Àwọn Ìtọ́sọ́nà Gilasi Títọ́: Fífi sori ẹrọ ati Itọju SOP lati Flatness ≤0.005 mm/m si Iṣakoso Egbin

Nínú àwọn ilé iṣẹ́ tó péye jùlọ bíi ṣíṣe semiconductor, ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra, àti ṣíṣe àfihàn páálí, àwọn ètò ìṣípo nílò ìrọ̀rùn tó tayọ, ìdúróṣinṣin onígun mẹ́rin, àti ìmọ́tótó àyíká. Àwọn ọ̀nà ìtọ́sọ́nà dígí tí ó péye ni a ń lò sí i nítorí pé wọ́n ní ìtẹ́lọ́rùn tó ga jù, wọ́n ní ìdènà ìfàmọ́ra, àti ìdúróṣinṣin ooru. Síbẹ̀síbẹ̀, fífi sori ẹrọ tí kò tọ́ tàbí ìtọ́jú tí kò péye lè fa ìyípadà déédé, ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀, ìfọ́, àti àkókò ìdúróṣinṣin tó wọ́n.

Ẹgbẹ́ ZHONGHUI n pese SOP fifi sori ẹrọ ati itọju ti a ṣe deede lati ṣe iranlọwọ fun awọn aṣelọpọ lati ṣaṣeyọri pe o le pẹ to ≤0.005 mm/m lakoko ti o n rii daju pe iṣẹ ṣiṣe igba pipẹ ni igbẹkẹle.

1. Idi ti Awọn Itọsọna Gilasi Ti o peye nilo Awọn SOP Ti o muna

Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn irin ìtọ́sọ́nà, àwọn ọ̀nà ìtọ́sọ́nà dígí ní:

• Ìrísí onígun mẹ́ta gíga

• Ìyípadà ooru kékeré

• Dídára dada tó dára

• Iduroṣinṣin kemikali to lagbara

Sibẹsibẹ, awọn ohun elo gilasi jẹ diẹ sii ni ifaragba si fifuye aaye, awọn patikulu idoti, ati mimu ti ko tọ, eyiti o jẹ ki awọn ilana eto ṣe pataki.

2. Awọn Pataki Fifi sori ẹrọ

2.1 Ibeere fun Itẹlera

Láti rí i dájú pé ìṣíṣẹ́ náà péye:

• Dídúró tí a fi sori ẹrọ gbọ́dọ̀ jẹ́ ≤0.005 mm/m

• Ó yẹ kí a ti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ìpìlẹ̀ kí a sì dín wahala kù

• Àtìlẹ́yìn tí kò báramu yóò yọrí sí àṣìṣe kékeré àti àṣìṣe ipò

Àwọn Ọ̀nà Ìwádìí Tí A Ṣe Àmọ̀ràn:

• Lésà interferometry

• Awọn ipele itanna

• Àwọn ẹ̀gbẹ́ gígùn pẹ̀lú àwọn ìwọ̀n ìfọwọ́sowọ́pọ̀

2.2 Ayika Ooru Ti o Daju

Iyipada ooru jẹ okunfa pataki ti yiyipo jiometirika.

Awọn Ilana Ayika:

• Iṣakoso iwọn otutu: 20 ± 1 °C

• Ọriniinitutu: 40–55%

• Yẹra fún afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ taara lórí àwọn ojú ọ̀nà ìtọ́sọ́nà

Awọn ipo ayika ti o duro ṣinṣin dinku ibaamu imugboro ooru laarin awọn ẹya fifi sori ẹrọ ati awọn paati gilasi.

2.3 Ìtọ́jú àti Ìgbésẹ̀

Bí a kò bá ṣe dáadáa, ó lè fa ìfọ́ kékeré tàbí ìfọ́ etí.

Àwọn Ìlànà Tó Dáa Jùlọ:

• Lo àwọn irinṣẹ́ ìgbéga ìgbálẹ̀ tàbí àwọn ìtìlẹ́yìn sling onírọ̀rùn

• Yẹra fun ifọwọkan irin lori awọn dada ti o peye

• Ṣe àtìlẹ́yìn ìdúró láti dènà ìdààmú títẹ̀

• Apoti ti ko ni ipaya lakoko gbigbe

2.4 Àwọn Ọ̀nà Ìfìsopọ̀ àti Ìtúnṣe

• Lo agbara clamping pinpin iṣọkan

• Yẹra fún ìfojúsùn àárẹ̀ àdúgbò

• Lo awọn paadi iyasọtọ rirọ nibiti o ba wulo

• Di awọn boolu naa mu ni igun apa ati diẹdiẹ lati dena iyipada

Àtúnṣe tí kò tọ́ jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ohun pàtàkì tí ó ń fa ìyàtọ̀ sí ìpele lẹ́yìn fífi sori ẹrọ.

3. Awọn Ilana Iṣiṣẹ Boṣewa Itọju (SOP)

3.1 Àwọn Ohun Èlò Ìmọ́tótó àti Àwọn Ohun Èlò Tí A Fọwọ́sí

Àwọn ọ̀nà ìtọ́sọ́nà dígí nílò àwọn ọ̀nà ìwẹ̀nùmọ́ tí kò ní ìbàjẹ́.

