Nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, ìṣedéédé ló ṣe pàtàkì jùlọ. Bí ìmọ̀ ẹ̀rọ ṣíṣe chip ṣe ń tẹ̀síwájú sí ìpele nanometer àti ìpele nanometer pàápàá, àṣìṣe kékeré èyíkéyìí lè yọrí sí ìdínkù nínú iṣẹ́ chip tàbí kí ó tilẹ̀ kùnà pátápátá. Nínú ìdíje yìí fún ìṣedéédé pípé, àwọn ohun èlò granite tí ó péye, pẹ̀lú àwọn ànímọ́ ara àti ẹ̀rọ tí ó yàtọ̀ síra wọn, ti di ohun pàtàkì nínú rírí dájú pé nanoscale pérépéré ni iṣẹ́ chip.
Iduroṣinṣin to tayọ fi ipilẹ fun deedee silẹ
Ayika inu ile-iṣẹ iṣelọpọ semiconductor jẹ ohun ti o nira, ati awọn okunfa ita bi gbigbọn ati awọn iyipada iwọn otutu nigbagbogbo n halẹmọ deede iṣelọpọ naa. Awọn ẹya ẹrọ deede granite ni iduroṣinṣin giga pupọ, ti o pese ipilẹ to lagbara fun iṣelọpọ chip. Eto inu rẹ jẹ kikorò ati deede, ti a ṣe nipasẹ awọn ilana ilẹ-aye fun ọgọọgọrun miliọnu ọdun, o si ni abuda fifẹ giga adayeba. Nigbati awọn gbigbọn ita ba ti gbe si ẹrọ iṣelọpọ, awọn ẹya deede granite le fa agbara gbigbọn ti o ju 80% lọ daradara ati dinku ipa ti awọn gbigbọn lori awọn ẹrọ deede.
Àmì yìí ṣe pàtàkì ní pàtàkì nínú ìlànà fọ́tòlitọ́kì. Fọ́tòlitọ́kì jẹ́ ìgbésẹ̀ pàtàkì nínú gbígbé àwọn àpẹẹrẹ ìrísí àwọn ṣẹ́ẹ̀pù sí orí àwọn wáfáà silicon, èyí tí ó nílò kí ibi iṣẹ́ ẹ̀rọ fọ́tòlitọ́kì náà máa dúró ṣinṣin gidigidi. Iṣẹ́ ìṣiṣẹ́ tí ó péye granite lè ya ìdènà ìgbọ̀nsẹ̀ kúrò láti ilẹ̀ iṣẹ́ àti àwọn ohun èlò míràn, kí ó rí i dájú pé àṣìṣe ipò ìbátan láàárín wáfáà silicon àti ìbòjú fọ́tòlitọ́kì ni a ń ṣàkóso ní ìpele nanometer nígbà ìlànà ìfarahàn ẹ̀rọ fọ́tòlitọ́kì, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń fúnni ní ìdánilójú pé ìyípadà àpẹẹrẹ náà yóò wáyé.
Ni afikun, iye iwọn otutu ti o gbooro sii ti granite kere pupọ, nigbagbogbo laarin 5 si 7 × 10⁻⁶/℃. Lakoko ilana iṣelọpọ semiconductor, ooru ti a ṣe nipasẹ iṣẹ ti awọn ẹrọ ati awọn iyipada ninu iwọn otutu agbegbe iṣẹ le fa ibajẹ ooru ti awọn ohun elo. Awọn ẹya ẹrọ deede granite ko ni ipa nipasẹ awọn iyipada iwọn otutu ati pe o le ṣetọju awọn iwọn ati awọn apẹrẹ iduroṣinṣin nigbagbogbo. Fun apẹẹrẹ, ninu ilana kikọ eerun, paapaa iyipada diẹ ninu iwọn otutu le fa imugboroosi ooru ti awọn ẹya pataki ti ẹrọ kikọ sii, ti o yorisi awọn iyapa ninu ijinle ati deede. Sibẹsibẹ, lilo awọn ẹya ẹrọ deede granite gẹgẹbi atilẹyin ati awọn paati ti o ni ẹru le ṣe idiwọ ipo yii lati ṣẹlẹ ni imunadoko, rii daju pe o peye ati ibamu ti ilana kikọ sii.
Ṣiṣeto ti o ga julọ ati awọn anfani didara dada
Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ tó péye tó ga jùlọ ti àwọn ẹ̀yà granite tó péye tún jẹ́ kókó pàtàkì nínú rírí i dájú pé àwọn ègé náà péye. Nípasẹ̀ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ tó ga jùlọ, dídán ojú ilẹ̀, títọ́ àti àwọn àmì ìṣedéédé mìíràn ti àwọn ohun èlò granite lè dé ipò gíga gan-an. Fún àpẹẹrẹ, nípa lílo àwọn ọ̀nà ìlọ àti dídán CNC, àìlágbára ojú ilẹ̀ granite lè dínkù sí ìpele nanometer, èyí sì lè mú kí ìparí ojú ilẹ̀ náà dàbí dígí.
