Ninu ilana iṣelọpọ semikondokito deede ati eka ti iṣakojọpọ wafer, aapọn igbona dabi “apanirun” ti o farapamọ ninu okunkun, n ṣe idẹruba didara apoti nigbagbogbo ati iṣẹ awọn eerun igi. Lati iyatọ ninu awọn iye iwọn imugboroja igbona laarin awọn eerun ati awọn ohun elo iṣakojọpọ si awọn iyipada iwọn otutu to buruju lakoko ilana iṣakojọpọ, awọn ipa ọna iran ti aapọn gbona jẹ oriṣiriṣi, ṣugbọn gbogbo wọn tọka si abajade ti idinku oṣuwọn ikore ati ni ipa lori igbẹkẹle igba pipẹ ti awọn eerun igi. Ipilẹ granite, pẹlu awọn ohun-ini ohun elo alailẹgbẹ rẹ, ni idakẹjẹ di “oluranlọwọ” ti o lagbara ni ṣiṣe pẹlu iṣoro ti aapọn gbona.
Atayanyan wahala gbona ni apoti wafer
Iṣakojọpọ Wafer jẹ iṣẹ ifowosowopo ti awọn ohun elo lọpọlọpọ. Awọn eerun igi jẹ deede ti awọn ohun elo semikondokito bii ohun alumọni, lakoko ti awọn ohun elo apoti bii awọn ohun elo apoti ṣiṣu ati awọn sobusitireti yatọ ni didara. Nigbati iwọn otutu ba yipada lakoko ilana iṣakojọpọ, awọn ohun elo oriṣiriṣi yatọ pupọ ni iwọn ti imugboroosi gbona ati ihamọ nitori awọn iyatọ nla ninu iyeida ti imugboroja gbona (CTE). Fun apẹẹrẹ, olùsọdipúpọ ti igbona igbona ti awọn eerun ohun alumọni jẹ isunmọ 2.6 × 10⁻⁶ / ℃, lakoko ti olusọdipúpọ ti igbona igbona ti awọn ohun elo mimu resini ti o wọpọ jẹ giga bi 15-20 × 10⁻⁶/℃. Aafo nla yii jẹ ki alefa isunki ti ërún ati ohun elo iṣakojọpọ jẹ asynchronous lakoko ipele itutu agbaiye lẹhin apoti, ti o nfa aapọn gbona gbona ni wiwo laarin awọn meji. Labẹ ipa ilọsiwaju ti aapọn gbona, wafer le ja ati dibajẹ. Ni awọn ọran ti o lewu, o le paapaa fa awọn abawọn apaniyan gẹgẹbi awọn dojuijako chirún, awọn fifọ apapọ solder, ati delamination wiwo, ti o fa ibajẹ si iṣẹ itanna ti chirún ati idinku pataki ninu igbesi aye iṣẹ rẹ. Gẹgẹbi awọn iṣiro ile-iṣẹ, oṣuwọn abawọn ti iṣakojọpọ wafer ti o fa nipasẹ awọn ọran aapọn gbona le jẹ giga bi 10% si 15%, di ifosiwewe bọtini ni ihamọ imudara ati idagbasoke didara giga ti ile-iṣẹ semikondokito.
Awọn anfani abuda ti awọn ipilẹ granite
Olusọdipúpọ kekere ti imugboroja igbona: Granite jẹ akọkọ ti awọn kirisita nkan ti o wa ni erupe ile gẹgẹbi quartz ati feldspar, ati olusọdipúpọ ti imugboroosi gbona jẹ kekere pupọ, ni gbogbogbo lati 0.6 si 5 × 10⁻⁶/℃, eyiti o sunmọ ti awọn eerun ohun alumọni. Iwa yii jẹ ki o jẹ ki lakoko iṣẹ ti ẹrọ iṣakojọpọ wafer, paapaa nigbati o ba pade awọn iyipada iwọn otutu, iyatọ ninu imugboroja igbona laarin ipilẹ granite ati chirún ati awọn ohun elo apoti ti dinku ni pataki. Fun apẹẹrẹ, nigbati iwọn otutu ba yipada nipasẹ 10 ℃, iyatọ iwọn ti pẹpẹ apoti ti a ṣe lori ipilẹ granite le dinku nipasẹ diẹ sii ju 80% ni akawe pẹlu ipilẹ irin ibile, eyiti o dinku aapọn igbona pupọ ti o fa nipasẹ imugboroja igbona asynchronous ati ihamọ, ati pese agbegbe atilẹyin iduroṣinṣin diẹ sii fun wafer.
