Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, ẹ̀rọ àyẹ̀wò ojú-ìwòye aládàáṣe (AOI) kó ipa pàtàkì nínú rírí dájú pé àwọn ègé náà dára. Kódà ìdàgbàsókè díẹ̀ nínú ìwádìí rẹ̀ lè mú ìyípadà ńlá wá sí gbogbo ilé iṣẹ́ náà. Ìpìlẹ̀ ẹ̀rọ náà, gẹ́gẹ́ bí kókó pàtàkì, ní ipa pàtàkì lórí ìwádìí náà. Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, ìyípadà nínú àwọn ohun èlò ìpìlẹ̀ ti gba gbogbo ilé iṣẹ́ náà. Granite, pẹ̀lú iṣẹ́ ìdènà ìgbóná rẹ̀ tó tayọ, ti rọ́pò àwọn ohun èlò irin ìṣàn ìbílẹ̀ díẹ̀díẹ̀ ó sì di ayanfẹ́ tuntun nínú ohun èlò àyẹ̀wò AOI. Ìwọ̀n ìdènà ìgbóná rẹ̀ ti pọ̀ sí i ní 92% ní ìfiwéra pẹ̀lú irin ìṣàn. Àwọn àṣeyọrí ìmọ̀-ẹ̀rọ àti àwọn àyípadà ilé iṣẹ́ wo ló wà lẹ́yìn ìwífún yìí?
Awọn ibeere ti o muna fun gbigbọn ni ohun elo ayewo semiconductor AOI
Ilana iṣelọpọ ti awọn eerun semiconductor ti wọ akoko nanoscale. Lakoko ilana ayẹwo AOI, paapaa awọn gbigbọn kekere pupọ le fa awọn iyapa ninu awọn abajade ayẹwo. Awọn fifọ kekere, awọn ofo ati awọn abawọn miiran lori oju ti eerun naa nigbagbogbo wa ni ipele micrometer tabi paapaa nanometer. Awọn lẹnsi opitika ti ẹrọ wiwa nilo lati gba awọn alaye wọnyi pẹlu deede giga pupọ. Eyikeyi gbigbọn ti ipilẹ ti a firanṣẹ yoo fa ki lẹnsi naa yipada tabi mì, ti o yorisi gbigba aworan ti ko dara ati nitorinaa ni ipa lori deede idanimọ abawọn.
Àwọn ohun èlò irin simẹnti ni a ti lò tẹ́lẹ̀ rí nínú ìpìlẹ̀ ohun èlò àyẹ̀wò AOI nítorí wọ́n ní agbára àti iṣẹ́ ṣíṣe, iye owó rẹ̀ sì kéré. Síbẹ̀síbẹ̀, ní ti ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀, irin simẹnti ní àwọn àléébù tó hàn gbangba. Ìṣètò inú irin simẹnti ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìwé graphite, èyí tó dọ́gba pẹ̀lú àwọn òfo kéékèèké nínú rẹ̀ tí ó sì ń da ìtẹ̀síwájú ohun èlò náà rú. Nígbà tí ohun èlò náà bá ń ṣiṣẹ́ tí ó sì ń mú ìgbọ̀nsẹ̀ jáde, tàbí tí ìgbọ̀nsẹ̀ àyíká òde bá dàrú, agbára ìgbọ̀nsẹ̀ kò le dínkù nínú irin simẹnti ṣùgbọ́n ó máa ń farahàn nígbà gbogbo tí ó sì wà láàárín ìwé graphite àti matrix, èyí tí ó ń yọrí sí ìtànkálẹ̀ ìgbọ̀nsẹ̀ náà. Àwọn àyẹ̀wò tó báramu fihàn pé lẹ́yìn tí ìpìlẹ̀ irin simẹnti bá ti ru sókè nípasẹ̀ ìgbọ̀nsẹ̀ òde, àkókò ìdínkù ìgbọ̀nsẹ̀ lè pẹ́ fún ọ̀pọ̀ ìṣẹ́jú-àáyá, èyí tí yóò ní ipa pàtàkì lórí ìpéye ìwádìí ní àkókò yìí. Ní àfikún, modulus elastic ti irin simẹnti kéré díẹ̀. Lábẹ́ ìgbésẹ̀ ìgbà pípẹ́ ti walẹ̀ àti ìdààmú ìgbọ̀nsẹ̀ ohun èlò, ó máa ń fa ìyípadà, èyí sì ń mú kí ìṣíkiri ìgbọ̀nsẹ̀ náà túbọ̀ lágbára sí i.
