Nínú ayé iṣẹ́-ṣíṣe tí ó péye—níbi tí ìfaradà ti dínkù sí ìsàlẹ̀ 5 microns àti pé àwọn ìparí ojú ilẹ̀ ń súnmọ́ dídára opitika—àwọn irinṣẹ́ tí a gbẹ́kẹ̀lé gbọ́dọ̀ yípadà ju àṣà lọ. Fún ọ̀pọ̀ ọdún, irin àti granite ni ó ń ṣàkóso ìjókòó metrology. Ṣùgbọ́n bí àwọn ilé-iṣẹ́ bíi ẹ̀rọ semiconductor, optics aerospace, àti àwọn ẹ̀rọ ìṣègùn kékeré ti ń tẹ̀síwájú sí àwọn agbègbè níbi tí ìyípadà ooru tàbí ìbàjẹ́ afẹ́fẹ́ kékeré pàápàá ti ń fa àṣìṣe tí kò ṣeé gbà, ẹgbẹ́ tuntun ti àwọn irinṣẹ́ ìtọ́kasí ń yọjú: àwọn tí a ṣe kì í ṣe láti irin tàbí òkúta, ṣùgbọ́n láti inú àwọn ohun èlò amọ̀ ìmọ̀-ẹ̀rọ tí ó ti pẹ́.
Ní ZHHIMG, a ti kọjá fífúnni ní ohun tí a ń béèrè fúnAlákòóso Títọ́ Seramikitàbí àwọn ọjà Ceramic Square Ruler. A tún ń ṣàlàyé ohun tí etí títọ́ lè jẹ́—nípa sísopọ̀ àwọn ohun èlò seramiki tí ó dúró ṣinṣin pẹ̀lú àwòrán òde òní, títí kan afẹ́fẹ́ ìṣàn omi afẹ́fẹ́ wa tí ó ń tàn kálẹ̀, ojútùú kan tí ó ń mú kí ìfọwọ́kan ẹ̀rọ kúrò pátápátá nígbà tí ó ń fúnni ní àtúnṣe ìpele nanometer.
Kí ló dé tí a fi ń ṣe àwọn ohun èlò amọ̀? Ìdáhùn náà bẹ̀rẹ̀ láti ìpele molikula. Láìdàbí irin—èyí tí ó fẹ̀ sí i pẹ̀lú iwọ̀n otútù—tàbí granite—èyí tí, bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó dúró ṣinṣin, ó ṣì ní ihò àti onírúurú—àwọn ohun èlò amọ̀ tí a ṣe bíi zirconia-toughened alumina (ZTA) àti silicon nitride ń fúnni ní porosity tí ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ òdo, líle àrà ọ̀tọ̀ (1400–1800 HV), àti àwọn coefficient expansion thermal tó kéré sí 3–4 µm/m·°C. Èyí túmọ̀ sí pé Ceramics Straight Edge láti ZHHIMG ń pa geometry rẹ̀ mọ́ ní gbogbo àwọn ìyípadà iwọ̀n otútù tí yóò yí àwọn ohun èlò ìbílẹ̀ po pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ microns.
Ṣùgbọ́n ohun èlò nìkan kò tó. Ohun tó ya àwọn olórí seramiki wa sọ́tọ̀ gan-an ni bí wọ́n ṣe ṣe é. Nípa lílo ìfọ́ dáyámọ́ńdì, ìfọ́mọ́ aperture, àti ìfọwọ́sowọ́pọ̀ laser interferometric nínú àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ ISO Class 5, a ní ìfaradà tó dọ́gba ju 0.8 µm lọ lórí 500 mm—tí a fìdí rẹ̀ múlẹ̀ kìí ṣe nígbà tí a bá ń fi ránṣẹ́ nìkan, ṣùgbọ́n tí a kọ sílẹ̀ nínú àwọn ìròyìn ìṣàtúnṣe pípé tí a lè tọ́ka sí gẹ́gẹ́ bí ìlànà NIST àti PTB.Alága Onígun Méjì SeramikiÓ ń ṣe ìdánwò ìdúróṣinṣin nípasẹ̀ ẹ̀rọ alátagbà alátagbà, ó ń rí i dájú pé a di àwọn igun mú láàrín ìṣẹ́jú-àáyá 1 (≈0.5 µm ìyàtọ̀ ní 100 mm).