Iduroṣinṣin gbigbona ti o dara julọ: Granite ni iduroṣinṣin igbona to dayato. Eto inu inu rẹ jẹ ipon, ati awọn kirisita ti wa ni asopọ pẹkipẹki nipasẹ awọn iwe ifowopamosi ionic ati covalent, gbigba fun itọsẹ ooru lọra laarin. Nigbati ohun elo iṣakojọpọ ba gba awọn iyipo iwọn otutu eka, ipilẹ granite le mu ipa ipa ti awọn iyipada iwọn otutu lori ararẹ ati ṣetọju aaye iwọn otutu iduroṣinṣin. Awọn adanwo to wulo fihan pe labẹ iwọn iyipada iwọn otutu ti o wọpọ ti ohun elo apoti (gẹgẹbi ± 5 ℃ fun iṣẹju kan), iyapa iwọn otutu iwọn otutu ti ipilẹ granite ni a le ṣakoso laarin ± 0.1 ℃, yago fun iṣẹlẹ ti ifọkansi aapọn gbona ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iyatọ iwọn otutu agbegbe, ni idaniloju pe wafer wa ninu aṣọ ile kan ati idinku agbegbe igbona iduroṣinṣin jakejado orisun idii.
Rigiditi giga ati gbigbọn gbigbọn: Lakoko iṣẹ ti ẹrọ iṣakojọpọ wafer, awọn ẹya gbigbe ẹrọ inu inu (gẹgẹbi awọn mọto, awọn ẹrọ gbigbe, ati bẹbẹ lọ) yoo ṣe awọn gbigbọn. Ti awọn gbigbọn wọnyi ba tan si wafer, wọn yoo pọ si ibajẹ ti aapọn gbona si wafer. Awọn ipilẹ Granite ni rigidity giga ati lile ti o ga ju ti ọpọlọpọ awọn ohun elo irin lọ, eyiti o le koju kikọlu ti awọn gbigbọn ita ni imunadoko. Nibayi, eto inu inu alailẹgbẹ rẹ funni ni iṣẹ ṣiṣe riru gbigbọn to dara julọ ati mu ki o tu agbara gbigbọn ni iyara. Awọn data iwadi fihan pe ipilẹ granite le dinku gbigbọn-igbohunsafẹfẹ giga (100-1000Hz) ti ipilẹṣẹ nipasẹ iṣẹ ti awọn ohun elo apoti nipasẹ 60% si 80%, ni pataki idinku ipa ipapọpọ ti gbigbọn ati aapọn gbona, ati siwaju sii ni idaniloju iṣeduro giga ati igbẹkẹle giga ti apoti wafer.
Ipa ohun elo to wulo
Ninu laini iṣelọpọ iṣakojọpọ wafer ti ile-iṣẹ iṣelọpọ semiconductor ti a mọ daradara, lẹhin iṣafihan ohun elo apoti pẹlu awọn ipilẹ granite, awọn aṣeyọri iyalẹnu ti ṣe. Da lori igbekale data ayewo ti 10,000 wafers lẹhin apoti, ṣaaju gbigba ipilẹ granite, oṣuwọn abawọn ti wafer warping ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona jẹ 12%. Sibẹsibẹ, lẹhin ti o yipada si ipilẹ granite, oṣuwọn abawọn ti lọ silẹ ni kiakia si laarin 3%, ati pe oṣuwọn ikore dara si daradara. Pẹlupẹlu, awọn idanwo igbẹkẹle igba pipẹ ti fihan pe lẹhin awọn akoko 1,000 ti iwọn otutu giga (125 ℃) ati iwọn otutu kekere (-55 ℃), nọmba awọn ikuna apapọ solder ti chirún ti o da lori package ipilẹ granite ti dinku nipasẹ 70% ni akawe pẹlu package ipilẹ ibile, ati iduroṣinṣin iṣẹ ti ërún ti ni ilọsiwaju pupọ.
Bii imọ-ẹrọ semikondokito tẹsiwaju lati ni ilọsiwaju si ọna pipe ti o ga julọ ati iwọn kekere, awọn ibeere fun iṣakoso aapọn gbona ni iṣakojọpọ wafer ti di ti o muna. Awọn ipilẹ Granite, pẹlu awọn anfani okeerẹ wọn ni ilodisi imugboroja igbona kekere, iduroṣinṣin gbona ati idinku gbigbọn, ti di yiyan bọtini fun imudarasi didara iṣakojọpọ wafer ati idinku ipa ti aapọn gbona. Wọn n ṣe ipa pataki ti o pọ si ni idaniloju idagbasoke alagbero ti ile-iṣẹ semikondokito.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-15-2025