Àwọn Ohun Èlò Tí A Ṣe Àmọ̀ràn:

• Àwọn aṣọ ìnu microfiber tí kò ní àwọ̀

• IPA (Isopropyl Alcohol) tabi awọn afọmọ gilasi didoju

• Awọn fẹlẹ alatako-aimi

Yẹra fún:

• Àwọn ohun olómi tó ní ásíìdì tàbí àkálì

• Àwọn ohun èlò ìfọ́ irin tàbí aṣọ ìfọ́

• Afẹfẹ titẹ giga n fa awọn idoti taara

3.2 Ìwọ̀n Àyẹ̀wò

Awọn iṣayẹwo deede yẹ ki o pẹlu:

• Ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀

• Wiwa micro-scratch labẹ ina igun

• Ìṣàtúnṣe ìfọkànsí

• Ìpéye ìtòlẹ́sẹẹsẹ

3.3 Àwọn Ìbòrí Ààbò àti Ìdènà Eruku

Àwọn èròjà afẹ́fẹ́ jẹ́ ewu ńlá sí àwọn ètò ìṣípo tí ó péye.

Àwọn Ìlànà Ààbò:

• Awọn ideri aabo telescopic

• Àwọn àpò ìbọn rírọ̀

• Idaabobo afẹfẹ mimọ-titẹ rere

• Àwọn fíìmù tí kò ní eruku tí ó lè dènà ìgbóná ara

Àwọn ojútùú wọ̀nyí dín ewu ìbàjẹ́ kù gidigidi kí wọ́n sì fa ìgbésí ayé iṣẹ́ gùn.

4. Àyẹ̀wò Fífẹ̀ & Ìjẹ́rìísí Ìpéye

Ìdánilójú déédé máa ń jẹ́ kí iṣẹ́ ṣeé gbẹ́kẹ̀lé.

Àwọn Ọ̀nà Àyẹ̀wò:

• Ṣíṣàfihàn interferometer lésà

• Àwọn ètò ìṣiṣẹ́ aládàáṣe

• Awọn sensọ iyipada ti o peye giga

Tí ìrọ̀rùn bá ju ìfaradà lọ:

• Tun ipele ipilẹ naa ṣe

• Ṣayẹwo pinpin wahala fifi sori ẹrọ

• Ṣe àyẹ̀wò fún ìbàjẹ́ ní àwọn ojú ọ̀nà àtìlẹ́yìn

5. Àwọn Àmì Ìrora Iṣẹ́-ṣíṣe àti Ojútùú

Iṣoro 1: Ìṣàn kiri tó péye

Okùnfà: Ìyípadà ooru, ìtìlẹ́yìn tí kò dọ́gba
Ojutu: Ayika ti a ṣakoso + atunṣe igbakọọkan

Iṣoro 2: Ibajẹ oju ilẹ ati awọn fifọ

Okùnfà: Àwọn èròjà afẹ́fẹ́, àwọn irinṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ tí kò tọ́
Ojutu: Awọn ilana ile mimọ + awọn ohun elo mimọ ti a fọwọsi

Iṣoro 3: Akoko isinmi ti a ko reti fun awọn ohun elo

Ìdí: Àìlera ìṣàtúnṣe tàbí ìkùnà ìtọ́sọ́nà ọ̀nà
Ojutu: Eto ayewo idena + aabo aabo

6. Awọn Ohun elo to dara julọ

Awọn itọsọna gilasi ti o peye ni a lo ni lilo pupọ ni:

• Awọn Ẹrọ Iṣelọpọ Semikonductor

• Àwọn Ètò Ìṣàyẹ̀wò Ojú àti Ìwọ̀n-ẹ̀rọ

• Àwọn Ìlà Ìṣẹ̀dá Ìfihàn Páìlì Pẹlẹbẹ

Àwọn ilé iṣẹ́ wọ̀nyí ń jàǹfààní ìṣíṣẹ́ àwọn ọ̀nà ìtọ́sọ́nà dígí, ìyípadà ooru tó kéré, àti ìbáramu àyíká tó ga.

Ìparí

Àṣeyọrí ≤0.005 mm/m jẹ́ ìbẹ̀rẹ̀ iṣẹ́ ọ̀nà ìtọ́sọ́nà gilasi tó péye. Àwọn ìlànà ìfisílé tó péye àti àwọn ètò ìtọ́jú tí a ń ṣàkóso ìbàjẹ́ ṣe pàtàkì fún pípẹ́ títí dé àyè kan.

Nípa ṣíṣe àwọn SOP tí a ṣe àgbékalẹ̀, àwọn olùpèsè le:

✔ Ṣe idiwọ fun iṣipopada deedee
✔ Dín ìbàjẹ́ àti ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ kù
✔ Dín àkókò ìsinmi tí a kò gbèrò kù
✔ Fa igbesi aye iṣẹ ti awọn eto išipopada deedee fa

Ẹgbẹ́ ZHONGHUI (ZHHIMG) ń pèsè àwọn ẹ̀yà ara ìṣètò àti àwọn ìpele ìṣípo tí a ṣe fún àwọn ilé iṣẹ́ tí ó ń béèrè jùlọ ní àgbáyé.