Nínú àwọn yàrá ìdákẹ́jẹ́ẹ́ tí ó wà nínú àwọn yàrá ìṣàyẹ̀wò, àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ semiconductor, àti àwọn yàrá metrology aerospace, ìyípadà ìdákẹ́jẹ́ẹ́ kan ń lọ lọ́wọ́. Kì í ṣe láti inú sọ́fítíwè tàbí àwọn sensọ̀ nìkan ni ó ń darí rẹ̀—ṣùgbọ́n láti inú àwọn ohun èlò tí ó para pọ̀ di ìpìlẹ̀ ìwọ̀n fúnra rẹ̀. Àwọn ohun èlò ìwọ̀n seramiki onípele gíga ni ó wà níwájú ìyípadà yìí, títí kan afẹ́fẹ́ onípele tí ó dúró ṣinṣin àti silicon-carbide onípele gíga tí ó lágbára (Si-SiC) parallelepiped àti square. Àwọn wọ̀nyí kì í ṣe irinṣẹ́ lásán; wọ́n jẹ́ àwọn ohun èlò tí ó ń mú kí àkókò tuntun kan ṣeé ṣòfò níbi tí ìdúróṣinṣin, ìtúnṣe, àti àìdádúró ooru kò ṣeé ṣòwò.
Fún ohun tó lé ní ààbọ̀ ọgọ́rùn-ún ọdún, granite dúdú ló gbajúmọ̀ lórí ìlànà ìṣàpẹẹrẹ. Ìmúdàgba rẹ̀ àdánidá, fífẹ̀ ooru díẹ̀, àti fífẹ̀ tó dára ló mú kí ó jẹ́ ohun èlò tó dára jù fún àwọn àwo ojú ilẹ̀, àwọn onígun mẹ́rin, àti àwọn etí títọ́. Síbẹ̀ bí àwọn ilé iṣẹ́ ṣe ń tẹ̀síwájú sí àwọn ìfaradà ìwọ̀n kékeré-micron àti àwọn nanometer—ní pàtàkì nínú ìmọ̀ ìjìnlẹ̀ semiconductor, optics space, àti quantum computing—àwọn ààlà granite ti hàn gbangba sí i. Ó wúwo, ó lè jẹ́ kí micro-chipping wáyé nígbà tí a bá ń bá a sọ̀rọ̀ lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan, àti, láìka orúkọ rere rẹ̀ sí, ó ṣì ń ṣàfihàn ìfàsẹ́yìn fún ìgbà pípẹ́ lábẹ́ ẹrù tàbí ìyípadà àyíká.
Wọlé sí àwọn ohun èlò amọ̀ tí a ṣe àgbékalẹ̀: kìí ṣe àwọn ohun èlò amọ̀ tí ó ń rọ́ bí a ṣe ń ronú lójoojúmọ́, ṣùgbọ́n àwọn ohun èlò tí ó nípọn, tí ó jọra, tí ó ń ṣiṣẹ́ dáadáa tí a ṣe lábẹ́ ooru àti ìfúnpá líle. Láàrín àwọn wọ̀nyí, àwọn ìpele méjì ló yàtọ̀ sí àwọn ohun èlò amọ̀: alumina oníwà mímọ́ gíga (Al₂O₃) àti carbide silicon tí a so pọ̀ mọ́ reaction (Si-SiC). Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn méjèèjì ń ṣe àtúnṣe tó lágbára lórí àwọn ohun èlò ìbílẹ̀, wọ́n ń ṣiṣẹ́ ní ipa ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀—àti papọ̀, wọ́n dúró fún ohun tí ó ṣeé ṣe nínú ìpele oníwọ̀n.
Fún àpẹẹrẹ, ẹ wo ohun èlò ìṣàpẹẹrẹ afẹ́fẹ́ tí ó tààrà. A ṣe é fún lílo pẹ̀lú àwọn ìpele afẹ́fẹ́ tàbí àwọn interferometers optical, ohun èlò yìí nílò ìtọ́sọ́nà pípé, ìwọ̀n díẹ̀, àti ìyípadà ooru tí kò ní sí.àwọn olórí seramiki—tí a fi ṣe ẹ̀rọ sí ibi tí ó tẹ́jú àti títọ́ láàrín ±0.5 µm lórí 500 mm tí a sì fi dán an sí ibi tí ó le koko sí ní ìsàlẹ̀ Ra 0.02 µm—ó ṣe bẹ́ẹ̀ gẹ́lẹ́. Ìwọ̀n kékeré wọn (~3.6 g/cm³) dín inertia kù nínú àwọn ètò ìwọ̀n agbára, nígbàtí ìwà wọn tí kì í ṣe magnetic, tí kì í ṣe conductive mú kí ìdènà kúrò nínú àwọn àyíká elekitironiki tàbí magnetic tí ó ní ìmọ̀lára. Nínú àwọn irinṣẹ́ àyẹ̀wò wafer tàbí àwọn ètò ìṣàtúnṣe laser tracker, níbi tí micron ti ọrun pàápàá lè yí àwọn àbájáde padà, seramiki afẹ́fẹ́ títọ́ ń pèsè ìtọ́kasí tí ó dúró ṣinṣin, tí kò sí ní ìdúró ṣinṣin tí ó dúró ṣinṣin láàrín àwọn ìyípadà otutu àti àwọn ìyípo iṣẹ́.