Àwọn wọ̀nyí kì í ṣe àwọn àlàyé onímọ̀-ẹ̀rọ. Wọ́n jẹ́ òtítọ́ iṣẹ́ fún àwọn oníbàárà tí kò lè ṣe àdéhùn mọ́. Olùpèsè ohun èlò ìwádìí EUV tó gbajúmọ̀ báyìí ń lo Ceramics Straight Ruler wa nìkan fún títún àwọn férémù àtìlẹ́yìn dígí ṣe. “Àwọn ohun èlò ìwádìí irin ń yípadà nígbà tí wọ́n bá ń lo àwọn ìpele gígùn,” onímọ̀-ẹ̀rọ wọn sọ fún wa. “Granite gbé àwọn èròjà. Ṣé ẹ̀yà seramiki náà ni? Ó ti dúró ṣinṣin fún oṣù 18—kò sí ohun tí a nílò láti tún ṣe àtúnṣe rẹ̀.”
Síbẹ̀, ìrísí pípé pàápàá lè bàjẹ́ nípa ìfọwọ́sowọ́pọ̀. Fa ruler kan kọjá ojú ilẹ̀ kan, o sì lè ní ewu ìfọ́ kékeré, ìdènà fíìmù epo, tàbí ìyípadà elastic—ní pàtàkì lórí àwọn irin rọ̀ tàbí àwọn ohun èlò ìfọ́ tí a fi ń dán. Ibẹ̀ ni ìṣẹ̀dá tuntun ZHHIMG ti gbéra pẹ̀lú ruler afẹ́fẹ́ oníṣọ̀nà Custom Ceramic.
Èyí kìí ṣe etí títọ́ seramiki pẹ̀lú àwọn ihò tí a gbẹ́ sínú rẹ̀ nìkan. Ó jẹ́ ètò aerostatic tí a ṣe àgbékalẹ̀ rẹ̀ pátápátá, tí a ṣe nípa lílo ìṣiṣẹ́ omi ìṣirò láti fi afẹ́fẹ́ laminar tí ó dọ́gba hàn ní gbogbo gígùn ruler náà. Nígbà tí a bá fi afẹ́fẹ́ tí ó mọ́, tí ó gbẹ (tàbí nitrogen ní àwọn àyíká tí ó ní ìmọ̀lára), ruler náà máa ń fò ní ìwọ̀n 5–10 microns lórí iṣẹ́ náà—ó máa ń mú kí ìfọwọ́kan ara kúrò nígbà tí ó ń pa ìtòlẹ́sẹẹsẹ pípé mọ́. Àbájáde rẹ̀ ni? Ìwọ̀n àìfọwọ́kan gidi fún fífẹ̀, títọ́, tàbí ìfìdíkalẹ̀ gíga ìgbésẹ̀ múlẹ̀, pẹ̀lú ìtúnṣe sí ±0.2 µm.
Ilé ìwádìí ìṣiṣẹ́ quantum kan ní Switzerland báyìí lo ruler afẹ́fẹ́ onípele 600-mm Custom Ceramic láti ṣe àyẹ̀wò àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ ërún tó ń lo superconducting. “Ohunkóhun tí o bá fara kan—kódà pẹ̀lú stylus onírọ̀rùn—ń mú kí wahala yí iṣẹ́ qubit padà,” onímọ̀ ẹ̀rọ iṣẹ́ wọn ṣàlàyé. “Ruler seramiki tó ń lo afẹ́fẹ́ fún wa ní ìtọ́kasí tí a nílò láìfọwọ́ kan apá náà. Ó ti di ohun pàtàkì fún iṣẹ́ náà.”
Ohun tó mú kí èyí ṣeé ṣe ni ìṣọ̀kan àrà ọ̀tọ̀ ti ZHHIMG ti ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì ohun èlò, ẹ̀rọ ṣíṣe kedere, àti ìmọ̀ nípa ìwọ̀n ọkọ̀. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ọ̀pọ̀ àwọn olùpèsè ń wo àwọn ohun èlò amọ̀ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò ìṣètò, a ń ṣe àtúnṣe wọn gẹ́gẹ́ bí ohun èlò wíwọ̀n. Àwọn àpẹẹrẹ Ceramic Square Ruler wa ní àwọn ẹ̀gbẹ́ tí a fi ẹ̀gbẹ́ ṣe láti dènà ìfọ́, àwọn ẹ̀yìn tí a fi matte ṣe láti dín ìmọ́lẹ̀ kù lábẹ́ ìṣàyẹ̀wò, àti àwọn àmì ìdámọ̀ràn fún àwọn ètò ìran aládàáṣe. Fún àwọn ohun èlò yàrá mímọ́, a máa ń yọ́ àwọn ojú ilẹ̀ sí Ra < 0.02 µm láti dín ìsopọ̀ pàǹtí kù.
