Nínú ayé ìdíje gíga ti iṣẹ́ ìfihàn tó ti ní ìlọsíwájú, ìyàtọ̀ láàárín olórí ọjà àti ìgbà pípẹ́ sábà máa ń wá sí ohun kan: ìṣedéédé. Ṣíṣe àti ṣíṣàyẹ̀wò àwọn àkójọpọ̀ Polycrystalline Silicon (LTPS) tí ó ní ìwọ̀n otútù kékeré—ìpìlẹ̀ fún àwọn ìbòjú OLED àti LCD tí ó ní ìpele gíga, tí ó ní ìṣẹ́ gíga—béèrè fún ìfaradà tí ó ń gbé ààlà ìmọ̀ ẹ̀rọ. Ṣíṣe àṣeyọrí ìpele gíga gíga yìí bẹ̀rẹ̀ pẹ̀lú ìpìlẹ̀ ti ara ti ẹ̀rọ náà fúnra rẹ̀. Ìdí nìyí tí yíyan ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ granite fún ẹ̀rọ LTPS Array kì í ṣe àṣàyàn àwòrán lásán, ṣùgbọ́n ohun pàtàkì kan.
Àwọn ìlànà tí ó níí ṣe pẹ̀lú ṣíṣe àkójọpọ̀ LTPS, pàápàá jùlọ ìṣàfihàn laser crystallization àti àwọn ìgbésẹ̀ photolithography àti ìdúró tí ó tẹ̀lé e, jẹ́ ohun tí ó ṣe pàtàkì sí ariwo àyíká, títí kan àwọn ìgbì líle díẹ̀ àti àwọn ìyípadà ooru. Kódà ní àyíká ibi ìwẹ̀nùmọ́ tí a ṣàkóso dáradára jùlọ, àwọn ìyípadà kékeré lè ní ipa pàtàkì lórí ìbísí àti ìṣọ̀kan ti àkójọpọ̀ náà. Ìpele àyẹ̀wò—tí àwọn ohun èlò tí ó ní ìmọ̀ gíga ṣe láti rí i dájú pé gbogbo transistor ni a ṣe ní pípé—nílò ìwọ̀n ìdúróṣinṣin ìṣètò tí ó ga jù. Èyí ni agbègbè ibi tí ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ Granite fún Flat panel display low-temperature polysilicon array inspection equipment ti tayọ ní tòótọ́.
Ohun tó mú kí àyẹ̀wò LTPS gbóná àti agbára láti ṣe
Ìmọ̀ ẹ̀rọ LTPS gba láàyè fún ìrìn àjò elekitironi kíákíá, ó ń jẹ́ kí àwọn transistors kékeré, tó gbéṣẹ́ jù, ó sì ń yọrí sí àwọn ìfihàn pẹ̀lú ìwọ̀n ìtura tó ń múni yọ̀ àti agbára tó dínkù. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn ètò tó wà nínú rẹ̀ jẹ́ ohun kékeré, tí a wọ̀n ní microns. Kí àwọn ohun èlò àyẹ̀wò tó díjú lè rí, wọ́n, àti ṣàyẹ̀wò àwọn àbùkù tó péye, pẹpẹ ìṣiṣẹ́ rẹ̀ gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tí kò lè dúró, tí kò sì ní yí padà ní ìwọ̀n.
Àwọn ohun èlò ìbílẹ̀ bíi irin tí a fi ṣe irin tàbí irin, bó tilẹ̀ jẹ́ pé ó lágbára, wọ́n lè fẹ̀ sí ìfẹ̀ sí ooru. Ìwọ̀n ìfẹ̀ sí ooru (CTE) fún irin tí a sábà máa ń lò ga ju ti granite dúdú lọ. Èyí túmọ̀ sí pé ìbísí díẹ̀ nínú ooru àyíká, bóyá ìwọ̀n kan tàbí méjì péré, yóò fa kí ẹ̀rọ irin kan fẹ̀ sí i kí ó sì dì sí i lọ́nà tó ga jù. Nínú àyẹ̀wò array, ìyípadà ooru yìí máa ń fa àṣìṣe ipò, àìtọ́ sí ojú ọ̀nà optical, àti àwọn ìkà tí kò péye tí ó lè yọrí sí kíkọ̀ àwọn paneli rere sílẹ̀ tàbí gbígbà àwọn tí ó ní àbùkù.
