Nínú ilé iṣẹ́ semiconductor, níbi tí micron kan ṣoṣo lè jẹ́ ìyàtọ̀ láàárín ipele ìyọrísí gíga àti ìkùnà tó ná owó púpọ̀, yíyan ohun èlò metrology ṣe pàtàkì. Bí àyẹ̀wò lithography àti wafer ṣe ń tẹ̀síwájú àwọn ààlà fisiksi, irin ìbílẹ̀ àti granite gíga pàápàá ń dé ààlà wọn.
Alumina Ceramic (Al2O3) ti di ojutu pataki fun awọn olupilẹṣẹ ẹrọ semiconductor. Pẹlu akoko idaduro deede ti o le kọja awọn ohun elo ibile ni ju ọdun mẹwa lọ, awọn seramiki ko jẹ igbadun mọ—wọn jẹ iwulo eto.
Kí ló dé tí a fi ń lo seramiki Alumina fún àwọn Semiconductors?
Kí a tó bẹ̀rẹ̀ sí í lo ohun èlò náà, ó ṣe pàtàkì láti lóye ìrísí “ewu mẹ́ta” pàtàkì tí ohun èlò náà ní:
-
Ìdúróṣinṣin Ooru: Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru kékeré (≈7 × 10^{-6}/K) máa ń rí i dájú pé àwọn ìwọ̀n náà dúró ṣinṣin láìka ooru tí àwọn ẹ̀rọ iyàrá gíga ń mú wá sí.
-
Kì í ṣe Èémí àti Kì í ṣe Èémí: Ó ṣe pàtàkì fún àwọn àyíká afẹ́fẹ́ àti ìṣètò ìrísí elékrónù tí ó ní ìmọ̀lára níbi tí ìdènà oofa lè yí àwọn ìrísí padà.
-
Kò sí ìbàjẹ́: Láìdàbí irin, àwọn ohun èlò amọ̀ kò ṣiṣẹ́ dáadáa bíi kẹ́míkà, èyí tó mú kí wọ́n bá àwọn ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ yàrá mímọ́ àti àyíká gáàsì oníbàjẹ́ mu.
Àwọn Ohun Èlò Pàtàkì Mẹ́rin Nínú Ohun Èlò Semiconductor
1. Awọn Ipele Ẹrọ Lithography
Fọ́tòlítọ́ọ́ ìgbàlódé nílò ipò ìpele nanometer. Àwọn onígun mẹ́rin seramiki àti àwọn ẹ̀yà ara ìṣètò ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí “ìtọ́kasí pàtàkì” fún ìpele wafer. Ìpíndọ́gba gíga wọn sí ìwọ̀n-ìwúwo ń jẹ́ kí ó yára yára láìsí ìgbọ̀n tàbí “ìró” tí ó ní í ṣe pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí ó wúwo jù.
2. Àyẹ̀wò àti Ìlànà Ìṣètò Wafer
Nínú àwọn ètò ìṣàpẹẹrẹ wafer, a ń lo Ceramic Master Squares láti ṣe àtúnṣe ìdúróṣinṣin àti ìdúróṣinṣin àwọn àáké ìṣàyẹ̀wò. Nítorí pé seramiki ń pa àwọ̀ rẹ̀ mọ́ fún ọdún mẹ́wàá, àwọn ẹ̀rọ wọ̀nyí nílò àwọn ìyípo àtúnṣe díẹ̀, èyí tí ó ń mú kí àkókò iṣẹ́ pọ̀ sí i fún ohun èlò náà.
3. Àkójọpọ̀ Pípéye ti Àwọn Yàrá Ìfàmọ́ra
Àkójọpọ̀ semiconductor sábà máa ń wáyé ní àwọn àyíká vacuum níbi tí ìpara kò ti ní ààlà. Àwọn ìwọ̀n seramiki pèsè ìtọ́kasí pípéye “gbígbẹ” tí kò ní yọ gaasi kúrò tàbí kó ba vacuum náà jẹ́, èyí tí yóò rí i dájú pé àwọn èrò inú rẹ̀ bá àwọn ìfaradà sub-micron mu.
4. Idanwo Itanna Itanna Giga
Fún ìdánwò ìyẹ̀fun oníyára gíga, ìdènà mànàmáná tàbí ìdarí láti inú ohun èlò ìwọ̀n lè yí àbájáde padà. Ìwà àìní mànàmáná ti alumina seramiki mú kí ó jẹ́ ohun èlò tó dára jùlọ fún àwọn ohun èlò ìwádìí àti àwọn ìwọ̀n ìtòlẹ́sẹẹsẹ.
5. Awọn Masters Iṣatunkọ Yara Cleanroom
Nínú àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ ISO Class 1, ipata jẹ́ ohun tí a kò gbọ́dọ̀ fi pamọ́. Àwọn irin oníwọ̀n nílò àwọn fíìmù epo láti dènà ìfàsẹ́yìn, èyí tí ó jẹ́ ewu ìbàjẹ́ ńlá. Àwọn fíìmù seramiki kò nílò epo, a sì lè fi isopropyl alcohol fọ wọ́n, èyí tí ó lè mú kí wọ́n ní “zero-particle” fún ọdún mẹ́wàá tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ.
“Àǹfààní Ọdún 10”
Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn irin tí a fi ń gé nǹkan lè yí padà tàbí kí wọ́n bàjẹ́ lẹ́yìn ọdún díẹ̀ tí wọ́n ti lò ó dáadáa, ìṣètò mọ́lẹ́kúlù ti Alumina tó mọ́ tónítóní dúró ṣinṣin gan-an. Tí a bá lò ó gẹ́gẹ́ bí Ceramics Square tàbí Straight Edge, líle ohun èlò náà (tó ń sún mọ́ ti sapphire) ń dènà ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ tí kò ṣeé fojú rí tí ó sábà máa ń fa kí ó “yọ́” nígbà tí àkókò bá ń lọ.
Fún ilé iṣẹ́ OEM semiconductor kan, èyí túmọ̀ sí ìdínkù ìlọ́po mẹ́wàá nínú iye owó ìtọ́jú ìgbà pípẹ́ àti ìgbẹ́kẹ̀lé gíga nínú ìṣedéédé ẹ̀rọ náà fún ìgbà gbogbo.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-23-2026