Nínú àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́ fún semiconductor, àyẹ̀wò opitika àti àkójọpọ̀ àwọn ohun èlò tí kò ní àṣìṣe, àwọn ìdarí líle ni a fi agbára mú lórí ìbàjẹ́ àwọn ohun èlò, ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ àti ìyípadà iwọ̀n otútù àti ọriniinitutu. Àwọn tábìlì àyẹ̀wò granite ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ìpele ìtọ́kasí metrology pàtàkì ní àwọn ààyè wọ̀nyí. Nígbà yíyan iṣẹ́ náà, ọ̀pọ̀ àwọn olùrà máa ń fojú sí bí orí tábìlì náà ṣe tẹ́jú tó, nígbà tí wọ́n ń gbójú fo àwọn ìdènà àrà ọ̀tọ̀ tí àyíká mímọ́ mú wá. Yàrá mímọ́ kì í ṣe yàrá tí ó gbóná dáadáa nìkan. Àwọn èròjà eruku, ìrúkèrúdò afẹ́fẹ́, ìjákulẹ̀ ohun èlò àti àwọn ohun èlò ìfìkọ́lé máa ń bá àwọn tábìlì granite ṣiṣẹ́. Yíyan tàbí fífi sori ẹrọ tí kò tọ́ kì í ṣe pé yóò ba ìpínyà yàrá mímọ́ jẹ́ nìkan, ṣùgbọ́n yóò tún ba ìpéye tábìlì jẹ́ díẹ̀díẹ̀, yóò sì dín ìyọrísí ọjà kù. Láti jẹ́ kí àwọn tábìlì àyẹ̀wò granite lè ṣe iṣẹ́ ìtọ́kasí nano tí ó dúró ṣinṣin ní àwọn yàrá mímọ́, àwọn ohun pàtàkì tí ó bo ìmọ́tótó ohun èlò, ìtọ́jú ojú ilẹ̀, àwòrán ìṣètò tí kò ní eruku, ìbáramu àyíká àti ìṣàkóso ìṣiṣẹ́ & ìtọ́jú gbọ́dọ̀ ní ìtẹ́lọ́rùn.
Àkọ́kọ́ ni àwọn ohun èlò ìtọ́jú àti ojú ilẹ̀ tí ó bá àwọn ibi ìtọ́jú yàrá mu. Àwọn páálí granite lásán ní àwọn ihò inú kékeré tí ó ń dí eruku àti ìdọ̀tí mú. Àwọn pàálí wọ̀nyí lè máa tú jáde nígbà gbogbo lábẹ́ ìdàrúdàpọ̀ afẹ́fẹ́, èyí tí ó lè ba àwọn iṣẹ́ tí ó ṣe pàtàkì bíi wáfárì àti àwọn èròjà opitika jẹ́. Àwọn tábìlì àyẹ̀wò granite tí a gbé kalẹ̀ ní àwọn yàrá mímọ́ ni a fi àwọn òfo granite dúdú tí ó ní ihò díẹ̀ ṣe. Wọ́n ń gba ìtọ́jú pàtàkì láti ti àwọn ihò inú àti láti dín ìtújáde pàálí tí ó ń lọ sílẹ̀. Ìlànà lílọ tábìlì orí kò gbọdọ̀ fi àwọn èròjà tí ó ṣẹ́kù sílẹ̀, àti pé ojú tí a ti parí kò gbọdọ̀ ní àwọn ihò tí ó ń kó eruku jọ. A máa ń lo àwọn àṣeyọrí ààbò tí ó mọ́, tí kò ní gaasi púpọ̀ dípò àwọn àwọ̀ tàbí resini tí ń tú jáde láti yẹra fún ìbàjẹ́ ààyè tí ó mọ́. A máa ń lo àwọn ihò tí ó mọ́ sí gbogbo ẹ̀gbẹ́ àti igun láti dín ìkórajọ eruku kù àti láti mú kí ìfọmọ́ déédéé rọrùn.