Àti nítorí pé gbogbo ohun èlò ló yàtọ̀ síra, a kò gbàgbọ́ nínú ìwọ̀n kan ṣoṣo tó bá gbogbo wọn mu. Ṣé ẹ nílò ẹ̀gbẹ́ Ceramic Straight Edge pẹ̀lú àwọn ikanni afẹ́fẹ́ tó wà nínú rẹ̀ láti mú àwọn wafer tó tinrin nígbà tí a bá ń ṣe àyẹ̀wò? A ti kọ́ ọ. Ṣé ẹ nílòolùdarí onígun mẹ́rinpẹ̀lú àwọn ihò inú tí ó bá àmọ̀ràn ìwádìí CMM rẹ mu? Ṣé o ti ṣe é. Ṣé o fẹ́ afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ seramiki tí ó ní àwọn sensọ̀ ìfúnpá tí a ti so pọ̀ mọ́ àti àwọn ìdáhùn ìpele oní-nọ́ńbà? Èyí ti wà nínú ìdánwò beta pẹ̀lú oníbàárà afẹ́fẹ́ Tier-1.
Àmì ìdánimọ̀ ilé iṣẹ́ ti tẹ̀lé e. Nínú Àtúnyẹ̀wò Global Advanced Metrology Review ti ọdún 2025, wọ́n tọ́ka sí ZHHIMG gẹ́gẹ́ bí ilé iṣẹ́ kan ṣoṣo tó ń fúnni ní ìdílé gbogbo àwọn irinṣẹ́ ìtọ́kasí seramiki tí a fọwọ́ sí—pẹ̀lú àwọn onírúurú tó ń léfòó—pẹ̀lú ìfọwọ́sowọ́pọ̀ onígun mẹ́rin àti ìtọ́pasẹ̀ oní-nọ́ńbà. Ṣùgbọ́n èyí tó ṣe pàtàkì jù ni pé, gbígbà á ń yára kánkán: ó lé ní 60% àwọn àṣẹ ìṣàkóṣo seramiki wa báyìí wá láti ọ̀dọ̀ àwọn ilé iṣẹ́ tí wọ́n ti kà irú àwọn irinṣẹ́ bẹ́ẹ̀ sí “àṣejù”—títí tí wọ́n fi wọn ìyàtọ̀ náà.
Ilé iṣẹ́ ìṣègùn kan tí ó ń ṣe àwọn ohun èlò ìtọ́jú ara tí a fi irin ṣe sí Ceramic Square Ruler wa, wọ́n sì rí ìyọrísí ìkọlù àkọ́kọ́ wọn tí ó pọ̀ sí i ní 22%. “Àwọn ohun èlò ìtọ́jú ara àtijọ́ náà fi àwọn ohun èlò ìtọ́jú ara tí a fi titanium ṣe sílẹ̀,” ni olùdarí QA wọn sọ. “A kò tilẹ̀ mọ̀ títí a fi yípadà. Nísinsìnyí, gbogbo apá ló ń ṣe àyẹ̀wò ojú àti ìrísí ní ìgbìyànjú àkọ́kọ́.”
Nítorí náà, bí o ṣe ń ṣe àyẹ̀wò àtúnṣe metrology rẹ tó ń bọ̀, bi ara rẹ pé: Ṣé ẹ̀kúnrẹ́rẹ́ mi lọ́wọ́lọ́wọ́ ń fi àìdánilójú kún un—tàbí ó ń mú un kúrò?
Tí ìlànà rẹ bá ń ṣiṣẹ́ ní etí tí a lè rí i, ìdáhùn náà lè wà nínú àwọn ohun èlò amọ̀—kì í ṣe gẹ́gẹ́ bí ohun tuntun, ṣùgbọ́n gẹ́gẹ́ bí ohun pàtàkì. Ní ZHHIMG, a kì í ṣe àwọn ohun èlò amọ̀ Ceramic Straight Ruler, Ceramic Square Ruler, tàbí Ceramic Straight Edge nìkan. A ń ṣe àgbékalẹ̀ ìgbẹ́kẹ̀lé sínú gbogbo micron.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-31-2025