Ṣùgbọ́n nígbà tí a bá nílò ìgbóná àti ìgbóná ooru—bíi nínú ìtòlẹ́sẹẹsẹ dígí afẹ́fẹ́ tàbí ìlànà ìwọ̀n ihò laser alágbára gíga—àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ máa ń yíjú sí àwọn ohun èlò silicon-carbide gíga (Si-SiC) parallelepiped àti square components. Si-SiC wà lára àwọn ohun èlò líle jùlọ tí a mọ̀, pẹ̀lú modulus Young tí ó ju 400 GPa lọ—ó ju ìlọ́po mẹ́ta ti irin lọ—àti ìgbóná ooru tí ó ń díje pẹ̀lú aluminiomu. Ní pàtàkì, a lè ṣe àgbékalẹ̀ coefficient of thermal expansion (CTE) rẹ̀ láti bá ti àwọn gíláàsì optical tàbí silicon wafers mu, èyí tí ó lè mú kí ìfàsẹ́yìn ìyàtọ̀ tí ó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ òdo wáyé nínú àwọn àkójọpọ̀ hybrid. Square Si-SiC tí a lò gẹ́gẹ́ bí ìtọ́kasí pàtàkì nínú ohun èlò lithography EUV kì yóò kàn di ìrísí rẹ̀ mú—yóò máa tako ìyípadà láti inú ìgbóná tàbí ìgbọ̀nsẹ̀ agbègbè.
Ohun tó mú kí àwọn àṣeyọrí wọ̀nyí ṣeé ṣe kì í ṣe ohun èlò nìkan, ṣùgbọ́n agbára ṣíṣe àwọn ohun èlò ìwọ̀n seramiki. Fún àpẹẹrẹ, iṣẹ́ ṣíṣe Si-SiC ní àwọn kẹ̀kẹ́ fífẹ́ dáyámọ́ńdì, àwọn ìpele CNC oní-micron, àti àwọn ìlànà ìpele púpọ̀ tí a ń ṣe ní àwọn àyíká tí a ń ṣàkóso ìgbóná. Kódà ìdààmú díẹ̀ láti inú sínter tí kò tọ́ lè yọrí sí ogun lẹ́yìn iṣẹ́-ọnà. Ìdí nìyí tí àwọn olùpèsè kárí ayé díẹ̀ kan fi ń so ìṣẹ̀dá ohun èlò, ṣíṣe ìpele pípéye, àti metrology ìkẹyìn pọ̀ mọ́ òrùlé kan—agbára kan tí ó ya àwọn olùpèsè ìpele metrology tòótọ́ sọ́tọ̀ kúrò lọ́dọ̀ àwọn olùpèsè seramiki gbogbogbò.
Ní ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG), ìṣọ̀kan inaro yìí jẹ́ pàtàkì sí iṣẹ́ wa. Àwọn ohun èlò ìwọ̀n seramiki wa—pẹ̀lú àwọn àpẹẹrẹ afẹ́fẹ́ onípele seramiki tí a fọwọ́ sí tí a fún ní ìwé ẹ̀rí DIN 874 Grade AA àti silicon-carbide onípele gíga (Si-Si-C) parallelepiped àti onígun mẹ́rin tí a lè tọ́ka sí àwọn ìlànà PTB àti NIST—ni a ṣe ní yàrá ìwẹ̀nùmọ́ ISO Class 7 nípa lílo àwọn ìlànà sintering àti ìparí. Gbogbo ẹ̀yà ara ni a ń ṣe ìfọwọ́sowọ́pọ̀ interferometric kíkún, ìfìdí múlẹ̀ CMM ti àwọn ìfaradà geometric (pípẹ́, parallelism, perpendicularity), àti ìdánwò ìdúróṣinṣin ojú ilẹ̀ kí a tó fi ránṣẹ́. Àbájáde rẹ̀ jẹ́ ohun èlò ìtọ́kasí tí kò bá àwọn ìlànà mu nìkan—ó ju wọn lọ ní gbogbo ìgbà.
Ìbéèrè fún irú iṣẹ́ bẹ́ẹ̀ ń pọ̀ sí i. Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, EUV àti àwọn ètò lithography gíga-NA nílò àwọn ètò ìtòlẹ́sẹẹsẹ tí ó dúró ṣinṣin sí láàrín mẹ́wàá-mẹ́wàá nanometers lórí ìjìnnà ìwọ̀n-mita—kò ṣeé ṣe láìsí ìṣọ̀kan ooru-ẹ̀rọ Si-SiC. Nínú afẹ́fẹ́, àwọn bẹ́ǹṣì opitika satẹlaiti tí a fi seramiki ṣe ń rí i dájú pé ó dúró ṣinṣin lórí-orbit láìka bí ó ti le tó. Kódà ní àwọn pápá tí ó ń yọjú bí wíwá ìgbì òòfà tàbí ìdàgbàsókè aago atomiki, níbi tí ìdúróṣinṣin ipele picometer ṣe pàtàkì, àwọn ohun èlò metrology seramiki àti Si-SiC ti di ohun tí a kò gbọ́dọ̀ ṣe.