Àṣírí tó wà lẹ́yìn ìbísí 92% nínú bí àwọn ìpìlẹ̀ granite ṣe ń dín ìgbọ̀nsẹ̀ kù
Granite, gẹ́gẹ́ bí irú òkúta àdánidá, ti ṣe ìṣètò inú tí ó nípọn gidigidi àti tí ó dọ́gba nípasẹ̀ àwọn ìlànà ilẹ̀ ayé fún ọgọ́rọ̀ọ̀rún mílíọ̀nù ọdún. Ó jẹ́ pàtàkì láti inú àwọn kirisita oníná bíi quartz àti feldspar tí a so pọ̀ mọ́ra, àti àwọn ìsopọ̀ kẹ́míkà láàrín àwọn kirisita náà lágbára àti dídúró ṣinṣin. Ìṣètò yìí fún granite ní agbára ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ tí ó tayọ. Nígbà tí a bá gbé ìgbọ̀nsẹ̀ náà sí ìpìlẹ̀ granite, àwọn kirisita oníná inú rẹ̀ lè yí agbára ìgbọ̀nsẹ̀ padà sí agbára ooru kí ó sì tú u ká. Àwọn ìwádìí fihàn pé ìdènà granite ga ní ìlọ́po méjì ju ti irin ìdàpọ̀ lọ, èyí tí ó túmọ̀ sí wípé ó lè fa agbára ìgbọ̀nsẹ̀ náà dáadáa, kí ó sì dín ìwọ̀n àti àkókò ìgbọ̀nsẹ̀ náà kù. Lẹ́yìn ìdánwò ọ̀jọ̀gbọ́n, lábẹ́ àwọn ipò ìdàgbàsókè ìgbọ̀nsẹ̀ kan náà, àkókò ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ ti ìpìlẹ̀ granite jẹ́ 8% péré ti irin ìdàpọ̀ náà, àti pé agbára ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ ti pọ̀ sí i ní 92%.
Líle gíga àti modulus elastic gíga ti granite náà tún ń ṣe àfikún pàtàkì. Líle gíga náà ń rí i dájú pé ìpìlẹ̀ náà kò ní yípadà nígbà tí ó bá ń gbé ẹrù ohun èlò àti ipa agbára òde, ó sì ń mú ipò ìtìlẹ́yìn tí ó dúró ṣinṣin nígbà gbogbo. modulus elastic gíga náà ń rí i dájú pé ìpìlẹ̀ náà lè padà sí ìrísí rẹ̀ ní kíákíá nígbà tí a bá fi agbára gbọ̀n-ọ́n, èyí tí ó ń dín ìṣàpọ̀ ìgbọ̀n-ọ́n kù. Ní àfikún, granite ní ìdúróṣinṣin ooru tí ó dára jùlọ àti pé àwọn ìyípadà nínú iwọn otutu àyíká kò ní ipa lórí rẹ̀, ó ń yẹra fún ìfàsẹ́yìn ooru àti ìfàsẹ́yìn tí àwọn ìyípadà otutu ń fà, èyí sì ń mú kí ó túbọ̀ dájú pé iṣẹ́ ìdènà ìgbọ̀n-ọ́n náà dúró ṣinṣin.
Ìyípadà Ilé-iṣẹ́ àti Àwọn Àǹfààní Tí Àwọn Ìpìlẹ̀ Granite Mú Wá
Ohun èlò ìṣàyẹ̀wò AOI pẹ̀lú ìpìlẹ̀ granite ti mú kí ìrísí ìwádìí rẹ̀ sunwọ̀n síi. Ó lè dá àwọn àbùkù nínú àwọn ërún kékeré mọ̀ dáadáa, ó dín ìwọ̀n àìdánilójú kù sí láàrín 1% àti pé ó mú kí ìwọ̀n ìṣẹ̀dá ërún pọ̀ sí i gidigidi. Ní àkókò kan náà, a ti mú kí ìdúróṣinṣin ohun èlò náà pọ̀ sí i, ó dín iye pípa tí ó ń wáyé fún ìtọ́jú tí àwọn ìṣòro ìgbọ̀nsẹ̀ ń fà kù, ó ń mú kí iṣẹ́ ẹ̀rọ náà pẹ́ sí i, ó sì ń dín iye owó ìṣiṣẹ́ gbogbogbò kù.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-14-2025