Àwọn ohun èlò Granite ń ran XYZT lọ́wọ́ láti rí i dájú pé àwọn ohun èlò ìṣelọ́pọ́ semiconductor náà péye.

Nínú ìdánilẹ́kọ̀ọ́ ìṣelọ́pọ́ semiconductor, àwọn ohun tí ìlànà ìṣelọ́pọ́ chip fún àwọn ipò àyíká àti ìṣedéédé ẹ̀rọ jẹ́ ohun tí ó le koko, àti pé ìyàtọ̀ díẹ̀ lè yọrí sí ìdínkù pàtàkì nínú ìyọrísí chip náà. Pẹpẹ ìgbésẹ̀ gantry tí ó péye ti XYZT gbára lé àwọn èròjà granite láti ṣiṣẹ́ pọ̀ pẹ̀lú àwọn apá mìíràn ti pẹpẹ náà láti kọ́ ìpìlẹ̀ tí ó lágbára fún ṣíṣe àṣeyọrí ìṣedéédé nanoscale.
Awọn ohun-ini idena gbigbọn ti o tayọ
Nínú ilé iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor, iṣẹ́ àwọn ohun èlò àti àwọn òṣìṣẹ́ tí ń rìn kiri lè fa ìgbọ̀n. Ìṣètò inú àwọn ohun èlò granite jẹ́ kíkún àti pé ó dọ́gba, pẹ̀lú àwọn ànímọ́ ìrọ̀rùn gíga àdánidá, bíi "ìdènà ìgbọ̀nwọ́". Nígbà tí a bá gbé ìgbọ̀nwọ́ òde sí pẹpẹ XYZT, ohun èlò granite lè dín agbára ìgbọ̀nwọ́ kù ní ọ̀nà tó dára kí ó sì dín ìdènà ìgbọ̀nwọ́ lórí ìṣedéédé ìṣípo pẹpẹ kù. Ní àkókò kan náà, pẹpẹ náà ní ètò ìtọ́sọ́nà ìgbọ̀nwọ́ afẹ́fẹ́ tó péye, èyí tí ó ń ṣiṣẹ́ ní ìṣọ̀kan pẹ̀lú àwọn ohun èlò granite. Ìtọ́sọ́nà ìgbọ̀nwọ́ afẹ́fẹ́ ń lo fíìmù gaasi tí ó dúró ṣinṣin tí gaasi gíga ṣe láti ṣe àgbékalẹ̀ ìṣípopadà àìfọwọ́kàn ti àwọn apá tí ń gbéra ti pẹpẹ náà àti dín ìgbọ̀nwọ́ kékeré tí ìfọ́mọ́ra ẹ̀rọ ń fà kù. Papọ̀, àwọn méjèèjì ń rí i dájú pé ìdúróṣinṣin ìdúró pẹpẹ náà wà ní ìpele nanometer nígbà gbogbo nínú àwọn iṣẹ́ pàtàkì bíi lithography chip àti etching, àti yẹra fún ìyàtọ̀ àwọn àpẹẹrẹ chip circuit tí ìgbọ̀nwọ́ ń fà.
Iduroṣinṣin ooru to dara julọ
Ìyípadà iwọn otutu ati ọriniinitutu ninu ile-iṣẹ naa ni ipa nla lori deedee awọn ohun elo iṣelọpọ chip. Iwọn imugboroosi ooru ti granite kere pupọ, ni gbogbogbo ni 5-7 × 10⁻⁶/℃, iwọn naa fẹrẹ ma yipada nigbati iwọn otutu ba yipada. Paapaa ti iyatọ iwọn otutu laarin ọsan ati alẹ ninu ile-iṣẹ tabi iṣelọpọ ooru ti ẹrọ naa ba fa iwọn otutu ayika lati yipada, awọn paati granite le duro ṣinṣin lati dena iyipada ti pẹpẹ naa nitori imugboroosi ooru ati idinku. Ni akoko kanna, eto iṣakoso iwọn otutu ti o ni oye ti a pese pẹlu pẹpẹ naa n ṣe abojuto iwọn otutu ayika ni akoko gidi, ṣe atunṣe ẹrọ ategun ati itusilẹ ooru laifọwọyi, ati ṣetọju iwọn otutu ile-iṣẹ ni 20 ° C ± 1 ° C. Ni apapo pẹlu awọn anfani ti iduroṣinṣin ooru granite, rii daju pe pẹpẹ naa ni iṣẹ igba pipẹ, deede gbigbe ti ipo kọọkan nigbagbogbo pade awọn iṣedede deede nanometer iṣelọpọ chip, lati rii daju pe iwọn apẹrẹ lithography chip jẹ deede, ijinle etching jẹ dọgbadọgba.
Kó àwọn àìní àyíká mímọ́ tónítóní bá àwọn ohun tí a nílò mu
Ilé iṣẹ́ semiconductor gbọ́dọ̀ máa tọ́jú ìmọ́tótó gíga láti dènà àwọn èròjà eruku láti ba ìṣù náà jẹ́. Ohun èlò granite fúnra rẹ̀ kò ní eruku, ojú ilẹ̀ náà sì dán, kò rọrùn láti gbà eruku. Pẹpẹ náà lápapọ̀ gba àwòrán ìṣètò tí a ti sé pátápátá tàbí tí a ti sé díẹ̀ láti dín ìwọ̀sí eruku òde kù. Ètò ìṣàn afẹ́fẹ́ inú ní ìsopọ̀ mọ́ ètò afẹ́fẹ́ mímọ́ ti ibi iṣẹ́ náà láti rí i dájú pé ìmọ́tótó afẹ́fẹ́ inú dé ipele tí iṣẹ́ ṣíṣe ìṣù ërún nílò. Nínú àyíká mímọ́ yìí, àwọn èròjà granite kò ní ní ipa lórí iṣẹ́ nítorí ìfọ́ eruku, àti àwọn èròjà pàtàkì bí àwọn sensọ̀ àti mọ́tò gíga ti pẹpẹ náà tún lè ṣiṣẹ́ ní ìdúróṣinṣin, tí ó ń fúnni ní ìdánilójú pípéye nanoscale tí ó dúró ṣinṣin àti tí ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún iṣẹ́ ṣíṣe ìṣù ërún, àti ìrànlọ́wọ́ fún ilé iṣẹ́ semiconductor láti lọ sí ìpele iṣẹ́ gíga.