Nínú àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ chip, dídára ojú ilẹ̀ tó péye bíi granite guide rails àti sliders lè dín ìfọ́ àti ìbàjẹ́ láàárín àwọn ẹ̀yà ara tí ń gbé kiri kù gidigidi. Èyí kìí ṣe pé ó ń mú kí ìdúróṣinṣin àti ìpéye ti ìṣípò ẹ̀rọ náà pọ̀ sí i nìkan ni, ṣùgbọ́n ó tún ń mú kí iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ náà pẹ́ sí i. Ẹ wo ohun èlò ìṣelọ́pọ́ chip gẹ́gẹ́ bí àpẹẹrẹ. Àwọn irinṣẹ́ ìtọ́sọ́nà granite tó péye lè rí i dájú pé àṣìṣe ti ipa ọ̀nà ìṣípò ti orí ìṣàkó nígbà tí a bá ń gbé chip náà àti tí a bá ń gbé e sí ipò micrometer tàbí ní ìwọ̀n nanometer pàápàá, nípa bẹ́ẹ̀ a ń ṣe àṣeyọrí ìtòlẹ́sẹẹsẹ tó péye àti ìsopọ̀ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé láàárín chip náà àti substrate ìṣàkó.
Idaabobo-wiwọ ati iduroṣinṣin igba pipẹ
Iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor jẹ́ iṣẹ́ àgbékalẹ̀ tó ń lọ lọ́wọ́lọ́wọ́ àti fún ìgbà pípẹ́, àwọn ohun èlò náà sì nílò láti ṣiṣẹ́ dáadáa fún ìgbà pípẹ́. Granite ní agbára ìdènà ìbàjẹ́ tó dára, pẹ̀lú agbára Mohs ti 6 sí 7, ó lè fara da ìṣípo àti ẹrù ìgbà pípẹ́. Nínú iṣẹ́ ojoojúmọ́ ti àwọn ohun èlò ṣíṣe chip, àwọn ẹ̀yà granite tí ó péye kì í sábà bàjẹ́, wọ́n sì lè máa ṣe iṣẹ́ àti ìṣe déédé.
Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ohun èlò mìíràn, granite kò ní ìrírí ìyípadà àárẹ̀ tàbí ìbàjẹ́ iṣẹ́ nígbà lílo fún ìgbà pípẹ́. Èyí túmọ̀ sí wípé àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ chip tí ó ń lo àwọn èròjà tí ó péye granite ṣì lè ṣe ìtọ́jú ìpele gíga àti ìdúróṣinṣin lẹ́yìn iṣẹ́ pípẹ́, èyí tí ó dín ìwọ̀n àbùkù ọjà tí ìdínkù nínú ìṣelọ́pọ́ ẹ̀rọ fà kù lọ́nà tí ó dára. Fún àwọn olùṣe semiconductor, èyí kìí ṣe pé ó ń mú kí iṣẹ́lọ́pọ́ sunwọ̀n síi nìkan ni, ó tún ń dín iye owó iṣẹ́lọ́pọ́ kù.
Ìparí
Ní ojú ọ̀nà tí a fi ń lépa ìṣedéédé nanoscale nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, àwọn ẹ̀yà granite tí ó péye ń kó ipa tí a kò lè yípadà pẹ̀lú ìdúróṣinṣin wọn tí ó tayọ, iṣẹ́ ṣíṣe déédé gíga àti ìgbẹ́kẹ̀lé ìgbà pípẹ́. Láti photolithography sí ìkọ́lé, láti inú àpò ìkọ́lé sí ìdánwò, àwọn ohun èlò ìṣedéédé granite ń ṣiṣẹ́ nípasẹ̀ gbogbo ọ̀nà ìṣiṣẹ́ chip, èyí tí ó ń fúnni ní ìdánilójú tó lágbára fún iṣẹ́ àgbékalẹ̀ chip tí ó péye gíga. Pẹ̀lú ìdàgbàsókè tí ó ń bá a lọ ti ìmọ̀-ẹ̀rọ semiconductor, àwọn ohun tí a nílò fún ìṣedéédé yóò túbọ̀ ga sí i. Àwọn ẹ̀yà ìṣedéédé granite yóò tún máa kó ipa pàtàkì nínú iṣẹ́ yìí, èyí tí yóò ran ilé-iṣẹ́ semiconductor lọ́wọ́ láti dé ibi gíga tuntun nígbà gbogbo. Yálà nísinsìnyí tàbí ní ọjọ́ iwájú, àwọn ẹ̀yà ìṣedéédé granite yóò máa jẹ́ agbára pàtàkì nígbà gbogbo tí yóò rí i dájú pé ìwọ̀n nanometer péye nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-07-2025