Èkejì ni àwọn àwòrán tí kò lè gbó eruku àti ìgbóná fún àwọn ìtìlẹ́yìn àti ìpìlẹ̀. Àwọn yàrá mímọ́ sábà máa ń ní ìgbóná tí kò lágbára tí afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ tí ń yíká kiri, àwọn ohun èlò tí ń gbé e kalẹ̀ àti àwọn ìpìlẹ̀ aládàáni ń mú wá. Àwọn àlàfo okùn lórí ẹsẹ̀ ìpele déédéé sábà máa ń kó eruku jọ àti àwọn pàǹtírì tí ó gbóná. Àwọn àkójọpọ̀ ìtìlẹ́yìn fún àwọn tábìlì granite cleanroom jẹ́ ti àwọn ohun èlò irin tí kò ní pàǹtírì, pẹ̀lú àwọn ohun èlò tí kò lè gbó eruku tí a fi pamọ́ àti àwọn apá ààbò tí a fi sórí àwọn okùn tí ó fara hàn. Gbogbo ètò ìtìlẹ́yìn náà ń ṣiṣẹ́ fún ète méjì: ìpele dídára láti ṣe ìtọ́jú ìpele ìtọ́kasí àti ìyàsọ́tọ̀ ìgbóná tí ó munadoko láti dí ìgbóná kékeré lọ́wọ́ àwọn afẹ́fẹ́ àti àwọn olùtọ́jú robot. Àwọn ilẹ̀ yàrá mímọ́ sábà máa ń jẹ́ àwọn ilẹ̀ tí kò lè gbó epoxy, èyí tí kò lè gba àwọn ihò ìyàsọ́tọ̀ ìgbóná líle bí àwọn tí ó wà nínú àwọn yàrá metrology ìbílẹ̀. Nítorí náà, a ń lo àwọn pádì ìgbóná lórí àwọn ètò ìtìlẹ́yìn láti dín ìyípadà ìgbóná kù àti láti dènà ìyípadà pípé tí ìsopọ̀ ìgbóná ń fà. Agbègbè tí ó wà lábẹ́ férémù tábìlì náà yóò wà fún mímọ́ láìsí àwọn igun tí ó kú, láti jẹ́ kí a fi àwọn mọ́pù yàrá mímọ́ àti àwọn afọmọ́ ìfọmọ́.
Ẹkẹta ni awọn iṣakoso lori iduroṣinṣin iwọn otutu & ọriniinitutu ati iyipada ooru. Botilẹjẹpe awọn yara mimọ ni awọn eto iwọn otutu ti o duro nigbagbogbo, ipese afẹfẹ itọsọna lati awọn ategun afẹfẹ le fẹ taara si awọn oju ilẹ granite ki o ṣẹda awọn iyatọ iwọn otutu agbegbe. Granite n mu ooru laiyara, ati pe igbona agbegbe ti ko baamu yoo fa iyipada ooru kekere ti o ba aaye itọkasi jẹ. Awọn tabili ayẹwo Granite gbọdọ wa ni ipo kuro si awọn ita afẹfẹ ati afẹfẹ laminar taara. Iduroṣinṣin ooru ti o dara julọ ti ohun elo naa ni a lo lati ṣe opin iyipada iwọn laarin iwọn otutu ati iwọn otutu ti yara mimọ. Ọriniinitutu tun gbọdọ wa laarin ferese to dara. Ọriniinitutu ti o pọ ju fa ibajẹ ti awọn paati atilẹyin irin, ati awọn patikulu ipata di orisun idoti pataki. Ọriniinitutu kekere yori si ina mọnamọna ti o fa eruku si awọn tabili ati awọn iṣẹ-ṣiṣe. Fun awọn iru ẹrọ ti o ni afẹfẹ granite, afẹfẹ ti a fi sinu awọn ikanni afẹfẹ nilo asẹ daradara lati da eruku duro lati fẹ sori tabili.
Ẹkẹrin ni awọn ohun elo iṣakoso mimọ fun apejọ ati awọn paati iranlọwọ. Awọn tabili ayẹwo granite ni awọn yara mimọ ni a maa n lo lati ṣe apejọ awọn ipilẹ granite, awọn modulu ti o ni afẹfẹ ati awọn ẹrọ ayewo opitika, pẹlu awọn ipele moto laini ati awọn eto išipopada XY ti a gbe sori oke. Gbogbo ohun elo ati awọn ohun elo asopọ gbọdọ wa ni mimọ, jẹ ki o ni epo tutu ki o si di wọn sinu apoti ti ko ni eruku ni ita yara mimọ ṣaaju ki o to wọle. Awọn katọn ati awọn baagi ṣiṣu lasan ni a ko gba laaye ni awọn agbegbe mimọ. Iṣẹ apejọ lori tabili gbọdọ lo awọn irinṣẹ iyẹwu mimọ. Awọn oniṣẹ wọ awọn aṣọ iyẹwu mimọ ati awọn ibọwọ lati dena idoti lati awọn flakes awọ ati epo. Awọn ihò fun wiwa awọn pinni ati awọn ifibọ ti a fi sinu granite gbọdọ jẹ mimọ patapata kuro ninu sisẹ awọn idoti ati didi lati di awọn idoti ti a fi sinu. Awọn ikanni afẹfẹ lori awọn iru ẹrọ granite ti o ni afẹfẹ ni a maa n fọ leralera lẹhin ti a ba ti ṣiṣẹ lati yọ gbogbo awọn patikulu ti o ku kuro ṣaaju fifi sori ẹrọ ni aaye naa. 
