Ibùsùn Granite jẹ́ ohun pàtàkì nínú onírúurú ẹ̀rọ semiconductor. Gẹ́gẹ́ bí ohun èlò tó dúró ṣinṣin àti tó le koko, a máa ń lo granite gẹ́gẹ́ bí ìpìlẹ̀ fún ẹ̀rọ processing semiconductor. A mọ̀ ọ́n sí i nípa ìwọ̀n ìfàsẹ́yìn ooru tó kéré, ìdúróṣinṣin gíga, àti àwọn ohun èlò ẹ̀rọ tó dára. Nítorí àwọn ànímọ́ wọ̀nyí, a sábà máa ń lo ibùsùn granite nínú oríṣiríṣi ẹ̀rọ semiconductor mẹ́ta - ẹ̀rọ metrology, ẹ̀rọ lithography, àti ẹ̀rọ àyẹ̀wò.
A lo ohun elo metrology lati wiwọn ati ṣawari awọn iwọn pataki ti awọn ẹrọ semiconductor. O ṣe ipa pataki ninu mimu didara ati iduroṣinṣin ti ilana iṣelọpọ semiconductor. Ohun elo metrology pẹlu awọn ohun elo bii awọn microscopes optic, awọn microscopes elekitironi, ati awọn microscopes agbara atomiki (AFMs). Niwọn igba ti iṣẹ awọn ohun elo wiwọn wọnyi da lori iduroṣinṣin, deede, ati resistance gbigbọn wọn, granite ni yiyan ti o dara julọ fun ohun elo ibusun wọn. Iṣọkan ati iduroṣinṣin ti ibusun granite pese ipilẹ iduroṣinṣin fun awọn ohun elo, eyiti o mu ki deede ati igbẹkẹle wọn pọ si.
A lo ohun elo lithography lati ṣe awọn ilana microchip lori wafer. Ilana lithography nilo ipele giga ti konge ati deede lati ṣẹda awọn iyika ti o nira ati mu iṣẹ ṣiṣe chip dara si. Ohun elo lithography pẹlu awọn eto stepper ati scanner ti o lo ina lati gbe awọn aworan si wafer. Bi ilana lithography ṣe ni ifaramọ pupọ si awọn iyipada igbona ati awọn iyipada ooru, ibusun ti o ga julọ ṣe pataki lati rii daju pe iduroṣinṣin ati atunṣe ti ilana lithography. Awọn ibusun granite pese iduroṣinṣin ti o nilo ati iṣẹ didamu gbigbọn ti o muna fun awọn eto lithography. Ibusun granite gba eto stepper tabi scanner laaye lati ṣetọju awọn ibatan aaye deede ti o rii daju pe o peye giga ati didara ọja ikẹhin.
A lo ohun elo ayewo lati wa eyikeyi abawọn ninu awọn ẹrọ semiconductor. Awọn ohun elo ayewo pẹlu awọn eto bii awọn microscopes scanning laser, awọn microscopes elekitironi, ati awọn microscopes optical. Pẹlu iwulo fun awọn ẹrọ wọnyi lati jẹ deede gaan, iduroṣinṣin ati resistance gbigbọn, awọn ibusun granite jẹ ohun elo pipe. Awọn ohun-ini ẹrọ Granite ati iduroṣinṣin iwọn ṣe iranlọwọ ninu iyasọtọ gbigbọn, eyiti o mu ki deede ti iṣelọpọ ti awọn ohun elo ayewo pọ si.
Ní ìparí, ibùsùn granite ṣe pàtàkì fún ilé iṣẹ́ semiconductor, a sì ń lò ó fún onírúurú ẹ̀rọ. Àwọn ànímọ́ àrà ọ̀tọ̀ rẹ̀ bíi ìdúróṣinṣin onípele, ìfàsẹ́yìn ooru tí ó kéré, àti ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ tí ó tayọ mú kí granite jẹ́ àṣàyàn tí ó dára jùlọ fún ohun èlò ìbusùn ti ohun èlò semiconductor. Nítorí pé ibùsùn granite tí ó ga jùlọ ń pèsè ìdúróṣinṣin, ìpéye, àti ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ tí ó yẹ fún ohun èlò semiconductor, ó ń mú kí dídára ọjà ìkẹyìn sunwọ̀n sí i. Nítorí náà, lílo ibùsùn granite nínú ohun èlò semiconductor dájú pé yóò máa bá a lọ fún ọ̀pọ̀ ọdún tí ń bọ̀.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-03-2024