Ni idakeji, lilo ibusun ẹrọ granite pataki fun awọn ohun elo LTPS Array pese pẹpẹ pẹlu CTE ti o kere pupọ. Iduroṣinṣin ooru yii rii daju pe geometry pataki ti ẹrọ naa—ijinna laarin sensọ wiwọn ati substrate LTPS—duro nigbagbogbo, o fun laaye fun awọn wiwọn sub-micron ti o ṣe deedee, ti o ṣe pataki fun iṣakoso didara.
Ìdánrawò àti Ìṣòro Gbígbóná tí kò lẹ́gbẹ́
Yàtọ̀ sí ìdúróṣinṣin ooru, àwọn ohun ìní ohun èlò inú ti granite ní àǹfààní pàtàkì nínú ṣíṣàkóso àwọn agbára ìṣiṣẹ́ àti ìgbọ̀nsẹ̀. Àwọn ètò àyẹ̀wò tó ti ní ìlọsíwájú ń lo àwọn ìpele iyàrá gíga àti àwọn ọ̀nà ìwòran tó ní ìlọ́síwájú tó ń mú àwọn ìṣípo àti ìgbọ̀nsẹ̀ kéékèèké jáde. Àwọn agbára inú wọ̀nyí, pẹ̀lú ariwo láti ọ̀dọ̀ àwọn olùdarí afẹ́fẹ́ tàbí ẹ̀rọ tó wà ní ẹ̀gbẹ́ wọn, gbọ́dọ̀ di èyí tí a ti yọ́ kúrò kíákíá láti dènà ìṣípo tàbí àìdúróṣinṣin kíkà.
Agbara fifẹ inu granite giga, ohun ti o jẹ ki o yọ agbara gbigbọn kuro ni iyara ju awọn irin lọ, jẹ pataki nihin. O n ṣiṣẹ bi ohun ti n gba agbara mọnamọna, ti o rii daju pe ẹrọ naa yoo pada si ipo idakẹjẹ pipe lẹhin gbogbo išipopada. Iwọn agbara rirọ ati iwuwo okuta naa tun ṣe alabapin si eto ti o lagbara pupọ, ti o dinku iyipada ti ko ni iduro labẹ iwuwo awọn eto gantry ti o wuwo, awọn apejọ opitika, ati awọn yara vacuum.
Ní pàtàkì, nípa yíyan ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ granite tí a ti parí dáadáa fún àwọn ohun èlò LTPS Array, àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ ń gbé ìpìlẹ̀ kan kalẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin ní ooru, tí ó dákẹ́ jẹ́ẹ́, tí ó sì le koko ní ìṣètò. Ìdánilójú àwọn ohun ìní yìí kò ṣeé dúnàádúrà fún àṣeyọrí àwọn góńgó àti àṣeyọrí tí a nílò fún iṣẹ́ ṣíṣe àfihàn LTPS òde òní.
Pipe Imọ-ẹrọ lati Iseda
Ọjà ìkẹyìn—ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ granite—jìnnà sí òkúta onípele tí ó le koko. Ó jẹ́ iṣẹ́ ọnà metrology, tí a sábà máa ń ṣe dé ibi tí a lè fara dà á tí a bá wọn ní ìwọ̀n micron kékeré tàbí sub-micron pàápàá. Àwọn ọ̀nà pàtàkì ni a ń lò láti rí i dájú pé granite náà dín wahala kù àti pé ó tẹ́jú pátápátá. Ohun èlò àdánidá tí a ti yọ́ mọ́ gidigidi yìí ni ó ń pèsè ìtọ́kasí tó ga jùlọ tí a fi ń ṣe àtúnṣe gbogbo àwọn ìtòlẹ́sẹẹsẹ ẹ̀rọ àti opitika lẹ́yìn náà.
Fún àwọn olùpèsè ẹ̀rọ LTPS, ìṣọ̀kan granite onípele gíga máa ń rí i dájú pé àwọn ẹ̀rọ wọn lè máa ṣiṣẹ́ nígbà gbogbo ní iṣẹ́ gíga, tí ó túmọ̀ sí tààrà sí àwọn èso tó ga jùlọ àti àwọn ìfihàn dídára tó dára jù fún ọjà oníbàárà. Ó jẹ́ ẹ̀rí pé nígbà tí ìmọ̀ ẹ̀rọ bá nílò pípé pátápátá, wíwo ohun èlò àdánidá tó dúró ṣinṣin jùlọ ní ayé ló ń pèsè ojútùú tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé jùlọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-03-2025