Nínú iṣẹ́ àyẹ̀wò wafer semiconductor, ìmọ́tótó àyíká yàrá mímọ́ ní í ṣe pẹ̀lú ìyọrísí ọjà náà. Bí ìṣeéṣe àwọn iṣẹ́ ṣíṣe chip ṣe ń tẹ̀síwájú sí i, àwọn ohun tí a nílò fún àwọn pẹpẹ ìwádìí ti àwọn ohun èlò ìwádìí ń di líle sí i. Àwọn pẹpẹ granite, pẹ̀lú àwọn ànímọ́ wọn ti ìtújáde ion irin tí kò ní irin àti ìbàjẹ́ pàtákì tí kò pọ̀, ti kọjá àwọn ohun èlò irin alagbara ìbílẹ̀, wọ́n sì ti di ojútùú tí a fẹ́ràn jùlọ fún ohun èlò àyẹ̀wò wafer.
Granite jẹ́ àpáta àdánidá tí ó ní àwọn ohun alumọ́ni tí kìí ṣe ti irin bíi quartz, feldspar àti mica nínú. Ànímọ́ yìí fún un ní àǹfààní ìtújáde ion irin tí kò ní irin. Ní ìyàtọ̀ sí èyí, irin aláìlágbára, gẹ́gẹ́ bí irin tí a fi irin ṣe, chromium àti nickel, máa ń ní ìpalára electrochemical lórí ojú rẹ̀ nítorí ìfọ́ omi àti àwọn gáàsì acidic tàbí alkaline nínú àyíká yàrá mímọ́, èyí tí yóò yọrí sí òjò àwọn ion irin bíi Fe²⁺ àti Cr³⁺. Nígbà tí àwọn ion kéékèèké wọ̀nyí bá so mọ́ ojú wafer náà, wọn yóò yí àwọn ohun-ìní iná ti ohun èlò semiconductor padà nínú àwọn iṣẹ́ tí ó tẹ̀lé e bíi photolithography àti etching, yóò fa ìfàsẹ́yìn foliteji ààlà ti transistor, àti àní yóò yọrí sí àwọn iyika kúkúrú nínú iyika náà. Ìwádìí ilé-iṣẹ́ ọ̀jọ̀gbọ́n fihàn pé lẹ́yìn tí a bá ti fi ìpele granite hàn sí àyíká ìgbóná àti ọ̀rinrin yàrá tí a ṣe àfarawé (23±0.5℃, 45%±5% RH) fún wákàtí 1000, ìtújáde àwọn ion irin kéré sí ààlà ìwádìí (< 0.1ppb). Oṣuwọn abawọn ti awọn wafers ti o fa nipasẹ idoti ion irin nigbati o ba nlo awọn iru ẹrọ irin alagbara le ga to 15% si 20%.
Ní ti ìṣàkóso ìbàjẹ́ pàtákì, àwọn pẹpẹ granite náà ń ṣiṣẹ́ dáadáa gan-an. Àwọn yàrá ìwẹ̀ ní àwọn ohun tí a nílò gidigidi fún ìṣọ̀kan àwọn pàtákì tí a ti so mọ́ inú afẹ́fẹ́. Fún àpẹẹrẹ, nínú àwọn yàrá ìwẹ̀ ISO Class 1, iye àwọn pàtákì 0.1μm tí a gbà láàyè fún mítà onígun 1 kò ju 10 lọ. Kódà bí pẹpẹ irin alagbara náà bá ti ṣe ìtọ́jú dídán, ó ṣì lè mú kí àwọn pàtákì irin tàbí oxide scale bọ́ nítorí agbára ìta bíi ìgbọ̀nsẹ̀ ẹ̀rọ àti iṣẹ́ àwọn ènìyàn, èyí tí ó lè dí ọ̀nà ìwádìí tàbí kí ó fọ́ ojú wafer náà. Àwọn pẹpẹ granite, pẹ̀lú ìrísí ohun alumọ́ni wọn tí ó wúwo (ìwọ̀n ≥2.7g/cm³) àti líle gíga (6-7 lórí ìwọ̀n Mohs), kò ṣeé ṣe láti bàjẹ́ tàbí kí ó fọ́ nígbà lílo fún ìgbà pípẹ́. Àwọn ìwọ̀n tí a wọ̀n fihàn pé wọ́n lè dín ìṣọ̀kan àwọn pàtákì tí a ti so mọ́ inú afẹ́fẹ́ kù ní agbègbè ohun èlò ìwádìí nípa ju 40% lọ ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn pẹpẹ irin alagbara, ní ṣíṣe àtúnṣe àwọn ìwọ̀n ìpele yàrá ìwẹ̀nùmọ́ dáadáa.
Ní àfikún sí àwọn ànímọ́ mímọ́ rẹ̀, iṣẹ́ pípéye ti àwọn pẹpẹ granite tún ju ti irin alagbara lọ. Ní ti ìdúróṣinṣin ooru, iye rẹ̀ ti ìfàsẹ́yìn ooru jẹ́ (4-8) ×10⁻⁶/℃ nìkan, ó kéré sí ìdajì ti irin alagbara (ní nǹkan bí 17×10⁻⁶/℃), èyí tí ó lè mú kí ó dára jù láti máa ṣe ìtọ́jú ìdúróṣinṣin ti ohun èlò ìwádìí nígbà tí ìwọ̀n otútù inú yàrá mímọ́ bá yípadà. Ìwà ìfàsẹ́yìn gíga (ìpíndọ́gba ìfàsẹ́yìn > 0.05) lè dín ìgbọ̀nsẹ̀ àwọn ohun èlò náà kù kí ó sì dènà ìwádìí ìwádìí láti mì tìtì. Àìfaradà ìpalára àdánidá rẹ̀ ń jẹ́ kí ó dúró ṣinṣin kódà nígbà tí ó bá fara hàn sí àwọn ohun èlò photoresist, àwọn gáàsì ìfọ́ àti àwọn kẹ́míkà mìíràn láìsí àìní ààbò àwọ̀ afikún.
Lọ́wọ́lọ́wọ́, àwọn pẹpẹ granite ni a ń lò fún gbogbogbòò ní àwọn ilé iṣẹ́ ṣíṣe wafer onípele gíga. Àwọn ìwádìí fihàn pé lẹ́yìn gbígba pẹpẹ granite, ìwọ̀n àìdánilójú ti wíwá àwọn ohun èlò wafer ti dínkù sí 60%, a ti fa ìyípo ìṣàtúnṣe ohun èlò pọ̀ sí i ní ìgbà mẹ́ta, iye owó gbogbogbòò iṣẹ́ náà sì ti dínkù sí 25%. Bí ilé iṣẹ́ semiconductor ṣe ń lọ sí ọ̀nà tí ó ga jù, àwọn pẹpẹ granite, pẹ̀lú àwọn àǹfààní pàtàkì wọn bíi ìtújáde ion irin tí kò ní irin àti ìbàjẹ́ èròjà kékeré, yóò máa bá a lọ láti pèsè ìrànlọ́wọ́ tí ó dúró ṣinṣin àti tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àyẹ̀wò wafer, èyí tí yóò di agbára pàtàkì tí ó ń darí ìlọsíwájú ilé iṣẹ́ náà.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-20-2025