Granite jẹ́ ohun èlò tó gbajúmọ̀ nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer nítorí àwọn ohun èlò tó yàtọ̀ àti agbára rẹ̀ tó lágbára. Ó jẹ́ òkúta àdánidá tí wọ́n ń wa láti inú àwọn ilé ìṣẹ́ gígún kárí ayé, wọ́n sì ti ń lò ó fún ọ̀pọ̀ ọ̀rúndún fún onírúurú iṣẹ́ ìkọ́lé, títí kan ṣíṣe àwọn ohun èlò semiconductor. Nínú àpilẹ̀kọ yìí, a ó jíròrò àwọn ohun ìní granite àti onírúurú ohun èlò tó ń lò nínú iṣẹ́ wafer.
Àwọn Ohun-ìní Granite
Granite jẹ́ àpáta igneous tí a fi mica, feldspar, àti quartz ṣe. A mọ̀ ọ́n fún agbára rẹ̀, líle rẹ̀, àti agbára rẹ̀ tó ga, èyí tó mú kí ó jẹ́ ohun èlò tó dára fún àwọn ohun èlò tó nílò ìṣedéédé gíga àti ìṣedéédé. Granite ní ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré, èyí tó túmọ̀ sí wípé kò fẹ̀ tàbí dínkù nítorí ìyípadà ooru, èyí tó mú kí ó dúró ṣinṣin. Yàtọ̀ sí èyí, granite kò lè parẹ́ mọ́ ìpalára àti kẹ́míkà, èyí tó mú kí ó jẹ́ ohun èlò tó dára fún lílò ní àwọn àyíká tó le koko.
Awọn Ohun elo ti Granite ni Wafer Processing Equipment
Granite jẹ́ ohun èlò tí a ń lò fún gbogbo ènìyàn nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer nítorí àpapọ̀ àwọn ànímọ́ rẹ̀ tó yàtọ̀. Àwọn wọ̀nyí ni díẹ̀ lára àwọn ohun èlò ṣíṣe wafer:
1. Àwọn Irinṣẹ́ Ìlànà Ìlànà
A sábà máa ń lo Granite nínú ṣíṣe àwọn irinṣẹ́ metrology, bíi àwọn ẹ̀rọ wiwọn coordinate (CMMs) àti àwọn ètò ìwọ̀n optical. Àwọn irinṣẹ́ wọ̀nyí nílò àwọn ojú ilẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin tí ó lè dènà ìgbọ̀nsẹ̀ àti ooru. Gíga gíga àti ìfẹ̀sí ooru kékeré ti granite mú kí ó jẹ́ ohun èlò tí ó dára fún irú àwọn ohun èlò bẹ́ẹ̀.
2. Wafer Chucks
A máa ń lo àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ láti gbé àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ náà. Àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ wọ̀nyí nílò ojú ilẹ̀ tí ó tẹ́jú tí ó sì dúró ṣinṣin láti dènà kí ẹ̀rọ ìfọṣọ náà má baà yí tàbí tẹ̀. Granite ní ojú ilẹ̀ tí ó tẹ́jú tí ó dúró ṣinṣin tí ó sì le koko láti yí, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ ohun èlò tí ó dára fún àwọn ẹ̀rọ ìfọṣọ.
3. Àwọn Irinṣẹ́ Ìmọ́lẹ̀ Kẹ́míkà (CMP)
Àwọn irinṣẹ́ CMP ni a ń lò láti fi ṣe àwọ̀ àwọn ohun èlò ìpara nígbà tí a bá ń ṣe é. Àwọn irinṣẹ́ wọ̀nyí nílò pẹpẹ tí ó dúró ṣinṣin tí ó lè dènà ìgbọ̀nsẹ̀ àti ooru. Líle tí ó dára jùlọ àti ìfẹ̀ ooru tí ó kéré ti granite mú kí ó jẹ́ ohun èlò tí ó dára jùlọ fún àwọn irinṣẹ́ CMP.
4. Ohun èlò ìṣàyẹ̀wò Wafer
Àwọn ohun èlò ìṣàyẹ̀wò wafer ni a ń lò láti ṣe àyẹ̀wò wafers fún àbùkù àti àbùkù. Àwọn irinṣẹ́ wọ̀nyí nílò ojú ilẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin àti títẹ́ láti rí i dájú pé wọ́n wọn dáadáa. Granite pèsè ojú ilẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin àti títẹ́ tí kò lè yí padà, èyí tí ó mú kí ó jẹ́ ohun èlò tí ó dára jùlọ fún ohun èlò ìṣàyẹ̀wò wafer.
Ìparí
Ní ìparí, granite jẹ́ ohun èlò tí a ń lò fún gbogbogbòò nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer nítorí àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ rẹ̀ tó tayọ àti agbára rẹ̀ tó lágbára. A sábà máa ń lò ó nínú ṣíṣe àwọn irinṣẹ́ metrology, wafer chucks, CMP tool, àti àwọn ohun èlò àyẹ̀wò wafer. Àpapọ̀ àwọn ohun ìní aláìlẹ́gbẹ́ mú kí ó jẹ́ ohun èlò tó dára fún àwọn ohun èlò tí ó nílò ìpele gíga àti ìpéye. Pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ àǹfààní rẹ̀, granite ṣì jẹ́ àṣàyàn tí ó gbajúmọ̀ fún àwọn ohun èlò ṣíṣe wafer, ó sì ṣeé ṣe kí lílò rẹ̀ máa pọ̀ sí i ní ọjọ́ iwájú.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-27-2023