Ẹ̀karùn ni àwọn ìlànà ìṣiṣẹ́ mímọ́ àti ìtọ́jú. Àwọn ilé ìwádìí metrology lásán lè lo àwọn aṣọ ìnu owú àti àwọn ohun ìfọmọ́ tí ó wọ́pọ̀, ṣùgbọ́n àwọn aṣọ ìnu tí kò ní eruku àti àwọn ọṣẹ tí kò ní èròjà ìpara nìkan ni a lè lò ní àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́. Àwọn irinṣẹ́ ìfọ́ líle ni a kà léèwọ̀, nítorí pé àwọn ìfọ́ lórí ilẹ̀ tí ó péye yóò máa dẹ àwọn ohun ìdọ̀tí títí láé. Àwọn ìwọ̀n àti àwọn ìwádìí tí a lò fún àyẹ̀wò pípéye gbọ́dọ̀ jẹ́ kí a yọ eruku kúrò kí a tó fi kan tábìlì náà. A ṣètò ìṣàtúnṣe pípéye lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan ní àwọn àkókò ìṣẹ̀dá kékeré láti dín ìdàrúdàpọ̀ pàǹtíkù kù láti inú ìṣípò àwọn ènìyàn. A kò gbọdọ̀ gbé àwọn tábìlì granite ní ìrọ̀rùn nínú àwọn yàrá ìwẹ̀nùmọ́, nítorí pé ìfọ́pọ̀ nígbà ìṣípò ń mú ọ̀pọ̀lọpọ̀ pàǹtíkù jáde àti pé ó ń dín ìpínyà yàrá ìwẹ̀nùmọ́ kù. A ń ṣe ìwádìí pípéye lẹ́ẹ̀kọ̀ọ̀kan pẹ̀lú àwọn ẹ̀rọ laser interferometers àti àwọn ìpele itanna láti mú kí iṣẹ́ ìtọ́kasí dúró ṣinṣin. Àwọn òṣìṣẹ́ ìtọ́jú máa ń ṣe àyẹ̀wò àwọn ẹ̀ka ìrànlọ́wọ́ déédéé fún ìtújáde pàǹtíkù àti ìdúróṣinṣin dídì. A ń tún àwọn ìpele dídì tí ó bàjẹ́ ṣe kíákíá láti dá ìtújáde pàǹtíkù dúró láti inú ihò òkúta.
Ní ṣókí, fún àwọn tábìlì àyẹ̀wò granite tí a lò nínú àwọn yàrá mímọ́, ìpéye nìkan ni ohun tí a nílò láti wọlé. Ìbáramu mímọ́, ìṣàkóso àwọn ohun èlò ìfọ́, ìdènà sí ìdàrúdàpọ̀ afẹ́fẹ́ àti ìtújáde omi díẹ̀ ni àwọn ohun pàtàkì pàtàkì. Ohun èlò tábìlì orí tábìlì, àwọn ètò ìrànlọ́wọ́, àwọn ètò ìfisílé àti àwọn iṣẹ́ ìtọ́jú gbogbo wọn gbọ́dọ̀ bá àyíká yàrá mímọ́ mu. Ní ọ̀nà yìí nìkan ni a lè ṣe ìṣètò yàrá mímọ́ àti ìdúróṣinṣin ìtọ́kasí ìwọ̀n nano/micron, èyí tí ó ń ṣètìlẹ́yìn fún iṣẹ́ ìṣàyẹ̀wò pípéye fún àwọn semiconductors, optics àti àwọn ilé iṣẹ́ agbára tuntun.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-23-2026