Ní pàtàkì, àwọn irinṣẹ́ wọ̀nyí tún ń bójútó ìdúróṣinṣin àti iye owó gbogbo tí ó jẹ́ ti ẹni tí ó ní in. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé ìdókòwò àkọ́kọ́ nínú ohun èlò silicon-carbide parallelepiped tí ó péye lè ju ti granite déédé lọ, ìgbésí ayé iṣẹ́ rẹ̀ lè jẹ́ ìgbà 5–10 ní àwọn àyíká tí a ti ń lò ó dáadáa. Kò nílò ìpara epo, ó ń tako gbogbo àwọn ohun èlò tí ó wọ́pọ̀ àti plasmas, kò sì nílò àtúnṣe nítorí gbígbà ọrinrin—láìdàbí irin tí a fi ṣe é tàbí àwọn granite kan pàápàá. Fún àwọn olùṣàkóso dídára tí ń ṣiṣẹ́ lábẹ́ àwọn ìlànà AS9100, ISO 13485, tàbí àwọn ìlànà SEMI, ìgbẹ́kẹ̀lé yìí túmọ̀ sí àkókò ìdúró díẹ̀, àwọn àwárí àyẹ̀wò díẹ̀, àti ìgbẹ́kẹ̀lé oníbàárà tí ó pọ̀ sí i.
Jù bẹ́ẹ̀ lọ, a kò gbọdọ̀ gbójú fo ẹwà àti ẹwà iṣẹ́ àwọn ohun èlò wọ̀nyí. Onígun mẹ́rin Si-SiC tí a ti dán mọ́lẹ̀ máa ń tàn yanranyanran pẹ̀lú ìmọ́lẹ̀ irin ṣùgbọ́n ó wúwo ju irin lọ. Agbára afẹ́fẹ́ seramiki tí ó dúró ṣinṣin máa ń lágbára ṣùgbọ́n ó máa ń gbé sókè láìsí ìṣòro—ó dára fún ìfìdíkalẹ̀ ọwọ́ ní àwọn àyè tí ó há. Àwọn ànímọ́ tí ènìyàn dá lórí wọn yìí ṣe pàtàkì ní àwọn ilé ìwádìí gidi níbi tí ergonomics àti ìrọ̀rùn lílò ti ń nípa lórí iṣẹ́ ojoojúmọ́.
Nítorí náà, ṣé àwọn ohun èlò ìwọ̀n seramiki ń tún ṣe àtúnsọ ìtumọ̀ tó ga jùlọ? Ìdáhùn náà wà nínú ìwádìí náà—àti nínú àkójọ àwọn aṣáájú kárí ayé tó ń pọ̀ sí i tí wọ́n ń sọ wọ́n di ìlànà. Láti àwọn ilé-ẹ̀kọ́ metrology orílẹ̀-èdè tó ń fọwọ́ sí àwọn ìlànà gígùn ìran tó ń bọ̀ sí àwọn olùpèsè Tier 1 tó ń fọwọ́ sí àwọn ẹ̀yà EV drivetrain, ìyípadà náà ṣe kedere: nígbà tí àìdánilójú bá gbọ́dọ̀ dínkù, àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ gbẹ́kẹ̀lé àwọn seramiki tí a ṣe.
Bí àwọn ilé iṣẹ́ ṣe ń tẹ̀síwájú nínú ìrìn wọn láìdáwọ́dúró sí ìṣàkóso ìwọ̀n átọ́míìkì, òtítọ́ kan di ohun tí a kò lè sẹ́: ọjọ́ iwájú ìwọ̀n kì yóò jẹ́ èyí tí a gbẹ́ láti inú òkúta tàbí tí a fi irin ṣe. A ó fi omi kùn ún, a ó lọ̀ ọ́, a ó sì fi seramiki—àti silicon carbide—mọ́lẹ̀.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) jẹ́ olùdámọ̀ràn kárí ayé nínú àwọn iṣẹ́ ọ̀nà seramiki àti silicon-carbide tí ó péye. Ó jẹ́ ògbóǹkangí nínú àwọn ohun èlò ìwọ̀n seramiki, afẹ́fẹ́ títọ́, àti àwọn èròjà onígun mẹ́rin tí a fi ẹ̀rí hàn dáadáa, ZHHIMG ń pèsè àwọn ohun èlò ìwádìí onípele tí a fọwọ́ sí fún semiconductor, aerospace, defense, àti àwọn ohun èlò ìwádìí sáyẹ́ǹsì. Pẹ̀lú àwọn ìwé ẹ̀rí ISO 9001, ISO 14001, àti CE, àwọn ilé-iṣẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ tó gbajúmọ̀ kárí ayé ni wọ́n gbẹ́kẹ̀lé àwọn ọjà wa. Ṣe àwárí àkójọpọ̀ metrology wa tó ti ní ìlọsíwájú níwww.zhhimg.com.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-05-2025