Ìyípadà nínú ìpele pípéye gígé wafer! Báwo ni a ṣe lè ṣe àtúnṣe ipò ±5um fún ìpìlẹ̀ granite kan?

Nínú ogun tó ga jùlọ ti "nanoprecision" nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, àṣìṣe kékeré jùlọ nínú ẹ̀rọ ìgé wafer lè sọ ìṣẹ́po kan di ohun tí a kò gbọ́. Ìpìlẹ̀ granite ni akọni tí a kò kọ orin rẹ̀ tí ó ń ṣàkóso ìṣedéédé ±5um tí ó ń tún kọ àwọn òfin ìṣedéédé pẹ̀lú àwọn iṣẹ́ ìyanu àdánidá mẹ́ta rẹ̀.

“Ìdádúróṣinṣin” lòdì sí ìyípadà ooru: Ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru ti granite kéré tó 5-7 ×10⁻⁶/℃, èyí tí ó jẹ́ ìdá mẹ́ta péré ti àwọn ohun èlò irin. Lábẹ́ ipa ooru tí iṣẹ́ iyàrá gíga ti ẹ̀rọ gígé wafer ń mú wá, àwọn ohun èlò lásán yóò bàjẹ́ nítorí ìfàsẹ́yìn ooru àti ìfàsẹ́yìn, èyí tí yóò mú kí ipò orí gígé náà yípadà. Síbẹ̀síbẹ̀, ìpìlẹ̀ granite lè máa “wà láìsí ìṣísẹ̀,” ní pàtàkì, yóò mú ìyàtọ̀ ipò tí ìyípadà ooru ń fà kúrò, yóò sì fi ìpìlẹ̀ tó lágbára lélẹ̀ fún pípéye.

“Abo ipalọlọ” ti gbigba gbigbọn: Ariwo nigbagbogbo ti awọn irinṣẹ ẹrọ ati gbigbọn ti nlọ lọwọ ti awọn ẹrọ ni ibi iṣẹ naa ni a le kà si “apaniyan apaniyan” si deede. Eto kristali alailẹgbẹ ti granite dabi ohun ti n gba mọnamọna adayeba, ti o le yi awọn gbigbọn ita ati awọn gbigbọn ẹrọ ti a ṣẹda nipasẹ iṣẹ ẹrọ pada si agbara ooru fun isunku. Lakoko ti awọn ipilẹ miiran tun n “yi” nitori gbigbọn, ipilẹ granite ti ṣẹda ipilẹ iduroṣinṣin fun ori gige ti o duro laisi išipopada, ti o jẹ ki deede ±5um ṣee ṣe.

"Ile-ogun ayeraye" ti ko le jẹ ki o .... Ni iru ayika bẹẹ, awọn ipilẹ irin yoo di ipata diẹdiẹ ati ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ ki o jẹ.

Láti ẹ̀bùn ohun èlò sí iṣẹ́ ṣíṣe kedere, ìpìlẹ̀ granite ti fi agbára rẹ̀ hàn pé kì í ṣe gbogbo ohun èlò ló lè kojú àwọn ìpèníjà líle ti iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor. Nítorí àwọn àǹfààní àdánidá tí a kò lè yípadà wọ̀nyí ni àwọn ìpìlẹ̀ granite ti di kọ́kọ́rọ́ fún ohun èlò ìgé wafer láti ṣàṣeyọrí ìṣedéédé ipò tí ó tún jẹ́ ±5um, wọ́n sì ti túbọ̀ mú kí ilé iṣẹ́ semiconductor máa tẹ̀síwájú sí ìṣedéédé gíga!