ̀ sí i ní 40%
Èkejì, ṣe àgbéyẹ̀wò àwọn ìṣòro ìpele mẹ́fà ti ṣíṣe semiconductor "ojútùú àpáta"
2.1 Ètò ìdínkù ìwọ̀n ìpínyà Wafer

Àfihàn ọ̀ràn kan: Lẹ́yìn tí ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá ërún kan ní Germany gba pẹpẹ granite wa tí a fi gáàsì léfòó:

Iwọn ila opin wafer	idinku oṣuwọn eerun	ilọsiwaju titọ
12 inches	67%	≤0.001mm
18 inches	82%	≤0.0005mm

2.2 Ètò ìyípadà ìṣètò ìṣètò Lithographic

Eto isanpada iwọn otutu: sensọ seramiki ti a fi sii ṣe abojuto oniyipada apẹrẹ ni akoko gidi ati ṣatunṣe titẹ pẹpẹ laifọwọyi
Dátà tí a wọ̀n: lábẹ́ ìyípadà 28℃±5℃, ìṣedéédé ìfisípò náà ń yípadà sí 0.12μm